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公开(公告)号：CN113594297A
公开(公告)日：2021-11-02
申请号：CN202110849788.3
申请日：2021-07-27
Applicant: 复旦大学
IPC: H01L31/18 , H01L31/0216 , H01L31/0352 , B82Y30/00 , B82Y40/00
Abstract: 本发明提供了一种量子阱及量子点材料能带结构的调控方法，包括以下步骤：步骤1，在衬底上使用真空沉积方法依次生长牺牲层、应力引入层以及量子结构薄膜功能层；步骤2，通过光刻刻蚀牺牲层的开口区域，使用湿法刻蚀或干法刻蚀将应力引入层和量子结构薄膜功能层刻蚀至牺牲层；步骤3，通过开口区域使用化学方法腐蚀部分牺牲层，释放应力引入层和量子结构薄膜功能层，经过预应力释放，应力引入层和量子结构薄膜功能层形成卷曲结构或褶皱结构；步骤4，使用超临界干燥方法，保存具有卷曲结构或褶皱结构的器件。其中，量子结构薄膜功能层为量子阱材料或量子点材料，步骤3中，通过不同的腐蚀参数获得不同的卷曲结构或褶皱结构。
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公开(公告)号：CN113008841A
公开(公告)日：2021-06-22
申请号：CN202110214271.7
申请日：2021-02-26
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明涉及一种基于钯‑回音壁模式光学谐振腔的氢气传感器及其制备和应用，该氢气传感器的制备过程具体为：(1)制备WGM型管状光学谐振微腔；(2)将金属钯颗粒耦合在WGM型管状光学谐振微腔表面，即得到氢气传感器。与现有技术相比，本发明使用光学方法进行氢气传感，没有电流传输，更加安全且制备方法简单，灵敏度高，检测限低，在氢气传感领域有重要应用前景。
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公开(公告)号：CN108417798B
公开(公告)日：2021-04-30
申请号：CN201810132771.4
申请日：2018-02-09
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明属于电化学技术领域，具体为ZnO纳米片/碳海绵柔性复合负极材料及其制备方法。本发明的柔性复合负极材料是以多孔自支撑碳海绵为载体、以氧化锌（ZnO）二维纳米片作为锂电池负极活性材料组成的复合材料，其中ZnO负载量高，且大电流密度下循环稳定。本发明制备步骤为：在多孔聚氨酯模板表面原子层沉积ZnO，高温除去有机模板后得到ZnO纳米片，将其配制成ZnO纳米片分散液；将三聚氰胺海绵高温碳化得到碳海绵，将其浸入ZnO纳米片分散液中，干燥后在惰性氛围中高温热处理，即得到ZnO纳米片/碳海绵柔性复合材料；该柔性复合材料可直接制备锂电池负极，无需导电剂和粘合剂。
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公开(公告)号：CN112647044A
公开(公告)日：2021-04-13
申请号：CN202011312329.3
申请日：2020-11-20
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明属于微纳尺度的致动器技术领域，具体为一种基于可控卷曲二氧化钒薄膜的微纳致动器及其制备方法。本发明的微纳致动器包括表面平整的石英玻璃衬底，以及形成于衬底上的二氧化钒管状结构，该二氧化钒管状结构由具有内应力梯度的二氧化钒薄膜在腐蚀液中释放应力卷曲而得，包括向上卷曲与向下卷曲两种结构；其中，具有内应力梯度的二氧化钒薄膜由两种不同衬底温度下溅射形成。本发明还可以通过调节衬底温度的大小控制卷曲的方向。不同卷曲方向的二氧化钒三维管状结构在温度或光触发相变后具有不同的致动方向和形变量。这种微纳致动器，制备方法简单，成本较低，可大规模生产，对在动态器件中具有广泛应用意义。
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公开(公告)号：CN112523656A
公开(公告)日：2021-03-19
申请号：CN202011312360.7
申请日：2020-11-20
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明属于智能窗技术领域，具体为一种基于二氧化钒薄膜卷曲结构的三维可动智能窗及其制备方法。本发明智能窗结构包括：表面平整的石英玻璃衬底，形成于衬底上的由二氧化钒薄膜卷曲而成的管状结构阵列；每个管状结构可独立工作；二氧化钒薄膜在相变前后具有太阳光调控能力。该智能窗的智能控光方式是：室温下卷曲的二氧化钒薄膜使卷曲的区域完全由石英透光，提高透光率；高温下，使卷曲二氧化钒结构因相变产生的应变变化导致曲率变小，直到完全展平在石英表面，重新与衬底贴合形成平面二氧化钒薄膜。本发明在提高室温下透光率的同时，保持高温下对红外限制能力基本不变，从而提高智能窗的太阳光调制能力。制备方法简单，成本较低，可大规模生产。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106340626A
