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公开(公告)号：CN106092317A
公开(公告)日：2016-11-09
申请号：CN201610415737.9
申请日：2016-06-07
申请人： 哈尔滨工业大学
IPC分类号： G01J3/20
CPC分类号： G01J3/20
摘要： 一种高精度Xe介质放电等离子体极紫外光刻光源光谱标定的方法，涉及光谱识别领域。本发明是为了解决现有的采用Hg灯对8nm～20nm范围内的线状谱进行标定，谱线的标定准确性差，导致对光谱的识别性差的问题。本发明第一步采用真空紫外阴极灯对罗兰圆谱仪进行初步标定，工作气体为He气；第二步采用He气和Ar气介质毛细管放电机制工作，通过He气和Ar气的线状谱对罗兰圆谱仪进行精确地标定。它用于对光谱进行标定。
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公开(公告)号：CN105867076A
公开(公告)日：2016-08-17
申请号：CN201610452115.3
申请日：2016-06-21
申请人： 哈尔滨工业大学
IPC分类号： G03F7/20
CPC分类号： G03F7/20 , G03F7/2004 , G03F7/70033
摘要： 采用磁拖动结构实现的LDP Sn介质EUV光源系统，涉及极紫外光刻光源技术，目的是为了解决LDP EUV光源的Sn靶拖动装置无法确保Sn靶与外界处于真空隔离状态的问题。本发明中Sn靶的拖动装置采用磁拖动结构实现，磁拖动结构中的转动电机用于带动电磁铁旋转，电磁铁带动Sn靶旋转，Sn靶为圆形，并能够绕其轴线转动，支撑架为带有磁铁的圆形框架，Sn靶固定在支撑架上，支撑架位于LDP Sn介质EUV光源系统的真空放电室内部，转动电机和电磁铁位于LDP Sn介质EUV光源系统的真空放电室外部。本发明能够实现拖动结构、电源及Sn靶之间的真空隔离，结构简单、控制精度高，适用于LDP Sn介质EUV光源系统。
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公开(公告)号：CN105739249A
公开(公告)日：2016-07-06
申请号：CN201610279298.3
申请日：2016-04-28
申请人： 哈尔滨工业大学
IPC分类号： G03F7/20
CPC分类号： G03F7/70033 , G03F7/70891
摘要： 激光辅助放电极紫外光源预电离等离子体电子温度测量方法，涉及极紫外光刻光源离子状态检测技术。目的是为了解决激光辅助放电EUV光源预电离等离子体电子温度测量依赖价格昂贵的设备，并且检测条件苛刻的问题。本发明首先使激光器发出的激光脉冲经过聚焦系统后作用在Sn靶上，产生Sn的初始等离子体，测量所述初始等离子体的发射光谱，然后从初始等离子体的发射光谱中选取至少两条谱线，所选取的所有谱线至少对应两个不同的上能级，读取每条谱线的波长和强度，根据所述谱线的波长、强度及原子参数，计算得到等离子体的电子温度。本发明只需要采用一些常规的设备在常规条件下即可完成电子温度测量，适用于半导体晶片的光刻技术。
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公开(公告)号：CN104619105A
公开(公告)日：2015-05-13
申请号：CN201510084937.6
申请日：2015-02-16
申请人： 哈尔滨工业大学
IPC分类号： H05G2/00
摘要： Xe介质毛细管放电检测用极紫外光源的放电室，涉及极紫外(EUV)光源技术。它为了解决常规的放电室结构放电性能和冷却性能不够好的问题。本发明中的主脉冲电源的高压极与预脉冲电源的地极共用一个电极，位于外壳的右端面上，预脉冲高压电极和共用电极均设置在外壳内部，且预脉冲高压电极和共用电极的位置沿轴向可调，使得预脉冲高压电极与主脉冲地电极的距离及共用电极与主脉冲地电极的距离均可调，提高了主脉冲电源和预脉冲电源的放电性能。预脉冲高压电极和共用电极内部设置有水冷系统。本发明具有良好的绝缘性能、放电性能、冷却性能和真空性能，适用于Xe介质毛细管放电检测用极紫外光源。
