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公开(公告)号：CN103497732B
公开(公告)日：2016-08-10
申请号：CN201310335499.7
申请日：2011-11-21
Applicant: 日立化成株式会社
IPC: C09K3/14
CPC classification number: C09K13/12 , B24B37/044 , C09G1/02 , C09K3/1463 , H01L21/30625 , H01L21/31053
Abstract: 本实施方式涉及的研磨液含有磨粒、添加剂和水，磨粒满足下述条件（a）或（b）中的至少任意一个。（a）在磨粒的含量被调节至1.0质量%的水分散液中，使该水分散液对于波长400nm的光的吸光度在1.50以上的同时，在磨粒的含量被调节至1.0质量%的水分散液中，使该水分散液对于波长500nm的光的透光率在50%/cm以上。（b）在磨粒的含量被调节至0.0065质量%的水分散液中，使该水分散液对于波长290nm的光的吸光度在1.000以上的同时，在磨粒的含量被调节至1.0质量%的水分散液中，使该水分散液对于波长500nm的光的透光率在50%/cm以上。
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公开(公告)号：CN104334675A
公开(公告)日：2015-02-04
申请号：CN201380026857.4
申请日：2013-03-26
Applicant: 日立化成株式会社
IPC: C09K3/14 , B24B37/04 , H01L21/3105
CPC classification number: C09G1/02 , B24B37/044 , C09K3/1436 , C09K3/1463 , H01L21/304 , H01L21/31053
Abstract: 一种含有磨粒、添加剂和水的悬浮液，所述磨粒含有4价金属元素的氢氧化物，并且，在将该磨粒的含量调节至1.0质量％的水分散液中，所述磨粒使该水分散液对波长400nm的光的吸光度为1.00以上、小于1.50，并且，在以离心加速度1.59×105G对将所述磨粒的含量调节至1.0质量％的水分散液进行50分钟离心分离时获得不挥发成分含量为300ppm以上的液相。
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公开(公告)号：CN104321852A
公开(公告)日：2015-01-28
申请号：CN201380026398.X
申请日：2013-03-26
Applicant: 日立化成株式会社
IPC: H01L21/304 , B24B37/00 , C09K3/14
CPC classification number: C09G1/02 , B24B37/044 , C01B33/113 , C09K3/1436 , C09K3/1463 , H01L21/31053
Abstract: 一种含有磨粒和水的悬浮液，所述磨粒含有4价金属元素的氢氧化物，并且，在将该磨粒的含量调节至1.0质量％的水分散液中，所述磨粒使该水分散液对波长400nm的光的吸光度为1.00以上、小于1.50，并且，在以离心加速度1.59×105G对将该磨粒的含量调节至1.0质量％的水分散液进行50分钟离心分离时获得的液相中，所述磨粒使该液相对波长400nm的光的吸光度为0.035以上。
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公开(公告)号：CN104321403A
公开(公告)日：2015-01-28
申请号：CN201380026268.6
申请日：2013-03-26
Applicant: 日立化成株式会社
Inventor： 岩野友洋
IPC: C09K3/14
CPC classification number: C09K3/1409 , C01F17/0043 , C01P2002/84 , C01P2004/64 , C01P2006/22 , C09G1/02 , C09K3/1436 , C09K3/1463 , H01L21/31053
Abstract: 一种磨粒的制造方法，具备混合含4价金属元素盐的金属盐溶液和碱性液、获得含有所述4价金属元素的氢氧化物的粒子的工序，和加热含有所述4价金属元素的氢氧化物的粒子的工序。
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公开(公告)号：CN108831830A
公开(公告)日：2018-11-16
申请号：CN201810916995.4
申请日：2013-02-14
Applicant: 日立化成株式会社
IPC: H01L21/304 , B24B37/00 , C09K3/14
CPC classification number: C09G1/02 , C09K3/1409 , C09K3/1436 , C09K3/1463 , H01L21/30625 , H01L21/31053 , H01L21/76224
