-
公开(公告)号：CN107203085A
公开(公告)日：2017-09-26
申请号：CN201610876946.3
申请日：2016-09-30
Applicant: 意法半导体股份有限公司
Abstract: 一种投影MEMS设备，包括：固定支撑结构(17)，其至少部分地由半导体材料制成；和若干个投影模块(M1，M2，M3)。每个投影模块包括光源(2)，该光源固定于固定支撑结构(17)；和微机电致动器(19，36，37)，该微机电致动器包括移动结构(19)并且改变移动结构相对于固定支撑结构(17)的位置。每个投影模块还包括初始光纤(20)，该初始光纤根据移动结构(19)的位置机械地耦合至移动结构(19)并且光学地耦合至光源(2)。
-
公开(公告)号：CN107203085B
公开(公告)日：2020-06-30
申请号：CN201610876946.3
申请日：2016-09-30
Applicant: 意法半导体股份有限公司
Abstract: 一种投影MEMS设备，包括：固定支撑结构(17)，其至少部分地由半导体材料制成；和若干个投影模块(M1，M2，M3)。每个投影模块包括光源(2)，该光源固定于固定支撑结构(17)；和微机电致动器(19，36，37)，该微机电致动器包括移动结构(19)并且改变移动结构相对于固定支撑结构(17)的位置。每个投影模块还包括初始光纤(20)，该初始光纤根据移动结构(19)的位置机械地耦合至移动结构(19)并且光学地耦合至光源(2)。
-
公开(公告)号：CN206363065U
公开(公告)日：2017-07-28
申请号：CN201621103291.8
申请日：2016-09-30
Applicant: 意法半导体股份有限公司
Abstract: 投影MEMS设备、投影MEMS系统、便携式电子设备和便携式电子装置。该投影MEMS设备包括：固定支撑结构(17)，其至少部分地由半导体材料制成；和若干个投影模块(M1，M2，M3)。每个投影模块包括光源(2)，该光源固定于固定支撑结构(17)；和微机电致动器(19，36，37)，该微机电致动器包括移动结构(19)并且改变移动结构相对于固定支撑结构(17)的位置。每个投影模块还包括初始光纤(20)，该初始光纤根据移动结构(19)的位置机械地耦合至移动结构(19)并且光学地耦合至光源(2)。
-
-
Search Results
3
records
(took 0.015 seconds)
