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公开(公告)号：CN104977816A
公开(公告)日：2015-10-14
申请号：CN201510474805.4
申请日：2015-08-05
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 基于Compact Particle Swarm Optimization算法的光刻机掩模台微动台的机械参数软测量方法，属于半导体制造装备技术领域及机械参数测量领域。为了解决现有工件台微动部分机械参数估计算法精度差的问题。所述方法包括如下步骤：步骤一：根据掩模台微动台的机械机构及其理论设计，建立微动台的理想运动学模型，确定待测机械参数，建立掩模台微动台含差模型；步骤二：给定位置输入，驱动微动台运动产生位移，将实际输出位移与通过建立的掩模台微动台含差模型计算出的输出位移值做差，作为寻优的目标函数；步骤三：根据目标函数，利用Compact Particle Swarm Optimization优化学习算法确定待辨识的机械参数。它用于微动台的机械参数求取。
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公开(公告)号：CN104002996A
公开(公告)日：2014-08-27
申请号：CN201410277197.3
申请日：2014-06-20
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种基于等离子推进驱动的大范围气浮平动装置，属于航空航天方向地面物理仿真和空间姿态调节领域。所述气浮平动装置主要用于装置在气浮环境中二维平面上实现平动，包括等离子体驱动器、平动台体、测量机构、控制器、电能转换装置五个部分。平面光栅传感器实时测量当前姿态信号发送给控制器，控制器经过计算将控制量发送给各个等离子体推进器，等离子体推进器部分作为执行机构，从而实现平动台体部分在二维平面上X、Y、Rz三个自由度的任意运动。本发明具有系统载荷比高、效率高、工作时间长的优点。
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公开(公告)号：CN104044758B
公开(公告)日：2016-08-24
申请号：CN201410277187.X
申请日：2014-06-20
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B64G7/00
Abstract: 一种线性电机和气浮复合驱动的垂向伺服机构，属于物理仿真领域。所述垂向伺服机构包括气路部分、线性电机部分、传感器部分和垂向运动部分，所述的垂向运动部分由基座、内套筒、外套筒和上平面组成；所述的气路部分位于垂向运动部分外部，由高压气瓶、开关阀、比例阀、气压控制器组成；所述的线性电机部分位于垂向运动部分内部，包括动子和定子；所述传感器部分位于垂向运动部分外部，安装在外套筒的下部。本发明通过气瓶为内套筒腔部提供恒压气体，并通过调节出口阀开度使外套筒部分得到重力补偿，控制线性电机实现外套筒的垂向运动。本发明具有控制方便、摩擦力小、行程长等优点。
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公开(公告)号：CN103869833B
公开(公告)日：2016-08-03
申请号：CN201410128646.8
申请日：2014-04-01
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G05D3/12
Abstract: 基于非正交结构的三轴气浮台质心调节方法，涉及地面全物理仿真领域。它是为了解决现有调节三轴气浮台质心需要人工调平，浪费时间，三轴气浮台质心调节精度低的问题。本发明实现将三轴气浮台质心调整到与其旋转中心重合的位置上，使实验台具有很高的平衡精度的目的，其三维质心调节系统的定位精度优于10um，满足实验台在地面进行姿态仿真时的使用要求；大大减少了质心调节的时间，不需要人工操作，调节时间同比节约了一倍以上。本发明适用于地面全物理仿真领域。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103856113B
公开(公告)日：2016-02-17
申请号：CN201410128678.8
申请日：2014-04-01
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H02N15/00
Abstract: 一种基于磁悬浮平面电机的空间模拟器及其控制方法，属于航空航天方向物理仿真试验领域。本发明是为了克服现有航空航天设备抗扰动能力差、不能长时间运行以及由此导致的仿真效果差的问题。磁悬浮平面电子动子的读数头将读取的动子在平面光栅的位置信息通过FPGA控制板卡发送至无线发送/接收模块，并由地面的无线接收/发送模块接收，然后传输至上位机中，上位机根据动子实际位置信息和目标位置信息获得发送姿态控制指令，并将该姿态控制指令发送给电流控制器，电流控制器控制磁悬浮平面电机的动子向目标位置移动。本发明适用于航空航天研究领域中模拟外太空微干扰和微重力的实验环境。
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公开(公告)号：CN104019940A
公开(公告)日：2014-09-03
申请号：CN201410277199.2
申请日：2014-06-20
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于差动测量的高精度气浮垂向调节机构，属于地面全物理仿真领域。为了解决在测量垂向运动机构测量气腔压力时压力传感器量程过大而带来的精度变差、非线性度及偏差相应增大的问题，所述气浮垂向调节机构由垂向运动机构、基准压力气腔、绝对压力传感器、相对压力传感器构成，垂向运动机构旁安置有基准压力腔，绝对压力传感器安置于基准压力腔内，垂向运动机构由垂向气浮轴承外套和垂向气浮轴承内套组成，垂向气浮轴承外套和垂向气浮轴承内套之间为垂向气腔，相对压力传感器安置于垂向气腔与基准压力腔之间。本发明在测量垂向运动机构绝对压力时采用基准压力腔绝对压力与相对压力叠加的方式，具有较高的测量精度，可达到较为良好的实验效果。
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公开(公告)号：CN103869833A
公开(公告)日：2014-06-18
申请号：CN201410128646.8
申请日：2014-04-01
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G05D3/12
Abstract: 基于非正交结构的三轴气浮台质心调节方法，涉及地面全物理仿真领域。它是为了解决现有调节三轴气浮台质心需要人工调平，浪费时间，三轴气浮台质心调节精度低的问题。本发明实现将三轴气浮台质心调整到与其旋转中心重合的位置上，使实验台具有很高的平衡精度的目的，其三维质心调节系统的定位精度优于10um，满足实验台在地面进行姿态仿真时的使用要求；大大减少了质心调节的时间，不需要人工操作，调节时间同比节约了一倍以上。本发明适用于地面全物理仿真领域。
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公开(公告)号：CN115857407B
公开(公告)日：2023-06-02
申请号：CN202211575174.1
申请日：2022-12-08
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G05B19/042
Abstract: 一种多自由度冗余驱动运动台动态出力分配方法，涉及一种运动台动态出力分配方法。建立运动台基于模态表达的数学模型G(s)；设置时延间隔参数Δτ和指令整形器阶数nCS，计算各脉冲时延参数τi；计算矩阵Tb和Vb；初始化q＝1；定义Hq；计算中间变量βq；计算Hq的估计值得到指令整形器幅值q＝q+1，直至所有逻辑轴通道计算完毕；利用计算α(s)；得到动态出力分配矩阵Tf(s)。能够解决在执行器冗余度有限的情况下实现所有可控柔性模态的零残余振动抑制。
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