Abstract: 本发明涉及的研磨剂含有：水、包含四价金属元素的氢氧化物的磨粒、聚亚烷基二醇和阳离子性聚合物，其中，阳离子性聚合物选自由烯丙基胺聚合物、二烯丙基胺聚合物、乙烯基胺聚合物和乙烯亚胺聚合物构成的组群中的至少一种。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104321852B
公开(公告)日：2016-12-28
申请号：CN201380026398.X
申请日：2013-03-26
Applicant: 日立化成株式会社
IPC: H01L21/304 , B24B37/00 , C09K3/14
CPC classification number: C09G1/02 , B24B37/044 , C01B33/113 , C09K3/1436 , C09K3/1463 , H01L21/31053
Abstract: 一种含有磨粒和水的悬浮液，所述磨粒含有4价金属元素的氢氧化物，并且，在将该磨粒的含量调节至1.0质量％的水分散液中，所述磨粒使该水分散液对波长400nm的光的吸光度为1.00以上、小于1.50，并且，在以离心加速度1.59×105G对将该磨粒的含量调节至1.0质量％的水分散液进行50分钟离心分离时获得的液相中，所述磨粒使该液相对波长400nm的光的吸光度为0.035以上。
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公开(公告)号：CN105453235A
公开(公告)日：2016-03-30
申请号：CN201480045446.4
申请日：2014-08-26
Applicant: 日立化成株式会社
Inventor： 岩野友洋
IPC: H01L21/304 , B24B37/00 , C09K3/14
CPC classification number: C09G1/02 , B24B37/00 , B24B37/042 , B24B37/044 , C01B33/12 , C01F17/0043 , C01P2004/64 , C09K3/1436 , C09K3/1463 , H01L21/31053
Abstract: 一种研磨液，其为含有磨粒、添加剂和水的研磨液，磨粒含有4价金属元素的氢氧化物，且在将该磨粒的含量调整为1.0质量％的第一水分散液中赋予对于波长400nm的光的吸光度大于或等于1.00，并且在所述第一水分散液中赋予对于波长500nm的光的透光率大于或等于50％/cm，将所述第一水分散液在60℃保持72小时而得到的第二水分散液的NO3-浓度为小于或等于200ppm。
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公开(公告)号：CN103374330B
公开(公告)日：2015-10-14
申请号：CN201310317864.1
申请日：2011-11-21
Applicant: 日立化成株式会社
IPC: C09K3/14
CPC classification number: C09G1/02 , C09K3/1409 , C09K3/1463 , C09K13/00 , H01L21/31053
Abstract: 根据本发明涉及的磨粒的制造方法，将所述4价金属元素的盐的水溶液与碱液，在规定的参数在5.00以上的条件下混合，得到含有4价金属元素的氢氧化物的磨粒。
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公开(公告)号：CN103409108B
公开(公告)日：2015-04-22
申请号：CN201310345238.3
申请日：2011-11-21
Applicant: 日立化成株式会社
Inventor： 岩野友洋
CPC classification number: H01L21/30625 , B24B37/044 , C09G1/02 , C09K3/1463 , C09K13/12 , H01L21/31053
Abstract: 本实施方式涉及的研磨液，含有磨粒、添加剂和水，所述磨粒含有4价金属元素的氢氧化物，且，所述磨粒的含量调节至1.0质量%的水分散液，在以1.59×105G的离心加速度离心分离50分钟时，所形成的液层中的不挥发成分的含量在500ppm以上的液层的物质。
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公开(公告)号：CN104321854A
公开(公告)日：2015-01-28
申请号：CN201380026259.7
申请日：2013-03-26
Applicant: 日立化成株式会社
IPC: H01L21/3105 , B24B37/04 , C09K3/14
CPC classification number: B24B37/044 , C01B33/12 , C09G1/02 , C09K3/1436 , C09K3/1463 , H01L21/304 , H01L21/31053 , H01L21/306 , B24B37/04 , C09K3/14 , C09K3/1454
Abstract: 一种含有磨粒、添加剂和水的研磨液，磨粒含有4价金属元素的氢氧化物，并且，在将该磨粒的含量调节至1.0质量％的水分散液中，使该水分散液对波长400nm的光的吸光度为1.00以上、小于1.50。
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