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公开(公告)号：CN1577757A
公开(公告)日：2005-02-09
申请号：CN200410055209.4
申请日：2004-06-28
Applicant: 日东电工株式会社
IPC: H01L21/304 , H01L21/02
CPC classification number: B32B27/06 , B08B7/0028 , B32B27/32 , B32B27/34 , B32B2323/04 , B32B2323/10 , B32B2367/00 , B32B2369/00 , B32B2377/00 , B32B2379/08 , H01L21/67028 , Y10T428/31504 , Y10T428/31721
Abstract: 一种清洁片材，其包括在10％应变时具有0.3～3000N/mm2的拉伸应力的清洁层，或一种具有清洁功能的传送部件，其中在传送部件的至少一面上具有在10％应变时0.3～3000N/mm2的拉伸应力的清洁层，更具体地，前述结构的清洁片材或具有清洁功能的传送部件，其中前述清洁层包含已经由活性能量源固化的树脂层或具有耐热性的聚合物树脂。
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公开(公告)号：CN101500718A
公开(公告)日：2009-08-05
申请号：CN200780029948.8
申请日：2007-06-28
Applicant: 日东电工株式会社
IPC: B08B1/00 , H01L21/304
CPC classification number: H01L21/67046 , B08B1/00 , B08B7/0028 , C23C16/4407
Abstract: 本发明提供一种在清洁部位不产生污染、并能够简便、可靠、充分地除去微细的异物、特别是亚微米级的异物的清洁部件。并且，本发明提供一种具有该清洁部件的带清洁功能的搬送部件、以及使用该带清洁功能的搬送部件的基板处理装置的清洁方法。本发明的清洁部件具有清洁层，所述清洁层在表面具有多个柱状结构的凸部，该柱状结构的凸部的长径比为5以上。
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公开(公告)号：CN100400185C
公开(公告)日：2008-07-09
申请号：CN01810681.1
申请日：2001-05-08
Applicant: 日东电工株式会社
CPC classification number: B08B1/00 , B08B7/00 , B08B7/0028 , Y10T156/1052 , Y10T428/2481 , Y10T428/24818 , Y10T428/249982
Abstract: 本发明提供了一种清除基片处理设备内部的异物的清洁片。该清洁片包括基本上没有胶粘性和根据JIS K7127确定的拉伸模量不小于0.98N/mm2的清洁层。或者，清洁片包括Vickers硬度不小于10的一个清洁层。
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公开(公告)号：CN1724588A
公开(公告)日：2006-01-25
申请号：CN200510091387.7
申请日：2005-06-21
Applicant: 日东电工株式会社
Abstract: 本发明提供一种特别是可用于除尘的耐热性树脂，以及使用该树脂的耐热性优异的半导体装置的除尘用基板。其在高温下可以使用，而且可用于HDD用途和一部分半导体用途等即使产生有机硅污染的重大危害的场合。本发明提供在主链中具有丁二烯－丙烯腈共聚物作为一部分结构单元的耐热性树脂以及使用该树脂的除尘用基板。
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公开(公告)号：CN1440314A
公开(公告)日：2003-09-03
申请号：CN01812486.0
申请日：2001-05-08
Applicant: 日东电工株式会社
CPC classification number: B08B1/00 , B08B7/00 , B08B7/0028 , Y10T428/1462 , Y10T428/1476 , Y10T428/1481 , Y10T428/28 , Y10T428/2839 , Y10T428/2891
Abstract: 一种清洁片，包括具有不低于1×1013Ω/□的表面电阻率的清洁层。在一种制造具有清洁功能的输运元件的方法中，将清洁片借助一普通粘结层粘到该输运元件上以具有比该输运元件的形状大的形状，然后沿该输运元件的形状切割该清洁片，在该清洁片中由借助作用能量聚合/固化的粘结剂形成的清洁层设置在基体材料的一个表面上，且一普通粘结层设置在其另一表面上，其中，该清洁层的聚合/固化反应在该清洁片被切割成该输运元件的形状后进行。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1433342A
公开(公告)日：2003-07-30
申请号：CN01810682.X
