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公开(公告)号：CN111088526A
公开(公告)日：2020-05-01
申请号：CN201911379938.8
申请日：2019-12-27
Applicant: 季华实验室
Abstract: 本发明提供了一种多片装载的碳化硅外延生长设备，包括基座，设置在基座上的反应室，设置在反应室左侧的进气机构，设置在反应室右侧的出气机构，设置在反应室底部的加热线圈，可转动地设置在反应室中部的托盘架，以及用于驱动托盘架转动的驱动机构；所述托盘架包括一根竖直的旋转杆，以及多个水平地串接在旋转杆上的石墨托盘；每个石墨托盘上表面均匀设置有多个用于放置衬底的定位凹槽。该碳化硅外延生长设备可一次生产多个外延片且结构紧凑、节能环保。
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公开(公告)号：CN119403027A
公开(公告)日：2025-02-07
申请号：CN202411860137.4
申请日：2024-12-17
Applicant: 季华实验室
IPC: H05H1/46
Abstract: 本申请提供了一种等离子源谐振腔调节方法、装置及谐振腔，涉及谐振腔技术领域，其技术方案要点是：获取等离子源谐振腔中调节柱的形状信息和深度信息；根据任务类型，对调节柱的形状信息和深度信息进行调整，以得到在不同的形状信息和深度信息下对应的反射功率数据；获取反射功率最小值或小于目标值时对应的形状信息和深度信息；根据最小值或小于目标值时的反射功率对应的形状信息和深度信息以及任务类型生成关联数据组；当检测出新的任务类型存在对应的关联数据组时，根据对应关联数据组中的形状信息和深度信息对等离子源谐振腔中的调节柱进行调节。本申请提供的一种等离子源谐振腔调节方法、装置及谐振腔具有提高使用效率的优点。
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公开(公告)号：CN119249650A
公开(公告)日：2025-01-03
申请号：CN202411760486.9
申请日：2024-12-03
Applicant: 季华实验室
IPC: G06F30/17 , G06F30/20 , G06F111/10
Abstract: 本申请属于等离子源技术领域，公开了一种微波远程等离子源结构优化设计分析方法及相关设备，基于数值模拟技术，对微波远程等离子源进行参数化建模，并对其内部的电磁场分布进行精确模拟和分析，从而快速找到最优设计方案；避免了传统设计方法中过度依赖实验验证和经验积累的问题，缩短了设计周期，降低了设计成本，对工程经验依赖小，而且可以针对不同工况条件进行仿真分析以快速找到适应性强、性能优越的设计方案，适应性强。
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公开(公告)号：CN119165905A
公开(公告)日：2024-12-20
申请号：CN202411673464.9
申请日：2024-11-21
Applicant: 季华实验室
Abstract: 本申请属于等离子源技术领域，公开了一种远程等离子源设备胶圈局部降温方法及系统，基于在远程等离子源设备胶圈上沿周向均匀排布的冷却装置和温度传感器，通过从历史数据库提取特征数据组，确立能量损失模型，确定最优特征数据组，并基于实时测量的局部温度进行降温控制，实现了精确的局部温度控制，提高了降温效率，减少了能源浪费，优化了降温效果。
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公开(公告)号：CN117047104A
公开(公告)日：2023-11-14
申请号：CN202311240776.6
申请日：2023-09-25
Applicant: 季华实验室
Abstract: 本申请涉及加热工装技术领域，具体而言，涉及一种分子束源炉用的加热体的制备方法，制备金属浆料和两片陶瓷生胚；将所述金属浆料印刷在第一片所述陶瓷生胚的表面，以得到导电线路；将第二片所述陶瓷生胚层叠在第一片所述陶瓷生胚印刷有所述金属浆料的表面上，形成层叠体，将所述层叠体卷成圆筒形并通过热压机进行热压，得到第一样品；将所述第一样品进行烧结，得到加热体；无需通过人工缠绕加热丝，制作简单，适合大批量生产，有效降低生产成本。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114717539B
公开(公告)日：2023-10-20
申请号：CN202210514782.5
申请日：2022-05-12
Applicant: 季华实验室
IPC: C23C16/48 , C23C16/44 , G01N23/20058
