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公开(公告)号：CN108519057B
公开(公告)日：2020-01-03
申请号：CN201810315887.1
申请日：2018-04-10
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/02
Abstract: 一种光纤侧面荧光物质沉积微型探针三维传感装置、传感方法及探针制备方法，属于微尺寸测量技术领域；本发明是为了解决现有光纤探针所面临的光耦合效率低，结构复杂，不具备轴向探测能力或轴向探测能力受限的问题。通过光纤熔融挤压或拉伸方式改变纤芯结构，通过物理气相沉积工艺在光纤侧面沉积荧光物质，使侧向入射的荧光从光纤包层耦合进入纤芯内部进而从端面出射，通过弹性膜片实现对光纤探针的悬挂及导向，结合共焦探测原理获得高分辨力的三维光纤探针系统。本发明的特点是：探针重量轻且结构简单、探测信号为高质量光斑且光强稳定、分辨力高且具有轴向探测能力。
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公开(公告)号：CN109884056A
公开(公告)日：2019-06-14
申请号：CN201910161694.X
申请日：2019-03-04
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01N21/84
Abstract: 一种基于优化结构探测函数的显微成像方法，涉及结构探测显微成像技术领域，为解决现有方法其不能充分提高成像分辨率，实现超分辨成像的问题，包括步骤一、将扫探测光斑光强分布与结构探测函数相乘；步骤二、将图像中的每个像素的灰度值求和；步骤三、重复步骤一和步骤二；步骤四、将步骤三中标准样品所有采样点的数值归一化；步骤五、比较获得每一像素点的灰度值误差；步骤六、将每一像素点的误差的平方平方作为基准误差，将基准误差求和作为在当前结构探测函数下的误差，将当前结构探测函数下的误差反向传递至结构探测函数部分；步骤七、迭代训练得到最优结构探测函数，从而得到超分辨图像，本方法可充分提高成像分辨率，实现超分辨成像。
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公开(公告)号：CN106767400B
公开(公告)日：2019-05-10
申请号：CN201611046803.6
申请日：2016-11-23
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/00
Abstract: 基于空间光调制器的结构探测共焦显微成像方法与装置。主要解决了以往共焦显微成像图片采集速率低、图像处理时间长的问题。该方法在共焦扫描显微系统中引入结构探测方法，采用空间光调制器模拟结构探测函数，对探测光斑进行调制，之后利用光电探测器测量调制后的光强，得到与待测样品采样点相对应的光强值，结合共焦显微系统的扫描机制，可实现对待测样品的三维成像；本发明还提供了一种适用于上述方法的测量装置，以透射式空间光调制器及光电探测器来实现结构探测，具备分辨率高，成像速度高的特点。
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公开(公告)号：CN105486638A
公开(公告)日：2016-04-13
申请号：CN201510867976.3
申请日：2015-11-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01N21/01
CPC classification number: G01N21/01
Abstract: 一种超分辨阵列扫描结构光照明成像装置及其成像方法，它涉及一种成像装置及其成像方法。本发明为了解决现有技术中的显微成像技术只能测量较薄的生物样品，平行光入射的衍射光受散射效应影响明显，测量效率低的问题。本发明包括LED光源，沿LED光源光线传播方向依次放置光强调制器，准直扩束器，扫描系统，微透镜阵列，准直透镜，分光棱镜，1/4波片，照明物镜，样品，收集透镜，CCD光强探测器以及数据采集卡；每次扫描得到的探测光斑直接在像面进行叠加得到最初的探测数据，每个方向进行三次不同相位照明的扫描，经过图像重构得到超分辨图像。本发明拓宽空间频域带宽，适用于工业形貌及厚生物样品成像的测量领域。
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公开(公告)号：CN105319195A
公开(公告)日：2016-02-10
申请号：CN201510867993.7
申请日：2015-11-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01N21/64