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公开(公告)号：CN103560393A
公开(公告)日：2014-02-05
申请号：CN201310585432.9
申请日：2013-11-19
申请人： 哈尔滨工业大学
IPC分类号： H01S4/00
摘要： 毛细管放电软X射线激光中应用的可移动放电电极，涉及一种可移动放电电极。本发明是为了解决现有的改变增益介质的方法中，在不同增益介质长度的条件下得到的电流波形与主脉冲电流波形不一致的问题。本发明克服了现有技术中，采用改变毛细管的长度或改变电极长度的固有思路，而是通过在电极上设置一个带有弹性的钢丝，实现了电极在毛细管中任意位置能够固定的效果，进而达到改变增益介质的目的，由于电极固定在毛细管的任意位置时，等离子体柱的总长度为毛细管长度和电极长度之差，保证等离子体柱的总长度保持不变，进而取得了在不同增益介质长度的条件下，获得与主脉冲电流波形相同的脉冲电流波形的效果。本发明适用于毛细管放电实验当中。
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公开(公告)号：CN102706850A
公开(公告)日：2012-10-03
申请号：CN201210209446.6
申请日：2012-06-25
申请人： 哈尔滨工业大学
IPC分类号： G01N21/64
摘要： 基于激光诱导等离子体光谱的定标方法和装置及测量可燃气体与氧化剂当量比的方法和装置，涉及定标方法和装置及测量可燃气体与氧化剂当量比的方法装置。它是为了提高现有定标方法的定标的精度、提高现有燃烧系统中燃料和氧化剂当量比的测量精度，以及提高混合燃气当量比测量的便捷度。由于等离子体荧光信号强，信噪比高，光谱仪中作为光信号接收设备的ICCD响应灵敏高，因此该方法测量精度高于其他现有当量比测量方法。该方法为非接触式测量方法，激光束和荧光信号接收设备不受空间位置限制，后期信号处理方便快捷，因此该方法可以满足实时在线测量的要求。本发明适用于基于激光诱导等离子体光谱的定标方法和装置及测量可燃气体与氧化剂当量比。
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公开(公告)号：CN102680120A
公开(公告)日：2012-09-19
申请号：CN201210164154.5
申请日：2012-05-24
申请人： 哈尔滨工业大学
IPC分类号： G01J11/00
摘要： 极紫外光刻光源Xe10+离子状态的检测系统，它涉及极紫外光刻光源离子状态的检测系统，本发明是为了解决极紫外光刻机在正常工作条件下进行极紫外光刻光源离子状态检测时，由于相机对光刻光源的光路的遮挡难以实现极紫外光刻光源离子状态实时检测的问题。它包括极紫外收集镜、反射镜、滤光片、光电二极管和示波器；毛细管输出端面的中心点与反射镜上端部连线与毛细管输出端的中心点与反射镜下端部连线的夹角为9~11°。此夹角范围内输出的极紫外光入射光电二极管，转变为电信号传递给示波器，示波器又将电信号转变为光信号形成的波形来动态显示极紫外光刻光源的离子状态。本发明可应用于极紫外光刻光源离子状态的动态检测技术领域。
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公开(公告)号：CN115855241A
公开(公告)日：2023-03-28
申请号：CN202211567455.2
申请日：2022-12-07
申请人： 哈尔滨工业大学
摘要： 本发明公开了一种测量极紫外激光聚焦光斑的能量密度分布仪器及方法，涉及激光聚焦光斑技术领域。为解决现有CCD相机无法精确的拍摄聚焦效果良好的极紫外激光聚焦光斑，而且CCD相机无法承受太高的光强，不但会因接收器饱和无法读取真实数值，而且高能量密度的极紫外激光会对接收屏造成不可逆的损伤的问题。包括极紫外激光、超环面镜、PMMA样品和二极管；PMMA样品，设置在电动式二维平移平台上，并垂直光轴；二极管，设置于PMMA样品安装后方，用于监测极紫外激光。该测量极紫外激光聚焦光斑的能量密度分布仪器及方法，在PMMA烧蚀记录过程中不涉及电路，因此毛细管放电泵浦类的极紫外激光输出过程中产生的地电位浮动对记录过程没有影响。
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