公开(公告)号：CN102305256B

公开(公告)日：2013-06-12

申请号：CN201110262186.4

申请日：2011-09-06

Applicant: 复旦大学

Inventor： 李伟明 ,  黄高山 ,  吴晓京 ,  梅永丰

IPC: F16F1/02 ,  B81C1/00 ,  B82B3/00 ,  B82Y15/00

Abstract: 本发明属于微纳器件技术领域，具体为一种金属微米/纳米弹簧及其制备方法和应用。制备方法包括：准备一个衬底，在衬底上面存在牺牲层；在牺牲层上面沉积具有内应力以及各向异性的杨氏模量的金属条；选择性地除去在金属条以及衬底之间的部分牺牲层，释放金属条，从而金属条卷曲成为金属纳米/微米弹簧。该金属纳米/微米弹簧可用于流量传感器的测量，具体是将带有金属微米/纳米弹簧的衬底固定在流体通道内部；当流体流过通道时，弹簧达到平衡状态，通过测量弹簧的伸长量来测量流体流速。

公开(公告)号：CN102305256A

公开(公告)日：2012-01-04

申请号：CN201110262186.4

申请日：2011-09-06

Applicant: 复旦大学

Inventor： 李伟明 ,  黄高山 ,  吴晓京 ,  梅永丰

IPC: F16F1/02 ,  B81C1/00 ,  B82B3/00 ,  B82Y15/00

Abstract: 本发明属于微纳器件技术领域，具体为一种金属微米/纳米弹簧及其制备方法和应用。制备方法包括：准备一个衬底，在衬底上面存在牺牲层；在牺牲层上面沉积具有内应力以及各向异性的杨氏模量的金属条；选择性地除去在金属条以及衬底之间的部分牺牲层，释放金属条，从而金属条卷曲成为金属纳米/微米弹簧。该金属纳米/微米弹簧可用于流量传感器的测量，具体是将带有金属微米/纳米弹簧的衬底固定在流体通道内部；当流体流过通道时，弹簧达到平衡状态，通过测量弹簧的伸长量来测量流体流速。