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公开(公告)号：CN101346633B
公开(公告)日：2011-05-25
申请号：CN200680049212.2
申请日：2006-12-20
Applicant: 日本发条株式会社
CPC classification number: G01R1/07378 , G01R1/44 , G01R31/2863 , G01R31/2874
Abstract: 提供一种探针卡，该探针卡无论检查时的温度环境如何，都能可靠地使探针与接触对象接触。为了达到上述目的，采用下述结构，包括：多个探针，由导电性材料构成，与所述半导体晶片具有的电极焊盘接触，以进行电信号的输入或输出；探针头，其收容并保持所述多个探针；基板，其具有与所述电路结构对应的布线图案；和间隔变换器，其层叠于所述探针头，改变所述基板具有的所述布线图案的间隔并进行中继，具有对应于该中继后的布线并设置在与所述探针头相对向一侧的表面上的电极焊盘，所述探针的两端，在具有检查所述半导体晶片时的最低温度和最高温度的平均温度的环境下，与所述半导体晶片以及所述间隔变换器分别具有的所述电极焊盘的中央部附近接触。
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公开(公告)号：CN1875281B
公开(公告)日：2010-04-28
申请号：CN200480032566.7
申请日：2004-11-04
Applicant: 日本发条株式会社
IPC: G01R31/26
CPC classification number: G01R1/0483 , G01R1/06772 , G01R1/07371
Abstract: 一种导电性接触件保持器，其具有的结构是：包括具有导电性的保持器基板(11)，该保持器基板(11)形成有收容接地用导电性接触件(16)的第二开口部(9)；第一开口部(8)的内面、信号用导电性接触件(15)及第三开口部(10)的内面、和供电用导电性接触件(17)被电绝缘，而第二开口部(9)的内面和接地用导电性接触件(16)的外周面直接接触。因此，接地用导电性接触件(16)可以从保持器基板(11)接受接地电位的供给，可以对使用的半导体集成电路等供给稳定的接地电位。
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公开(公告)号：CN101467051A
公开(公告)日：2009-06-24
申请号：CN200780021141.X
申请日：2007-06-04
Applicant: 日本发条株式会社
CPC classification number: G01R31/2889 , G01R1/06722 , G01R1/07378
Abstract: 本发明提供一种能够容易且低成本地实现空间变换器刚性的提高的探针卡。为实现该目的，其具备：平板状的配线基板(11)，其具有与生成检查用的信号的电路构造对应的配线图案；插入件(13)，其层叠于配线基板(11)，并对配线基板(11)的配线进行连接；空间变换器(14)，其层叠于插入件(11)并由粘接剂(19)固接，变换由插入件(13)连接的配线的间隔，并将该配线向与插入件(13)对置的一侧的相反侧的表面露出；探针头(15)，其层叠于空间变换器(14)，并收容保持多个探针。
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公开(公告)号：CN111627467A
公开(公告)日：2020-09-04
申请号：CN202010121570.1
申请日：2020-02-26
Applicant: 日本发条株式会社
Abstract: 一种磁盘驱动器悬架，其特征在于，包括：一负载梁(21)，所述负载梁(21)包括：第一表面(21a)，和在第一表面(21a)对面一侧上的第二表面(21b)；一挠曲件(22)，沿着负载梁(21)的第一表面(21a)设置。挠曲件(22)包括：安装有滑块(11)的舌片(45)、第一悬臂(51)和第二悬臂(52)。在第一悬臂根部(51c)上设有第一阻尼构件(82)。第一阻尼构件(82)在第一孔隙部中粘附到负载梁(21)和第一悬臂根部(51c)上，所述第一孔隙部包括形成在负载梁(21)上的第一孔隙(81)。在第二悬臂根部(52c)上设有第二阻尼构件(92)。第二阻尼构件(92)第二孔隙部中粘附到负载梁(21)和第二悬臂根部(52c)上，所述第二孔隙部包括第二孔隙(91)。
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公开(公告)号：CN101946183B
公开(公告)日：2014-11-26
申请号：CN200980105563.4
申请日：2009-02-26
Applicant: 日本发条株式会社
CPC classification number: G01R1/07378 , G01R31/2889 , H05K3/4605 , H05K3/467 , H05K2201/068
Abstract: 本发明提供一种能够进行微细间距的配线且具有接近硅的热膨胀系数的热膨胀系数的配线基板及具备该配线基板的探针卡。为了此种目的，具备：配线基板，其具有热膨胀系数为3.0×10-6～5.0×10-6/℃的陶瓷基板和层叠在陶瓷基板的一个表面上的一或多个薄膜配线片；探针头，其使导电性的多个探针对应于薄膜配线片的配线配置，并且在使各探针的两端露出的状态下以防脱落的方式分别对各探针进行保持，在使各探针的一端与薄膜配线片接触的状态下层叠在所述配线基板上。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101755216B
公开(公告)日：2012-10-10
