公开(公告)号：CN107408484A

公开(公告)日：2017-11-28

申请号：CN201580077898.5

申请日：2015-04-14

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 塙晓成 ,  菊池秀树 ,  谷口佳史 ,  矢口纪惠 ,  土桥高志 ,  渡边庆太郎 ,  玉置央和

IPC: H01J37/26 ,  H01J37/09 ,  H01J37/295

CPC classification number: H01J37/224 ,  H01J37/09 ,  H01J37/26 ,  H01J37/265 ,  H01J37/295

Abstract: 在带电粒子束装置中，容易且自动地拍摄与任意的衍射点相对应的透射像、与该透射像的部分范围相对应的衍射图案。该带电粒子束装置具有：成像部，其对试样的像进行成像；光阑，其被配置在所述成像部内，并形成有用于使来自所述试样的电子束通过的大小不同的多个开口；移动部，其变更所述光阑的位置；以及显示部，其显示所成像的像，当作业者在所述显示部上例如选择了衍射点(A)时，所述移动部按照所述衍射点(A)的位置，根据所述光阑与所述像的位置关系来移动所述光阑。

公开(公告)号：CN105612597B

公开(公告)日：2017-07-07

申请号：CN201480052535.1

申请日：2014-09-05

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 矢口纪惠 ,  长久保康平 ,  岩堀敏行

IPC: H01J37/16 ,  H01J37/20

CPC classification number: H01J37/20 ,  H01J37/16 ,  H01J37/32862 ,  H01J2237/184 ,  H01J2237/2002 ,  H01J2237/2003

Abstract: 本发明的目的在于：提供不从带电粒子束装置(1)取出样本，就能够形成各种环境以及进行现场观察和分析的带电粒子束装置以及带电粒子束装置用样本保持装置。在本发明中，从与样本保持单元(6)相对的一侧插入具备使安装在样本保持单元的样本(10)的状态变化的功能的可装卸的逆侧入口部(17)，由此通过具有不同功能的逆侧入口部和样本保持单元的组合，能够不从带电粒子束装置取出样本地观察/分析不同过程中的样本的变化。逆侧入口部由2部分构成，前端的一部分能够卸下，在安装到样本保持单元后，能够在维持气氛的状态下直接输送，能够使样本不暴露到大气中地在不同的装置之间输送。

公开(公告)号：CN104685603B

公开(公告)日：2016-11-16

申请号：CN201380039786.1

申请日：2013-06-19

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 矢口纪惠 ,  长久保康平

IPC: H01J37/20 ,  H01J37/26

CPC classification number: H01J37/20 ,  H01J37/244 ,  H01J37/26 ,  H01J37/261 ,  H01J2237/006 ,  H01J2237/063 ,  H01J2237/2001 ,  H01J2237/2002 ,  H01J2237/2003 ,  H01J2237/2007 ,  H01J2237/2448 ,  H01J2237/2602

Abstract: 本发明的目的在于提供一种电子显微镜及电子显微镜用试样保持装置，其能在电子显微镜内容易且安全地营造气体或液体环境，以高分辨率观察其中的试样及其反应。在具备保持试样(23)的试样保持单元(6)的电子显微镜中，上述试样(23)配置于电子束能通过的毛细管(17)内部，在上述毛细管(17)内部具有向上述毛细管(17)内部供给气体或液体的供给装置、以及回收上述气体或液体的回收装置，一边使上述气体或液体流动一边获得上述试样的试样图像。

公开(公告)号：CN104685603A

公开(公告)日：2015-06-03

申请号：CN201380039786.1

申请日：2013-06-19

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 矢口纪惠 ,  长久保康平

IPC: H01J37/20 ,  H01J37/26

CPC classification number: H01J37/20 ,  H01J37/244 ,  H01J37/26 ,  H01J37/261 ,  H01J2237/006 ,  H01J2237/063 ,  H01J2237/2001 ,  H01J2237/2002 ,  H01J2237/2003 ,  H01J2237/2007 ,  H01J2237/2448 ,  H01J2237/2602

Abstract: 本发明的目的在于提供一种电子显微镜及电子显微镜用试样保持装置，其能在电子显微镜内容易且安全地营造气体或液体环境，以高分辨率观察其中的试样及其反应。在具备保持试样(23)的试样保持单元(6)的电子显微镜中，上述试样(23)配置于电子束能通过的毛细管(17)内部，在上述毛细管(17)内部具有向上述毛细管(17)内部供给气体或液体的供给装置、以及回收上述气体或液体的回收装置，一边使上述气体或液体流动一边获得上述试样的试样图像。