公开(公告)日：2017-01-18
申请号：CN201610870182.7
申请日：2016-10-05
Applicant: 复旦大学
CPC classification number: H01M4/362 , B82Y30/00 , B82Y40/00 , H01M4/48 , H01M4/583 , H01M4/625 , H01M10/0525
Abstract: 本发明属于电化学技术领域，具体为一种高容量储锂氧化物纳米薄膜复合膨胀石墨材料及其制备方法。本发明制备步骤为：首先利用原子层沉积的方法在膨胀石墨上生长高容量储锂氧化物（ZnO、TiO2）纳米薄膜；然后将覆盖高容量储锂氧化物（ZnO、TiO2）纳米薄膜的膨胀石墨置于氧化铝坩埚中；并将氧化铝坩埚放入已经设置好一定加热程序的管式炉中，通入适当的气体，进行热处理；冷却后取出，即得高容量储锂氧化物纳米薄膜复合膨胀石墨复合材料。本发明工艺简单，制备温度低，得到的高容量储锂氧化物纳米薄膜复合膨胀石墨既可以保留石墨的超高电导率，同时利用膨胀石墨缓冲高容量储锂氧化物纳米薄膜脱嵌锂过程中的体积变化，保留了储锂氧化物的容量，提高了储锂氧化物的循环稳定性。
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公开(公告)号：CN103638915B
公开(公告)日：2015-06-17
申请号：CN201310686250.0
申请日：2013-12-16
Applicant: 复旦大学
CPC classification number: Y02W10/37
Abstract: 本发明属于光催化技术领域，具体为一种高催化性质TiO2纳米粉末/多孔材料及其制备方法和应用。本发明制备步骤为：首先利用原子层沉积的方法在海绵上生长TiO2纳米薄膜；然后将覆盖TiO2纳米薄膜的海绵置于氧化铝坩埚中；并将氧化铝坩埚放入已经设置好一定加热程序的管式炉中，通入适当的气氛，进行热处理；冷却后取出，即得高催化性质TiO2纳米粉末/多孔材料。本发明工艺简单，制备温度低，得到的TiO2纳米粉末/多孔材料中的锐钛矿和金红石相具备一定的比例，具有很好的光催化降解能力，因而可应用于光催化领域。
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公开(公告)号：CN102305256B
公开(公告)日：2013-06-12
申请号：CN201110262186.4
申请日：2011-09-06
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明属于微纳器件技术领域，具体为一种金属微米/纳米弹簧及其制备方法和应用。制备方法包括：准备一个衬底，在衬底上面存在牺牲层；在牺牲层上面沉积具有内应力以及各向异性的杨氏模量的金属条；选择性地除去在金属条以及衬底之间的部分牺牲层，释放金属条，从而金属条卷曲成为金属纳米/微米弹簧。该金属纳米/微米弹簧可用于流量传感器的测量，具体是将带有金属微米/纳米弹簧的衬底固定在流体通道内部；当流体流过通道时，弹簧达到平衡状态，通过测量弹簧的伸长量来测量流体流速。
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公开(公告)号：CN102517558A
公开(公告)日：2012-06-27
申请号：CN201110349873.X
申请日：2011-11-08
Applicant: 复旦大学
CPC classification number: Y02E60/13
Abstract: 本发明属于微纳器件技术领域，具体为一种多孔金属/介质微米管及其制备方法和应用。本发明微米管制备步骤如下：制备多孔阳极氧化铝模板；沉积具有内应力的金属或介质双层薄膜；选择性地腐蚀多孔阳极氧化铝模板，从而形成管壁具有周期排列纳米孔洞结构的微米管。这种特殊结构的多孔金属/介质微米管具有多种重要应用前景。例如，可以卷曲特定材料得到微米尺度的氧化还原超级电容器；可以作为电化学生物分子传感器，将多孔金属/介质微米管浸入溶液中，通过测量其电化学性能变化探测溶液中特定的生物分子。
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公开(公告)号：CN102305256A
公开(公告)日：2012-01-04
申请号：CN201110262186.4
申请日：2011-09-06
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明属于微纳器件技术领域，具体为一种金属微米/纳米弹簧及其制备方法和应用。制备方法包括：准备一个衬底，在衬底上面存在牺牲层；在牺牲层上面沉积具有内应力以及各向异性的杨氏模量的金属条；选择性地除去在金属条以及衬底之间的部分牺牲层，释放金属条，从而金属条卷曲成为金属纳米/微米弹簧。该金属纳米/微米弹簧可用于流量传感器的测量，具体是将带有金属微米/纳米弹簧的衬底固定在流体通道内部；当流体流过通道时，弹簧达到平衡状态，通过测量弹簧的伸长量来测量流体流速。
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