申请号：CN200880025240.X
申请日：2008-07-16
Applicant: 日本发条株式会社
CPC classification number: G01R31/2891 , G01R1/06722 , G01R1/07371
Abstract: 本发明提供一种探针卡，其可提升用以收容使电路构造间电连接的探针的探针头相对于预定基准面的平行度的精确度及平面度的精确度。为了达成此目的，探针卡具备：探针头(15)，用以保持多支探针；平板状布线基板(11)，具有对应电路构造的布线图案；插入件(interposer)(13)，层叠于布线基板(11)，用以转接布线基板(11)的布线；空间变换器(SpaceTransformer)(14)，被夹设于插入件(13)与探针头(15)之间，用以变换插入件(13)转接的布线间隔，并将经此变换后的布线露出于与探针头(15)相对的表面上；以及多个柱构件(18)，形成具有高度比布线基板(11)的板厚与插入件(13)的板厚之和还大的大致柱状，向布线基板(11)与插入件(13)的板厚方向贯穿并埋设于布线基板及插入件中，上述多个柱构件的一方的底面抵接于空间变换器(14)。
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公开(公告)号：CN101243323B
公开(公告)日：2011-10-05
申请号：CN200680030219.X
申请日：2006-08-30
Applicant: 日本发条株式会社
CPC classification number: G01R1/07314 , G01R1/44
Abstract: 提供一种探针卡，其具有高频的电信号的传输特性优越，成本降低，具有经济效益。为了达到该目的，其具备：多个探针，该多个探针与在作为检查对象的半导体晶片上设置的多个电极接触，进行电信号的输入或输出；探针头，该探针头收容所述多个探针；基板，该基板能够接触于所述探针头，且在与所述探针头相对向的表面的附近具有与所述多个探针连接的配线；核心层，该核心层被埋入在所述基板中，由热膨胀系数小于所述基板的热膨胀系数的原材料构成；连接机构，该连接机构经所述配线使所述多个探针的至少一部分和外部的装置电连接。
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公开(公告)号：CN101946183A
公开(公告)日：2011-01-12
申请号：CN200980105563.4
申请日：2009-02-26
Applicant: 日本发条株式会社
CPC classification number: G01R1/07378 , G01R31/2889 , H05K3/4605 , H05K3/467 , H05K2201/068
Abstract: 本发明提供一种能够进行微细间距的配线且具有接近硅的热膨胀系数的热膨胀系数的配线基板及具备该配线基板的探针卡。为了此种目的，具备：配线基板，其具有热膨胀系数为3.0×10-6～5.0×10-6/℃的陶瓷基板和层叠在陶瓷基板的一个表面上的一或多个薄膜配线板；探针头，其使导电性的多个探针对应于薄膜配线板的配线配置，并且在使各探针的两端露出的状态下以防脱落的方式分别对各探针进行保持，在使各探针的一端与薄膜配线板接触的状态下层叠在所述配线基板上。
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公开(公告)号：CN101341412A
公开(公告)日：2009-01-07
申请号：CN200680045544.3
申请日：2006-12-04
Applicant: 日本发条株式会社
IPC: G01R1/073
CPC classification number: G01R31/2889 , G01R1/07371
Abstract: 本发明提供一种探针卡，能够可靠地进行基板与空间转换器的电连接，且可容易以低成本进行维修。本探针卡具备：多个探针，其与半导体晶片接触而进行电信号的输入或者输出；对所述多个探针进行收容保持的探针头；具有与生成检测用信号的电路结构相对应的配线图案的基板；安装在所述基板上对所述基板进行加强的加强构件；插入件，其具有在轴线方向上伸缩自如的多个连接端子以及形成有将所述多个连接端子分别进行收容的多个孔部的壳体，该插入件层叠在所述基板上，且将所述基板的配线进行转接；以及空间转换器，其层叠在所述插入件和所述探针头之间，变换由所述插入件转接的配线的间隔，并表露在与所述探针头侧相对的一侧的表面。
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公开(公告)号：CN101322035A
公开(公告)日：2008-12-10
申请号：CN200680045233.7
申请日：2006-12-04
Applicant: 日本发条株式会社
CPC classification number: G01R31/2889 , G01R1/07378
Abstract: 本发明的目的在于提供一种无论具有配线图案的基板有无变形，都可提高平面度和平行度的各精度的探针卡。为了实现该目的，本发明的探针卡具有：多个探针，其由导电性材料所构成，用于接触半导体晶片而进行电信号的输入或输出；探针头，其收容并保持多个探针；基板，其具有与产生检查用信号的电路结构相对应的配线图案；加强构件，其安装在基板上以加强基板；中继件，其叠层在基板上以中继基板的配线；空间转换件，其叠层在中继件和探针头之间，用以转换由中继件所中继的配线的间隔从而露出于与探针头相对侧的表面；以及多个第一柱构件，其从基板的表面即叠层有中继件的部分的表面来贯穿该基板而埋设，且具有比基板的板厚还大的高度。
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