Abstract: 一种超分辨结构探测阵列共焦荧光成像装置及其成像方法，它涉及一种成像装置及其成像方法。本发明的目的是为了解决现有共焦限位技术的分辨力难以提高，共焦成像不清晰的问题。本发明包括激光光源，沿激光光源光线传播方向依次设有准直扩束器、分光棱镜、1/4波片、扫描系统、照明物镜、荧光样品、收集透镜和CCD探测器，探测面上进行积分，改变对应探测位置的光灵敏度，使系统OTF带宽变大。本发明提高了共焦荧光成像系统的空间截止频率，拓宽空间频域带宽，从而显著改善成像系统横向分辨力，适用于工业形貌成像的测量领域。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105021128A
公开(公告)日：2015-11-04
申请号：CN201510381702.3
申请日：2015-07-02
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/00
CPC classification number: G01B11/24
Abstract: 基于光束扫描共焦探测技术的探针传感方法及装置属于尺寸测量技术领域；激光光束通过透镜从光纤探针的入射端入射至光纤探针内部，入射光束在光纤探针内部由光纤光栅结构反射后从光纤探针的入射端出射，光纤探针的出射光束通过透镜聚焦至光电探测器，使用横向光电探测器探测聚焦光斑的位置来测量探针的横向位移，使用轴向光电探测器探测聚焦光斑的光强来测量探针的轴向位移，完成三维传感；本发明还提供了一种适用于上述方法的测量装置；本方法与装置具有探针制作方便且易实现微型化、探测光强度高且易于探测、具备三维探测及解调能力、分辨力高的特点。
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公开(公告)号：CN103226238B
公开(公告)日：2014-12-17
申请号：CN201310176241.7
申请日：2013-05-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于反射式液晶空间光调制器的共焦横向扫描装置与方法属于光学精密测量技术领域，具体涉及一种共焦显微镜和其扫描方法；利用反射式液晶空间光调制器取代传统共焦横向扫描装置中的横向扫描机构，通过改变反射式液晶空间光调制器载入的相位驱动图，实现光束的二维偏转，从而实现非机械的横向扫描；这种设计，使得显微物镜和被测物均不需要横向移动，即可实现对被测物的横向光束扫描，不仅可以避免三维微位移平台精确和复杂的控制，而且可以提高扫描精度和重复性，尤其对易形变样品效果更加明显，因此还能扩大测量样品种类。
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公开(公告)号：CN1232798C
公开(公告)日：2005-12-21
申请号：CN200410062208.2
申请日：2004-06-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明涉及一种激光透、反组合监测补偿式圆柱度仪直线运动基准装置，属于表面形状测量技术领域，特别适应于超精密圆柱度测量装置。本发明将激光透反组合监测补偿技术、主副双导轨直行技术和隔离式抗干扰驱动技术集为一体，以激光光束作为物理基准，依据导轨直线运动基准运动误差对圆柱度测量装置测量结果的作用规律，提供一种基于激光透、反组合监测补偿式主副双导轨结构的超精密圆柱度直线运动基准装置，克服了已有圆柱度测量装置直线运动基准技术的不足。
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公开(公告)号：CN1654840A
公开(公告)日：2005-08-17
申请号：CN200510009745.5
申请日：2005-02-17
IPC: F16C32/06
Abstract: 本发明“复合节流静压气体止推轴承”涉及一种高刚度、大载荷超精密静压气体止推轴承，在轴承工作面上，沿静压气浮供气点分布圆法线方向加工有表面截流沟槽，以静压气浮供气点为中心，沿静压气浮供气点分布圆的圆周方向加工有不相通的均压槽，均压槽与邻近表面截流沟槽相通。轴承承载能力比传统静压气浮止推轴承提高30％以上，轴承刚度比传统静压气浮止推轴承提高15％以上。
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公开(公告)号：CN1632331A
公开(公告)日：2005-06-29
申请号：CN200510009632.5
申请日：2005-01-18
Abstract: 本发明“混合式螺旋槽动静压气体复合止推轴承”涉及一种高速、高刚度、大载荷超精密螺旋槽动静压气体复合止推轴承，在止推轴承工作面上，静压气浮供气点分布圆两侧分别开有人字形动压沟槽，在不增加气浮轴承耗气量的情况下，轴承承载能力比传统静压气浮轴承提高30％以上，轴承刚度比传统静压气浮轴承提高15％以上。
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