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公开(公告)号：CN107924863B
公开(公告)日：2021-11-02
申请号：CN201680025760.5
申请日：2016-04-30
Applicant: 川崎重工业株式会社 , 川崎机器人(美国)公司
IPC: H01L21/68
Abstract: 本发明提供一种搬送系统。所述系统针对基于作为收纳容器的圆板状搬送物的取出位置及旋转台的基准位置而预先暂时设定的位置而载置在旋转台上的搬送物，基于利用传感器部所获取的载置在旋转台上的搬送物相对于旋转台的基准位置偏离的信息，来获取收纳容器的搬送物的取出位置及旋转台的基准位置的信息，并基于所获取的位置信息而教导由机器人进行的搬送物从收纳容器朝旋转台的搬送动作。所述搬送系统无需专用夹具等而求取机器人坐标系与外部坐标系的关系，从而能够简单地教导搬送动作。
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公开(公告)号：CN113165169A
公开(公告)日：2021-07-23
申请号：CN202080006356.X
申请日：2020-04-10
Applicant: 川崎重工业株式会社 , 川崎机器人(美国)有限公司
Inventor： 吉田雅也 , 阿维什·阿肖克·巴瓦尼 , 曾铭 , 布兰东·李 , 里安·勒
IPC: B25J9/06 , B25J9/10 , B25J9/16 , H01L21/677
Abstract: 基板搬运机器人(10)具备：基台(31)；手(12)，具有载置基板(W)的基板载置部(12a)；多关节构造的机器人臂(11)，基端部与基台连结，前端部与手连结，包括多个关节(61、62、63)；机器人臂驱动机构(20)，包括驱动源(22)、和将驱动源的驱动力传递至机器人臂的关节来使关节位移的驱动力传递部(23)；机器人控制部(41)，控制驱动源的动作以使手在目标位置采取目标姿势，机器人控制部使手从手拾起基板的位置即第1目标位置(L3)的下方的第1下方位置(L1)上升到第1目标位置的上方的第1上方位置(L4)，并在从第1下方位置到第1下方位置与第1目标位置之间的第1中间位置(L2)的第1区间(A1)使多个关节的至少1个单向地位移。
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公开(公告)号：CN112041132A
公开(公告)日：2020-12-04
申请号：CN201980030615.X
申请日：2019-05-10
Applicant: 川崎重工业株式会社
IPC: B25J19/04 , B25J13/08 , H01L21/677 , H01L21/68
Abstract: 本发明的基板保持手的光轴偏差检测方法取得理想光轴在水平的第一方向上延伸的手的基准回转位置；进行第一搜寻处理，该第一搜寻处理一边使手在以基准回转位置为基准的指定的第一回转位置向以回转轴为中心的放射方向移动，一边藉由光电传感器检测第一目标体，并求出此时手的与第一方向正交的水平的第二方向的位置作为检测位置；对第二目标体进行与第一搜寻处理相同的第二搜寻处理；基于藉由第一搜寻处理与第二搜寻处理求出的检测位置的差，检测光轴相对于理想光轴的倾斜。从回转轴至第一目标体及第二目标体为止的第二方向的距离相等，在手上，光轴和第一目标的交叉位置与光轴和第二目标的交叉位置不同。
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公开(公告)号：CN107000224B
公开(公告)日：2019-09-24
申请号：CN201480084253.X
申请日：2014-12-22
Applicant: 川崎重工业株式会社
IPC: B25J19/06 , B25J15/08 , B25J19/00 , H01L21/677
Abstract: 本发明的机械手系统，具备有：机器手臂，在梢端部具有以在规定方向延伸的转动轴为中心转动自如的手腕；末端执行器，安装在该手腕；及变形检测装置，使用靶销检测该末端执行器的变形，该靶销具有末端执行器的规定检测部位到达的目标部位。目标部位，具有示出检测部位到达该目标部位的表示功能。变形检测装置，具备：探索部，控制机器手臂使检测部位接触靶销以对目标部位进行探索，根据目标部位的表示功能而检测检测部位到达目标部位；以及变形检测部，比较检测部位到达目标部位时的检测部位的假定位置与规定的参照位置，以检测末端执行器的变形。
