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公开(公告)号：CN103226238B
公开(公告)日：2014-12-17
申请号：CN201310176241.7
申请日：2013-05-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于反射式液晶空间光调制器的共焦横向扫描装置与方法属于光学精密测量技术领域，具体涉及一种共焦显微镜和其扫描方法；利用反射式液晶空间光调制器取代传统共焦横向扫描装置中的横向扫描机构，通过改变反射式液晶空间光调制器载入的相位驱动图，实现光束的二维偏转，从而实现非机械的横向扫描；这种设计，使得显微物镜和被测物均不需要横向移动，即可实现对被测物的横向光束扫描，不仅可以避免三维微位移平台精确和复杂的控制，而且可以提高扫描精度和重复性，尤其对易形变样品效果更加明显，因此还能扩大测量样品种类。
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