公开(公告)号：CN105593966B

公开(公告)日：2017-05-24

申请号：CN201480053931.6

申请日：2014-10-07

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 青木贤治 ,  斋藤勉 ,  细谷幸太郎 ,  中村光宏 ,  重藤训志

IPC: H01J37/28 ,  H01J37/244

CPC classification number: H01J37/292 ,  H01J37/073 ,  H01J37/244 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/18 ,  H01J2237/24465 ,  H01J2237/24475 ,  H01J2237/24495 ,  H01J2237/248 ,  H01J2237/2809

Abstract: 本发明的目的在于提供一种识别反射电子检测元件与试样之间的位置关系、试样周围的真空状态，自动地选择适合获取目的图像的反射电子检测元件的带电粒子束装置。本发明的带电粒子束装置在试样室内的真空度高试样与反射电子检测器离开时选择全部的反射电子检测元件，在试样室内的真空度高试样与反射电子检测器接近时选择适合于获取组成图像或凹凸图像的反射电子检测元件。在试样室内的真空度低时选择全部的反射电子检测元件(参照图7)。

公开(公告)号：CN104520966B

公开(公告)日：2016-11-16

申请号：CN201380041393.4

申请日：2013-07-08

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 大南佑介 ,  河西晋佐 ,  铃木宏征 ,  细谷幸太郎 ,  振木昌成

IPC: H01J37/20 ,  H01J37/16 ,  H01J37/18

CPC classification number: H01J37/18 ,  H01J37/16 ,  H01J37/20 ,  H01J37/261 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/1825 ,  H01J2237/2448 ,  H01J2237/2602 ,  H01J2237/2605

Abstract: 本发明提供一种具备对气体氛围或者液体状态下的试样进行观察的功能的带电粒子束装置，其目的在于对向干燥状态的试样导入液体而逐渐浸润的样子进行观察，并且防止向隔膜与试样之间导入多余的液体而使带电粒子束散射。本发明具备如下结构，该结构具备从试样(6)的下表面方向或者侧面方向导入导出所希望的液体或者气体的导入导出部(300)，并在试样(6)与隔膜(10)为非接触的状态下将一次带电粒子束照射至试样(6)。

公开(公告)号：CN103348439B

公开(公告)日：2016-09-28

申请号：CN201180067087.9

申请日：2011-11-02

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 细谷幸太郎 ,  大野正臣 ,  波多野治彦

IPC: H01J37/20

CPC classification number: H01J37/20 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/2001 ,  H01J2237/2003

Abstract: 不是环境控制式电子线装置，即使通常的电子线装置也能实现试样附近的局部低真空化与试样冷却，并且不对装置进行改造且不追加气缸等设备而只利用试样支架实现试样附近的局部低真空化与试样冷却。在能将成为气体源的物质收纳在内部的容器与在该容器的试样台下部具备贯通孔的试样支架上载置被观察试样，通过上述贯通孔将从上述容器蒸发或挥发的气体供给到上述被观察试样，在上述被观察试样的载置位置或试样附近形成局部的低真空状态。并且，利用在挥发时的气化热也能进行试样冷却。

公开(公告)号：CN105593966A

公开(公告)日：2016-05-18

申请号：CN201480053931.6

申请日：2014-10-07

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 青木贤治 ,  斋藤勉 ,  细谷幸太郎 ,  中村光宏 ,  重藤训志

IPC: H01J37/28 ,  H01J37/244

CPC classification number: H01J37/292 ,  H01J37/073 ,  H01J37/244 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/18 ,  H01J2237/24465 ,  H01J2237/24475 ,  H01J2237/24495 ,  H01J2237/248 ,  H01J2237/2809

Abstract: 本发明的目的在于提供一种识别反射电子检测元件与试样之间的位置关系、试样周围的真空状态，自动地选择适合获取目的图像的反射电子检测元件的带电粒子束装置。本发明的带电粒子束装置在试样室内的真空度高试样与反射电子检测器离开时选择全部的反射电子检测元件，在试样室内的真空度高试样与反射电子检测器接近时选择适合于获取组成图像或凹凸图像的反射电子检测元件。在试样室内的真空度低时选择全部的反射电子检测元件(参照图7)。

公开(公告)号：CN301975741S

公开(公告)日：2012-07-04

申请号：CN201230018833.2

申请日：2012-01-30

Applicant: 株式会社日立高新技术

Designer： 细谷幸太郎 ,  高鉾良浩

Abstract: 1．本外观设计产品的名称：电子显微镜用试剂支撑物。2．本外观设计产品用途为：本产品主要使用在扫描型电子显微镜或扫描离子显微镜等电子显微镜上，用于观察被装入试剂的试剂支撑物。3．本外观设计产品的设计要点在于：本外观设计产品的形状。4．最能表明设计要点的图片：立体图。5．在示出各部名称参考图中，B-电子光束导入孔，C-上盖，D-试料台，E-气体源收容部，F-固定用螺丝部。