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公开(公告)号:CN107084806A
公开(公告)日:2017-08-22
申请号:CN201710081763.7
申请日:2017-02-15
Applicant: 意法半导体股份有限公司
Abstract: 本披露涉及包封在弹性材料中的压力传感器与包括压力传感器的系统。一种封装压力传感器,包括:MEMS压力传感器芯片;以及由具体为PDMS的弹性材料制成的包封层,所述包封层在所述MEMS压力传感器芯片之上延伸并且形成用于将施加在所述包封层的表面上的力朝向所述MEMS压力传感器芯片传递的装置。
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公开(公告)号:CN105102970A
公开(公告)日:2015-11-25
申请号:CN201480018992.9
申请日:2014-03-28
Applicant: 意法半导体股份有限公司
IPC: G01N27/22
Abstract: 描述了一种用于检测与设备周围的环境的湿度和/或水的存在和/或酸度/碱度相关的至少一种参数的集成电子设备1。这类集成电子设备包括:与周围环境的分隔层14,该分隔层14包括绝缘材料的至少一部分14;并且还包括由导电材料制成的第一传导性构件11和第二传导性构件12,第一传导性构件11和第二传导性构件12相对于周围环境被布置在分隔层14内部,并且通过分隔层14与周围环境分隔。设备1还包括测量模块15,该测量模块15具有分别与第一传导性构件11和第二传导性构件12电连接的两个测量端子151、152,该测量模块15被配置为提供第一传导性构件11和第二传导性构件12之间的电势差。设备1还包括被配置为充当电极的电极装置13,该电极装置13相对于第一传导性构件11和第二传导性构件12被布置在分隔层14的外部;该电极装置13被布置以便与第一传导性构件11和第二传导性构件12形成电磁电路,该电磁电路具有基于对具有可变水平的湿度和/或酸度/碱度的环境状况的暴露而可变的电磁电路总阻抗。测量模块15被配置为测量存在于测量端子151、152之间的电磁电路总阻抗,并且基于电磁电路总阻抗来确定至少一种参数。
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公开(公告)号:CN104285131A
公开(公告)日:2015-01-14
申请号:CN201380024932.3
申请日:2013-05-23
Applicant: 意法半导体股份有限公司
CPC classification number: G01D11/245 , B28B23/0031 , G01K17/00 , G01L1/18 , G01M5/00 , G01N33/383
Abstract: 本发明描述了一种用于设备(100)的封装体(15),该设备可插入在固体结构(300)中以用于检测和监控一个或多个局部参数。封装体(15)由建筑材料制成,该建筑材料由微米或亚微米尺寸的颗粒形成。进一步描述了一种用于检测和监控固体结构内的一个或多个局部参数的设备(100)。设备(100)包括具有至少一个集成传感器(10)的集成检测模块(1),以及具有如上所述特性的封装体(15),该封装体设置以便于覆盖设备(100)的包括集成检测模块(1)的至少一部分。也描述了一种用于制造设备(100)的方法,以及用于监控包括该设备(100)的固体结构(300)中参数的系统(200)。
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公开(公告)号:CN105102970B
公开(公告)日:2021-03-09
申请号:CN201480018992.9
申请日:2014-03-28
Applicant: 意法半导体股份有限公司
IPC: G01N27/22
Abstract: 描述了一种用于检测与设备周围的环境的湿度和/或水的存在和/或酸度/碱度相关的至少一种参数的集成电子设备1。这类集成电子设备包括:与周围环境的分隔层14,该分隔层14包括绝缘材料的至少一部分14;并且还包括由导电材料制成的第一传导性构件11和第二传导性构件12,第一传导性构件11和第二传导性构件12相对于周围环境被布置在分隔层14内部,并且通过分隔层14与周围环境分隔。设备1还包括测量模块15,该测量模块15具有分别与第一传导性构件11和第二传导性构件12电连接的两个测量端子151、152,该测量模块15被配置为提供第一传导性构件11和第二传导性构件12之间的电势差。设备1还包括被配置为充当电极的电极装置13,该电极装置13相对于第一传导性构件11和第二传导性构件12被布置在分隔层14的外部;该电极装置13被布置以便与第一传导性构件11和第二传导性构件12形成电磁电路,该电磁电路具有基于对具有可变水平的湿度和/或酸度/碱度的环境状况的暴露而可变的电磁电路总阻抗。测量模块15被配置为测量存在于测量端子151、152之间的电磁电路总阻抗,并且基于电磁电路总阻抗来确定至少一种参数。
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公开(公告)号:CN107203085B
公开(公告)日:2020-06-30
申请号:CN201610876946.3
申请日:2016-09-30
Applicant: 意法半导体股份有限公司
