公开(公告)号：CN103361610A

公开(公告)日：2013-10-23

申请号：CN201310053508.3

申请日：2013-02-19

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 松浦宏育 ,  松崎永二 ,  尾方智彦 ,  三宅龙也 ,  峰川英明 ,  矢崎秋夫

IPC: C23C14/26

Abstract: 本发明提供一种即使蒸镀材料进入蒸发源内部，也防止膜质的劣化，不会对连续运转、维护产生障碍的蒸发源以及真空蒸镀装置。蒸发源以及真空蒸镀装置由具有用于将加热被封入的蒸镀材料而蒸发出的蒸镀材料排放的喷嘴的坩埚、用于加热该坩埚的加热构件、配置在上述坩埚和上述加热构件的周边的隔热构件构成，在上述隔热构件和坩埚或者加热构件之间设置由该加热构件保持为低温的浮游蒸镀物回收构件，且在该浮游蒸镀物回收构件和上述坩埚以及上述加热构件之间设置隔热构件。

公开(公告)号：CN103305796A

公开(公告)日：2013-09-18

申请号：CN201310054787.5

申请日：2013-02-20

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 三宅龙也 ,  松浦宏育 ,  峰川英明 ,  矢崎秋夫 ,  尾方智彦 ,  山本健一 ,  楠敏明 ,  玉腰武司

IPC: C23C14/24 ,  C23C14/12 ,  C23C14/52 ,  H01L51/56

Abstract: 本发明提供能在大型基板上快速地形成膜厚均匀且有机EL上部电极用的铝金属薄膜，并能长时间连续运转的真空蒸镀装置及成膜装置。通过使用陶瓷制的坩埚防止铝的攀爬，并使用在横向上操作沿纵向排列有在相同方向上以规定的角度倾斜的蒸发源（3-1）的蒸发源列（3-2）并进行蒸镀的机构，能够相对于大型的纵置基板（1-1）快速形成有机EL上部电极用金属薄膜，并使用材料供给机进行长时间的连续成膜。

公开(公告)号：CN102676999A

公开(公告)日：2012-09-19

申请号：CN201210058800.X

申请日：2012-03-08

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 峰川英明 ,  松浦宏育 ,  矢崎秋夫 ,  福田浩 ,  三宅龙也

IPC: C23C14/24 ,  H05B33/10

Abstract: 本发明提供一种蒸发源和蒸镀装置，其发明目的在于隔断坩埚的辐射热而且不在喷嘴产生堵塞，本发明的蒸发源(1)具有喷嘴(12)、反射器(6)以及罩构件(8)，该喷嘴(12)按从对蒸镀材料(M)进行加热而使其蒸发的坩埚(5)突出的方式设置，朝基板(2)喷射蒸发了的蒸镀材料(M)；该反射器(6)具有并列地配置的多个金属板(15)，使得这些多个金属板(15)中的最接近基板(2)的金属板(15)设在比喷嘴(12)的喷嘴前端面(13)更接近基板(2)的位置；该罩构件(8)与构成反射器(6)的多个金属板(15)中的一部分一体地构成，将喷嘴(12)与反射器(6)之间闭塞。

公开(公告)号：CN101277588A

公开(公告)日：2008-10-01

申请号：CN200810087992.0

申请日：2008-03-28

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 斧城淳 ,  野本秀树 ,  平迫弘司 ,  峰川英明

IPC: H05K3/30 ,  H05K13/04 ,  G02F1/13 ,  G09F9/00

Abstract: 对液晶面板(1)的下基板(2)的伸出部(2a)粘贴ACF(9)的粘贴单元，由供给ACF胶带(13)的供给卷轴(11)、从该供给卷轴(11)供给的ACF胶带(13)的移动路径、切断单元(40)及压接头(47)构成。该粘贴单元安装在支承部件(10)上，该支承部件(10)安装在被丝杠(37)驱动的运送机构(36)上，液晶面板(1)载置在台(25)上，使运送机构(36)在液晶面板(1)的电极组(5)的排列方向运送，把安装着粘贴单元的支承部件(10)定位在ACF(9)的粘贴部的每个间隔，进行ACF(9)的粘贴。