双面真空成膜方法及利用该方法获得的层积体

    公开(公告)号:CN102899630A

    公开(公告)日:2013-01-30

    申请号:CN201210268890.5

    申请日:2012-07-30

    CPC classification number: C23C14/562 Y10T428/31678

    Abstract: 本发明提供双面真空成膜方法及利用该方法获得的层积体,该成膜方法能够通过利用简单的装置结构适当地实施加热处理等,有效地制造在双面实施了真空成膜的层积体。卷成卷筒状的长基体的第一面作为被成膜面,沿从第一辊室朝向第二辊室的第一方向从第一辊室输出卷筒状的长基体,使沿第一方向输出的基体脱气,在第二成膜室在基体第一面将第二膜材料成膜,在第二辊室将使第二膜材料成膜的基体卷绕成卷筒状,沿从第二辊室朝第一辊室的第二方向从第二辊室输出,在第一成膜室在第二膜材料上将第一膜材料成膜,在第一辊室将在第二膜材料上层积第一膜材料的基体卷绕成卷筒状,将与第一辊室卷绕的基体的第一面相反侧的第二面作为被成膜面,重复上述全部处理。

    导电性膜卷的制造方法
    16.
    发明授权

    公开(公告)号:CN103247389B

    公开(公告)日:2016-02-17

    申请号:CN201310048931.4

    申请日:2013-02-06

    CPC classification number: C23C14/34 C23C14/562 C23C14/5853

    Abstract: 本发明提供一种导电性膜卷的制造方法,邻接的膜彼此不压接而能够维持高品质。本发明的制造方法包含:第1工序,边将膜基材的初始卷开卷,边通过溅射法在膜基材的一侧顺次层叠第1透明导电体层和第1铜层,将得到的第1层叠体卷成卷状,制成第1卷;第2工序,将该第1卷在大气中存放30小时以上,在第1铜层的表面形成含有氧化亚铜的氧化被膜层;第3工序,边将第1卷开卷,边在膜基材的另一侧通过溅射法顺次层叠第2透明导电体层和第2铜层,将得到的第2层叠体卷成卷状,制成第2卷。

    导电性膜卷的制造方法
    17.
    发明公开

    公开(公告)号:CN103247389A

    公开(公告)日:2013-08-14

    申请号:CN201310048931.4

    申请日:2013-02-06

    CPC classification number: C23C14/34 C23C14/562 C23C14/5853

    Abstract: 本发明提供一种导电性膜卷的制造方法,邻接的膜彼此不压接而能够维持高品质。本发明的制造方法包含:第1工序,边将膜基材的初始卷开卷,边通过溅射法在膜基材的一侧顺次层叠第1透明导电体层和第1铜层,将得到的第1层叠体卷成卷状,制成第1卷;第2工序,将该第1卷在大气中存放30小时以上,在第1铜层的表面形成含有氧化亚铜的氧化被膜层;第3工序,边将第1卷开卷,边在膜基材的另一侧通过溅射法顺次层叠第2透明导电体层和第2铜层,将得到的第2层叠体卷成卷状,制成第2卷。

    膜传感器
    19.
    发明公开

    公开(公告)号:CN103116425A

    公开(公告)日:2013-05-22

    申请号:CN201210424863.2

    申请日:2012-10-30

    Abstract: 本发明提供一种膜传感器,其在可视性优良的同时,能够防止误动作的发生,此外还能够通过发挥优良的防静电性而长期地防止显示缺陷。膜传感器(1)顺序包含偏光膜(2)、防静电层(3)与静电电容式传感器(4)。静电电容式传感器具有透明膜(5)、在该透明膜的一侧形成的透明电极图案(6)与以埋设该透明电极图案的方式形成在透明膜(5)一侧的粘合层(7)。防静电层(3)被配置在偏光膜(2)与透明膜(5)之间,并且附着于透明膜(5)。此防静电层(3)的表面电阻值是1.0×109~1.0×1011Ω/□。

    双面真空成膜方法及利用该方法获得的层积体

    公开(公告)号:CN102899628A

    公开(公告)日:2013-01-30

    申请号:CN201210266812.1

    申请日:2012-07-30

    CPC classification number: C23C14/562 Y10T428/31678

    Abstract: 提供双面真空成膜方法及利用该方法获得的层积体,通过利用简单的装置结构适当地实施加热处理等,有效地制造在双面实施了真空成膜的层积体。将卷成卷筒状的长基体沿从第一辊室朝向第二辊室的第一方向从第一辊室输出,对输出的基体脱气,在第一成膜室,在第一面将第一膜材料成膜,将第一膜材料成膜的基体沿从第二辊室朝向第一辊室的第二方向向第二成膜室引导,在第二成膜室,在沿第二方向引导过程中的基体的、与第一面相反一侧的第二面上将第二膜材料成膜,在设置于第一辊室与第二辊室之间的第三辊室,将在第一面使第一膜材料成膜且在第二面使第二膜材料成膜的基体卷绕成卷筒状,沿第一方向从第一辊室输出在第三辊室卷绕的基体,重复上述全部处理。

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