Abstract: 一种投影MEMS设备,包括:固定支撑结构(17),其至少部分地由半导体材料制成;和若干个投影模块(M1,M2,M3)。每个投影模块包括光源(2),该光源固定于固定支撑结构(17);和微机电致动器(19,36,37),该微机电致动器包括移动结构(19)并且改变移动结构相对于固定支撑结构(17)的位置。每个投影模块还包括初始光纤(20),该初始光纤根据移动结构(19)的位置机械地耦合至移动结构(19)并且光学地耦合至光源(2)。
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公开(公告)号:CN107084806B
公开(公告)日:2020-03-06
申请号:CN201710081763.7
申请日:2017-02-15
Applicant: 意法半导体股份有限公司
Abstract: 本披露涉及包封在弹性材料中的压力传感器与包括压力传感器的系统。一种封装压力传感器,包括:MEMS压力传感器芯片;以及由具体为PDMS的弹性材料制成的包封层,所述包封层在所述MEMS压力传感器芯片之上延伸并且形成用于将施加在所述包封层的表面上的力朝向所述MEMS压力传感器芯片传递的装置。
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公开(公告)号:CN106197776B
公开(公告)日:2019-11-05
申请号:CN201510855249.5
申请日:2015-11-30
Applicant: 意法半导体股份有限公司
Abstract: 本发明涉及一种压力传感器、压力测量设备、制动系统和测量压力的方法,压力传感器(15)带有双测量刻度,包括:柔性本体(16,34),设计成根据压力(P)而经受偏转;压阻转换器(28,29;94),用于检测偏转;第一聚焦区域(30),设计成在第一操作条件过程中将压力(P)的第一值(PINT1)集中在柔性本体的第一部分(19)中,以便使柔性本体的第一部分发生偏转;以及第二聚焦区域(33),设计成在第二操作条件过程中将所述压力(P)的第二值(PINT2)集中在柔性本体的第二部分(17)中,以便使柔性本体的第一部分二部分()发生偏转。压阻转换器将柔性本体的第一部分的偏转关联至第一压力值(PINT1),并且将柔性本体的第二部分的偏转关联至第二压力值(PINT2)。
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公开(公告)号:CN105841848B
公开(公告)日:2019-07-30
申请号:CN201510850232.0
申请日:2015-11-27
Applicant: 意法半导体股份有限公司
CPC classification number: G01N3/08 , G01L1/005 , G01L5/103 , G01N3/066 , H01L23/3107
Abstract: 本公开涉及具有附接板的张应力测量设备及相关的方法。一种张应力测量设备要附接到待测量对象。张应力测量设备可以包括具有半导体衬底和张应力测量电路的IC,半导体衬底具有相对的第一附接区域和第二附接区域。张应力测量设备可以包括耦合到第一附接区域并且向外延伸以附接到待测量对象的第一附接板以及耦合到第二附接区域并且向外延伸以附接到待测量对象的第二附接板。张应力检测电路可以被配置成检测在第一附接板和第二附接板附接到待测量对象时施加在第一附接板和第二附接板上的张应力。
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公开(公告)号:CN103392126B
公开(公告)日:2015-07-22
申请号:CN201180068216.6
申请日:2011-10-20
Applicant: 意法半导体股份有限公司
CPC classification number: G01N27/00 , G01L1/26 , G01M5/0083
Abstract: 一种用于检测和监视固体结构(300)内的局部参数的设备(100)。该设备包括:在单个芯片上制作的集成检测模块(1),具有包括至少一个集成传感器(10)和集成天线(11)的集成功能电路装置部分(16);以及电磁装置(2),用于发送/接收信号和能量交换。集成功能电路装置部分(16)包括面向芯片外部的功能表面(18)。钝化层(15)被布置用于完全覆盖至少功能表面(18),从而完全密闭地密封并且从周围环境电绝缘集成检测模块(1)。通过磁或者电磁耦合操作地无线连接集成天线(11)、电磁装置(2)和远程天线(221)。
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公开(公告)号:CN206363065U
公开(公告)日:2017-07-28
申请号:CN201621103291.8
申请日:2016-09-30
Applicant: 意法半导体股份有限公司
Abstract: 投影MEMS设备、投影MEMS系统、便携式电子设备和便携式电子装置。该投影MEMS设备包括:固定支撑结构(17),其至少部分地由半导体材料制成;和若干个投影模块(M1,M2,M3)。每个投影模块包括光源(2),该光源固定于固定支撑结构(17);和微机电致动器(19,36,37),该微机电致动器包括移动结构(19)并且改变移动结构相对于固定支撑结构(17)的位置。每个投影模块还包括初始光纤(20),该初始光纤根据移动结构(19)的位置机械地耦合至移动结构(19)并且光学地耦合至光源(2)。
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