申请日：2001-05-08
Applicant: 日东电工株式会社
IPC: B08B7/00
CPC classification number: A47L25/005 , B08B7/0028 , B08B13/00 , C11D11/0047 , C11D11/0058 , H01L21/67028 , Y10T156/1075 , Y10T428/14 , Y10T428/1471 , Y10T428/1495 , Y10T428/24752
Abstract: 一种清洁用标签片由清洁用标签构成，该标签包括：在接收有效能量后，其对硅晶片的180°剥离粘接力为0.20N/mm或更小的一个清洁层；和设在所述清洁层的一个表面上的粘接剂层；另外还包括通过该粘接剂层，可将标签可取下地设在其上面的一个隔板。
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公开(公告)号：CN102569346A
公开(公告)日：2012-07-11
申请号：CN201110460440.1
申请日：2011-12-28
Applicant: 日东电工株式会社
Inventor： 并河亮
CPC classification number: H01L51/56 , H01L51/003 , H01L51/0097 , H01L2227/326 , Y02E10/549 , Y10T428/24942
Abstract: 本发明提供有机EL装置的制造方法及有机EL装置制造用基板，所述有机EL装置的制造方法包括准备其上层叠有树脂基板的粘接片的工序；介由粘接片将树脂基板粘接在硬质基板上的工序；通过在树脂基板上形成有机EL元件，从而制造具备树脂基板和有机EL元件的有机EL装置的工序；以及从硬质基板剥离有机EL装置的工序。粘接片包括贴附于硬质基板的第一粘接剂层和在第一粘接剂层上形成的、贴附于树脂基板的第二粘接剂层。第一粘接剂层的粘接力与第二粘接剂层的粘接力不同。
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公开(公告)号：CN101500718B
公开(公告)日：2012-06-27
申请号：CN200780029948.8
申请日：2007-06-28
Applicant: 日东电工株式会社
IPC: B08B1/00 , H01L21/304
CPC classification number: H01L21/67046 , B08B1/00 , B08B7/0028 , C23C16/4407
Abstract: 本发明提供一种在清洁部位不产生污染、并能够简便、可靠、充分地除去微细的异物、特别是亚微米级的异物的清洁部件。并且，本发明提供一种具有该清洁部件的带清洁功能的搬送部件、以及使用该带清洁功能的搬送部件的基板处理装置的清洁方法。本发明的清洁部件具有清洁层，所述清洁层在表面具有多个柱状结构的凸部，该柱状结构的凸部的长径比为5以上。
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公开(公告)号：CN1796528B
公开(公告)日：2010-05-26
申请号：CN200510129756.7
申请日：2002-10-31
Applicant: 日东电工株式会社
CPC classification number: B08B7/0028 , C11D17/049 , Y10T428/14 , Y10T428/1452 , Y10T428/1457 , Y10T428/1471 , Y10T428/1476 , Y10T428/2839 , Y10T428/2848
Abstract: 一种清洁片，包括：清洁层和采用包括硅氧烷的释放剂处理的保护膜，保护膜在清洁层的至少一侧上被提供为分隔物，其中当从清洁层剥离分隔物时，按照聚二甲基硅氧烷计算，粘附到清洁层的硅氧烷的量为0.005g/m2或更少。
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公开(公告)号：CN1577757B
公开(公告)日：2010-04-28
申请号：CN200410055209.4
申请日：2004-06-28
Applicant: 日东电工株式会社
CPC classification number: B32B27/06 , B08B7/0028 , B32B27/32 , B32B27/34 , B32B2323/04 , B32B2323/10 , B32B2367/00 , B32B2369/00 , B32B2377/00 , B32B2379/08 , H01L21/67028 , Y10T428/31504 , Y10T428/31721
Abstract: 一种清洁片材，其包括在10％应变时具有0.3～3000N/mm2的拉伸应力的清洁层，或一种具有清洁功能的传送部件，其中在传送部件的至少一面上具有在10％应变时0.3～3000N/mm2的拉伸应力的清洁层，更具体地，前述结构的清洁片材或具有清洁功能的传送部件，其中前述清洁层包含已经由活性能量源固化的树脂层或具有耐热性的聚合物树脂。
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