微结构制造方法及微结构
    14.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101009173A

    公开(公告)日:2007-08-01

    申请号:CN200710004091.6

    申请日:2007-01-23

    CPC classification number: B81C1/00944

    Abstract: 本发明提供一种微结构的制造方法及微结构。其中适于避免粘附现象的微结构包括基板、与基板结合的第一结构部、以及具有固定在第一结构部上的固定端且与基板相对的第二结构部。通过对具有叠层结构的材料衬底进行处理的方法制造这样的微结构,其中该叠层结构包括第一层、第二层以及在第一层和第二层之间的中间层。通过所述方法形成该第一层,该第一层具有第一结构部、具有固定在第一结构部上的固定端的第二结构部、以及桥接第一结构部和第二结构部的支撑臂。然后,进行湿法蚀刻除去中间层的位于第二层和第二结构部之间的区域,之后进行干燥步骤和对支撑臂的切割步骤。

    表面声波器件及其制造方法

    公开(公告)号:CN1518213B

    公开(公告)日:2010-04-14

    申请号:CN200410003366.0

    申请日:2004-01-21

    Inventor: 三岛直之

    Abstract: 本发明提供表面声波器件及其制造方法。该表面声波器件包括:表面声波滤波器芯片,其具有一压电基板,在该压电基板上形成有多个梳状电极;和封装,其具有一第一空腔,在该第一空腔内容纳有所述表面声波滤波器芯片,所述封装包括一挠性芯片安装基板,该挠性芯片安装基板具有第一表面,所述表面声波滤波器芯片通过凸起面朝下地安装在该第一表面上,并且该挠性芯片安装基板具有等于或小于100μm的厚度,所述凸起连接到形成在所述第一表面上的互连线。根据本发明,可以避免在芯片安装区域中出现显著的应力而使得凸起与所述互连线之间的连接被撕开,从而使得表面声波器件具有较高的安装可靠度。

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