Abstract: 本申请涉及薄膜监测技术领域，公开了一种带反射式高能电子衍射仪的MOCVD腔体，所述MOCVD反应腔的侧面开设有第一安装孔和第二安装孔，所述第一安装孔用于连接所述电子枪结构，所述第二安装孔用于连接所述荧光屏结构；所述电子枪结构和所述第一安装孔的连接处、所述荧光屏结构和所述第二安装孔的连接处均设置有阀板闸，两个所述阀板闸分别用于控制所述MOCVD反应腔和所述电子枪结构之间的连通和隔绝、所述MOCVD反应腔和所述荧光屏结构之间的连通和隔绝；本发明具有监测效果好和隔热效果好的有益效果。
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公开(公告)号：CN116306058B
公开(公告)日：2023-08-15
申请号：CN202310608061.5
申请日：2023-05-26
Applicant: 季华实验室
IPC: G06F30/20 , G06F111/10 , G06F119/02
Abstract: 本申请属于分析坩埚热应力技术领域，公开了一种坩埚热应力的影响分析方法、装置、电子设备及存储介质，该方法包括：获取坩埚的第一结构参数和加热物料的第二结构参数，通过仿真软件，构建对应的内置物料模型的坩埚模型，确定坩埚模型和物料模型为黏附接触关系，并设置坩埚模型和物料模型的材料参数、塑性节点和热膨胀条件，确定热膨胀应变数据的计算方程，基于上述条件和数据，结合预设的温度条件、预设的模型划分条件和预设的求解器设置，计算不同情况下坩埚模型的热应力分布数据，得到不同情况对于坩埚热应力的影响分析结果数据，通过设置黏附接触关系并添加塑性节点，模拟不同情况的热应力分析，提高了分析坩埚热应力的效率和准确度。
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公开(公告)号：CN115673184A
公开(公告)日：2023-02-03
申请号：CN202211399743.1
申请日：2022-11-09
Applicant: 季华实验室
Abstract: 本申请涉及加热工装技术领域，具体涉及一种分子束外延源炉加热丝缠绕工装及缠绕方法,加热丝缠绕工装包括：固定柱、第一固定板、第二固定板、第一旋转环和第二旋转环；第一固定板和第二固定板相互平行并分别可拆卸地与固定柱的两端连接，第一固定板和第二固定板的周面均间隔环布有多个定位凹槽，且各个定位凹槽沿厚度方向贯通第一固定板或第二固定板的两个侧面；第一旋转环和第二旋转环分别可转动且可拆卸地设置在第一固定板和第二固定板的周面上，第一旋转环和第二旋转环均设置有一个开口，开口贯通第一旋转环或第二旋转环的内外周面，开口的大小与定位凹槽相适配；降低加热丝产生塑性变形的几率，有效保证分子束外延源炉的温度场分布均匀。
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公开(公告)号：CN115673179A
公开(公告)日：2023-02-03
申请号：CN202310001189.5
申请日：2023-01-03
Applicant: 季华实验室
Abstract: 本申请涉及加热工装技术领域，具体而言，涉及一种笼状加热丝缠绕装置及缠绕方法，通过设置第一固定板上的拉杆可以相对第一固定板沿轴向调节位置，第二固定板上的拉杆可以相对第二固定板沿轴向调节位置，在同一个加热笼具有不同形状或不同温度区需求的时候，通过分别调节第一固定板和第二固定板的拉杆的位置，从而可以实现在一个笼状加热丝缠绕装置上缠绕不同密度的加热丝以满足同一个加热笼具有不同温度分布区的需求，其操作简单方便，其缠绕出来的加热笼具有很好的一致性，无需另外设置不同规格的缠线工装来满足不同温度区的需求。
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公开(公告)号：CN115637490A
公开(公告)日：2023-01-24
申请号：CN202211378289.1
申请日：2022-11-04
Applicant: 季华实验室
Abstract: 本发明涉及外延生长技术领域，具体公开了一种集成式分子束外延坩埚制作方法、外延坩埚及分子束源炉，其中，制作方法包括步骤：S1、准备石墨材质的芯轴组件；S2、在芯轴组件外周外延沉积生成第一热解氮化硼层；S3、在第一热解氮化硼层外周折弯缠绕加热丝，使加热丝紧贴固定在第一热解氮化硼层表面；S4、在第一热解氮化硼层外周外延沉积生成第二热解氮化硼层，第二热解氮化硼层完全覆盖加热丝；S5、氧化消除芯轴组件；该制作方法在无需增加额外工艺手段的前提下能制作出结构简单、制作成本低、制作效率高、热效率高、热场分布均匀且保温效果出众的集成式分子束外延坩埚。
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