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公开(公告)号：CN107924863A
公开(公告)日：2018-04-17
申请号：CN201680025760.5
申请日：2016-04-30
Applicant: 川崎重工业株式会社 , 川崎机器人(美国)公司
IPC: H01L21/68
CPC classification number: H01L21/681 , B25J9/1664 , G05B2219/40519 , G05B2219/45031 , H01L21/67766 , Y10S901/03
Abstract: 本发明提供一种搬送系统。所述系统针对基于作为收纳容器的圆板状搬送物的取出位置及旋转台的基准位置而预先暂时设定的位置而载置在旋转台上的搬送物，基于利用传感器部所获取的载置在旋转台上的搬送物相对于旋转台的基准位置偏离的信息，来获取收纳容器的搬送物的取出位置及旋转台的基准位置的信息，并基于所获取的位置信息而教导由机器人进行的搬送物从收纳容器朝旋转台的搬送动作。所述搬送系统无需专用夹具等而求取机器人坐标系与外部坐标系的关系，从而能够简单地教导搬送动作。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107155370A
公开(公告)日：2017-09-12
申请号：CN201480084382.9
申请日：2014-12-26
Applicant: 川崎重工业株式会社
Abstract: 控制装置（3）具备控制器（33），控制器（33）在劣化指标参数的值超过预先设定的阈值时使搬送机构（5）停止，且基于劣化指标参数的值的时间序列的变化模式，判定劣化指标参数值超过阈值是否是因搬送机构（5）的老化引起，在判定为劣化指标参数值超过阈值是因搬送机构（5）的老化引起的情况下，使搬送机构（5）降低动作速度地动作。
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公开(公告)号：CN116325111A
公开(公告)日：2023-06-23
申请号：CN202180068616.0
申请日：2021-08-23
Applicant: 川崎重工业株式会社 , 川崎机器人(美国)有限公司
IPC: H01L21/677
Abstract: 一种晶圆夹具，用于具有手部的机器人，该手部具有投光部以及受光部。所述受光部检测从所述投光部照射的检测光。晶圆夹具具备朝所述受光部照射通知光的光源。通过所述光源朝所述受光部照射所述通知光，而对所述手部侧输出信息。
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公开(公告)号：CN111356563B
公开(公告)日：2023-02-17
申请号：CN201880075578.X
申请日：2018-09-10
Applicant: 川崎重工业株式会社
IPC: B25J19/06
Abstract: 用于对具有多个驱动部且进行规定的工序动作的机器人进行监视的监视方法，其特征在于包括：准备运转工序，将规定的工序动作进行一次以上，在多个工序部分的各者中，对于进行动作的驱动部，检测所设定的所有监视参数；分级工序，对于准备运转工序中检测出的所有监视参数的各者，基于规定的负荷评价方法导出负荷程度，从负荷程度大者起依序将检测出的所有监视参数进行分级；以及通常运转工序，主要对分级工序中分级为上位的监视参数，针对检测出该监视参数的工序部分中的驱动部进行监视。
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公开(公告)号：CN110891744B
公开(公告)日：2022-12-06
申请号：CN201880049169.2
申请日：2018-07-31
Applicant: 川崎重工业株式会社
IPC: B25J19/06 , H01L21/677
Abstract: 特征在于，是用于监控对工件（W）进行作业的机器人（20）的状态的状态监控系统（10），执行以下步骤：从传感器获取状态数据并导出劣化指标参数的步骤（S1）；判定劣化指标参数是否超过针对比需要事后维修的级别低的级别预设的第一阈值的步骤（S2）；进一步对判定为劣化指标参数超过第一阈值的频次是否超过了预设的频次的阈值进行判定的步骤（S4）；和在判定为所述频次超过了频次的阈值时以停止以外的方式抑制机器人（20）的动作的步骤（S5）。
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