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公开(公告)号：CN101346633B
公开(公告)日：2011-05-25
申请号：CN200680049212.2
申请日：2006-12-20
Applicant: 日本发条株式会社
CPC classification number: G01R1/07378 , G01R1/44 , G01R31/2863 , G01R31/2874
Abstract: 提供一种探针卡，该探针卡无论检查时的温度环境如何，都能可靠地使探针与接触对象接触。为了达到上述目的，采用下述结构，包括：多个探针，由导电性材料构成，与所述半导体晶片具有的电极焊盘接触，以进行电信号的输入或输出；探针头，其收容并保持所述多个探针；基板，其具有与所述电路结构对应的布线图案；和间隔变换器，其层叠于所述探针头，改变所述基板具有的所述布线图案的间隔并进行中继，具有对应于该中继后的布线并设置在与所述探针头相对向一侧的表面上的电极焊盘，所述探针的两端，在具有检查所述半导体晶片时的最低温度和最高温度的平均温度的环境下，与所述半导体晶片以及所述间隔变换器分别具有的所述电极焊盘的中央部附近接触。
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公开(公告)号：CN101467051A
公开(公告)日：2009-06-24
申请号：CN200780021141.X
申请日：2007-06-04
Applicant: 日本发条株式会社
CPC classification number: G01R31/2889 , G01R1/06722 , G01R1/07378
Abstract: 本发明提供一种能够容易且低成本地实现空间变换器刚性的提高的探针卡。为实现该目的，其具备：平板状的配线基板(11)，其具有与生成检查用的信号的电路构造对应的配线图案；插入件(13)，其层叠于配线基板(11)，并对配线基板(11)的配线进行连接；空间变换器(14)，其层叠于插入件(11)并由粘接剂(19)固接，变换由插入件(13)连接的配线的间隔，并将该配线向与插入件(13)对置的一侧的相反侧的表面露出；探针头(15)，其层叠于空间变换器(14)，并收容保持多个探针。
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公开(公告)号：CN1898572A
公开(公告)日：2007-01-17
申请号：CN200480038845.4
申请日：2004-11-11
Applicant: 日本发条株式会社
CPC classification number: G01R1/07314 , G01R1/06722 , G01R3/00 , G01R31/2863
Abstract: 一种导电性触头保持器，保持导电性触头保持器(1)的支持体(4)具有叠层了具有比被接触体(8)的线膨胀系数低的线膨胀系数的低热膨胀支持框体(15、18)以及具有比被接触体(8)的热膨胀系数高的线膨胀系数的高热膨胀支持框体(16、17)的结构。通过采用这样的叠层构造，可以使被接触体(8)的线膨胀系数、和支持体(4)整体的线膨胀系数近似，从而即使在高温下也可以抑制在导电性触头(2)与外部连接用端子(9)之间产生位置偏离。
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公开(公告)号：CN1646924A
公开(公告)日：2005-07-27
申请号：CN03808534.8
申请日：2003-04-16
Applicant: 日本发条株式会社
CPC classification number: G01R1/07314 , G01R1/0466 , G01R1/0483
Abstract: 一种由臂支承的支架，其包括金属加强构件和填充在形成在该加强构件中的开口内的塑料支架孔形成构件。在支架孔形成构件中形成多个支架孔，并且将螺旋弹簧和导电探针构件安装在各个支架孔中，以由此提供具有两个可动端部的探头。因为支架基本上由金属构件制成，所以与完全由塑料材料构成的支架相比可以提高该支架的机械强度。因此，探头支架不会由于因测试(在高温条件下进行的测试)的温度变化和残余应力引起的老化而导致尺寸发生变化，从而可以避免支架孔的间距发生变化，并且可以确保高精度。因此，该探头使得能够以可靠的方式长时间进行测试。
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