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公开(公告)号：CN105714271A
公开(公告)日：2016-06-29
申请号：CN201510794900.2
申请日：2015-11-18
Applicant: 株式会社堀场STEC
IPC: C23C16/448
Abstract: 本发明提供一种小型化的汽化系统，不必在汽化器的内部形成用于安装流量控制设备的流道，并取消了汽化系统中的配管。所述汽化系统包括：使液体材料汽化的汽化器(21)；控制向所述汽化器(21)的液体材料供给量的供给量控制设备(22)；以及歧管块(B)，其内部形成有流道，并且具有安装所述汽化器(21)和所述供给量控制设备(22)的设备安装面(B1x)，所述汽化器(21)和所述供给量控制设备(22)通过安装到所述设备安装面(B1x)上、借助所述流道R1～R4彼此连接。
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公开(公告)号：CN115279941B
公开(公告)日：2024-09-24
申请号：CN202180020221.3
申请日：2021-02-03
Applicant: 株式会社堀场STEC
Inventor： 田口明広
IPC: C23C16/448 , H01L21/205
Abstract: 一种气化系统和气化装置的固定方法，气化系统包括：气化装置，将液体材料气化，并具有导入所述液体材料的导入端口和导出所述液体材料气化而成的气化气体的导出端口；第一固定螺丝，将所述导入端口和所述导出端口的至少一方拧紧固定于基座；配管部件，与所述被固定的端口连通，供所述气化气体或者所述液体材料流通；以及第二固定螺丝，将所述配管部件隔着密封部件拧紧固定于所述被固定的端口。
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公开(公告)号：CN115101438A
公开(公告)日：2022-09-23
申请号：CN202210209573.X
申请日：2022-03-03
Applicant: 株式会社堀场STEC
Abstract: 本发明提供材料供给系统、存储介质和材料供给方法，在液体材料的汽化推进而容器内接近真空气氛的情况下，也能防止液面传感器的温度急速上升。材料供给系统(100)具备收容液体材料的容器(211)和设置在容器(211)内的液面传感器(213)，液面传感器(213)是在被供给预定的正常能量而发热的状态下检测液面的自热式的液面传感器，且所述材料供给系统(100)包括：监视部(44)，监视根据液面传感器(213)的输出信号得到的检测值；以及能量控制部(45)，在由监视部(44)监视的检测值达到预定的上限值的情况下，将向液面传感器(213)供给的能量控制成比正常能量低的低能量。
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公开(公告)号：CN109750275B
公开(公告)日：2022-09-20
申请号：CN201811240824.0
申请日：2018-10-23
Applicant: 株式会社堀场STEC
IPC: C23C16/448 , H01L21/67
Abstract: 本发明提供气化系统和存储有气化系统用程序的存储介质，不使用压力传感器就能适当控制液体材料的供给。气化系统(100)包括：气化器(21)，使液体材料气化；供给量控制设备(22)，控制向气化器(21)供给的液体材料的供给量；流量调整阀(32)，调整气化器(21)生成的气化气体的流量；流量传感器，测定气化气体的流量；阀控制部(43)，向流量调整阀(32)输出驱动信号来控制阀开度，以使由流量传感器测定的测定流量成为预先设定的设定流量。还包括：驱动信号值取得部(44)，取得作为驱动信号所表示的值的驱动信号值；供给控制部(45)，基于驱动信号值向供给量控制设备(22)输出控制信号，控制液体材料的供给。
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公开(公告)号：CN111692422A
公开(公告)日：2020-09-22
申请号：CN202010124428.2
申请日：2020-02-27
Applicant: 株式会社堀场STEC
Inventor： 田口明広
IPC: F16K49/00
Abstract: 本发明提供一种流体控制装置，其包括：主体构件，是在内部具有流体流动的流道的块状构件，具有设置有用于控制在所述流道内流动的流体的各设备的设置面和与所述设置面相邻的侧面；加热器，对所述主体构件进行加热；加热器保持构件，具有与所述主体构件的所述设置面相对的对置面，在使所述对置面与所述设置面相对的状态下将所述加热器保持成沿着所述侧面；以及按压机构，将所述对置面向所述设置面按压。
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公开(公告)号：CN105714271B
公开(公告)日：2020-07-31
申请号：CN201510794900.2
申请日：2015-11-18
Applicant: 株式会社堀场STEC
IPC: C23C16/448
Abstract: 本发明提供一种小型化的汽化系统，不必在汽化器的内部形成用于安装流量控制设备的流道，并取消了汽化系统中的配管。所述汽化系统包括：使液体材料汽化的汽化器(21)；控制向所述汽化器(21)的液体材料供给量的供给量控制设备(22)；以及歧管块(B)，其内部形成有流道，并且具有安装所述汽化器(21)和所述供给量控制设备(22)的设备安装面(B1x)，所述汽化器(21)和所述供给量控制设备(22)通过安装到所述设备安装面(B1x)上、借助所述流道R1～R4彼此连接。
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