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公开(公告)号：CN103560393A
公开(公告)日：2014-02-05
申请号：CN201310585432.9
申请日：2013-11-19
申请人： 哈尔滨工业大学
IPC分类号： H01S4/00
摘要： 毛细管放电软X射线激光中应用的可移动放电电极，涉及一种可移动放电电极。本发明是为了解决现有的改变增益介质的方法中，在不同增益介质长度的条件下得到的电流波形与主脉冲电流波形不一致的问题。本发明克服了现有技术中，采用改变毛细管的长度或改变电极长度的固有思路，而是通过在电极上设置一个带有弹性的钢丝，实现了电极在毛细管中任意位置能够固定的效果，进而达到改变增益介质的目的，由于电极固定在毛细管的任意位置时，等离子体柱的总长度为毛细管长度和电极长度之差，保证等离子体柱的总长度保持不变，进而取得了在不同增益介质长度的条件下，获得与主脉冲电流波形相同的脉冲电流波形的效果。本发明适用于毛细管放电实验当中。
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公开(公告)号：CN106154378A
公开(公告)日：2016-11-23
申请号：CN201610782664.7
申请日：2016-08-30
申请人： 哈尔滨工业大学
CPC分类号： G02B5/10 , G02B19/0023
摘要： 一种SiC球面反射镜及利用该反射镜聚焦46.9nm激光的方法，涉及46.9nm激光的聚焦技术，目的是为了解决采用多层镀膜球面反射镜聚焦46.9nm激光的各种缺陷。本发明的SiC球面反射镜采用SiC制成，反射面为凹陷的球面。采用上述反射镜聚焦46.9nm激光的方法包括：利用ZEMAX软件模拟聚焦光路，确定SiC球面反射镜的焦点位置的步骤；利用波长为632.8nm的氦氖激光调节光路，进一步确定焦点位置的步骤；使46.9nm激光入射至SiC球面反射镜的步骤。上述SiC球面反射镜不需要镀膜，制作成本低，不易被激光损伤，对激光没有干涉作用，上述方法得到的聚焦光斑完全能够满足烧蚀材料的要求。
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公开(公告)号：CN103559993B
公开(公告)日：2015-09-16
申请号：CN201310589661.8
申请日：2013-11-20
申请人： 哈尔滨工业大学
摘要： 预脉冲隔离电感及利用该电感的毛细管放电软X射线激光装置，涉及一种预脉冲电源保护装置及利用该装置的X射线激光装置。本发明解决了现有毛细管放电软X射线激光装置的主脉冲电压在预脉冲电路中产生幅值较高的电流脉冲干扰信号对预脉冲电源产生破坏的问题，本发明利用线绕电感、尼龙绝缘套筒、连接套筒、不锈钢法兰、一号金属杆、环形气体放电开关、尼龙连接套筒、二号金属杆和尼龙棒获得预脉冲隔离电感；利用电感对快上升沿的阻碍作用，降低主脉冲高压对预脉冲电源的干扰，将电感串联在毛细管与预脉冲电源之间。本发明适利用毛细管放电Z箍缩效应获得软X射线激光脉冲装置。
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公开(公告)号：CN115855241A
公开(公告)日：2023-03-28
申请号：CN202211567455.2
申请日：2022-12-07
申请人： 哈尔滨工业大学
摘要： 本发明公开了一种测量极紫外激光聚焦光斑的能量密度分布仪器及方法，涉及激光聚焦光斑技术领域。为解决现有CCD相机无法精确的拍摄聚焦效果良好的极紫外激光聚焦光斑，而且CCD相机无法承受太高的光强，不但会因接收器饱和无法读取真实数值，而且高能量密度的极紫外激光会对接收屏造成不可逆的损伤的问题。包括极紫外激光、超环面镜、PMMA样品和二极管；PMMA样品，设置在电动式二维平移平台上，并垂直光轴；二极管，设置于PMMA样品安装后方，用于监测极紫外激光。该测量极紫外激光聚焦光斑的能量密度分布仪器及方法，在PMMA烧蚀记录过程中不涉及电路，因此毛细管放电泵浦类的极紫外激光输出过程中产生的地电位浮动对记录过程没有影响。
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公开(公告)号：CN103559993A
公开(公告)日：2014-02-05
申请号：CN201310589661.8
申请日：2013-11-20
申请人： 哈尔滨工业大学
摘要： 预脉冲隔离电感及利用该电感的毛细管放电软X射线激光装置，涉及一种预脉冲电源保护装置及利用该装置的X射线激光装置。本发明解决了现有毛细管放电软X射线激光装置的主脉冲电压在预脉冲电路中产生幅值较高的电流脉冲干扰信号对预脉冲电源产生破坏的问题，本发明利用线绕电感、尼龙绝缘套筒、连接套筒、不锈钢法兰、一号金属杆、环形气体放电开关、尼龙连接套筒、二号金属杆和尼龙棒获得预脉冲隔离电感；利用电感对快上升沿的阻碍作用，降低主脉冲高压对预脉冲电源的干扰，将电感串联在毛细管与预脉冲电源之间。本发明适利用毛细管放电Z箍缩效应获得软X射线激光脉冲装置。
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公开(公告)号：CN114751649B
公开(公告)日：2023-08-25
申请号：CN202210440082.6
申请日：2022-04-25
申请人： 哈尔滨工业大学
摘要： 本发明公开了一种利用激光制备材料表面纳米颗粒的方法，涉及材料表面颗粒制备领域，包括如下步骤：步骤1)、将基板置于真空室的移动平台上；所述基板上设有单层石墨烯；步骤2)、用一聚焦的脉宽1.6ns毛细管放电极紫外激光器对基板进行激光烧灼，激光波长为46.9nm，激光被一超环面镜掠入射反射聚焦，超环面镜没有涂层；在基板同一位置进行单发及多发激光脉冲的辐照；步骤3)、经过步骤2)处理的基板的烧蚀区域形成致密的纳米颗粒。在单层石墨烯的辅助下，纳秒极紫外激光器与玻璃衬底基板的相互作用能够诱导纳米颗粒的自形成，纳米颗粒分布在由聚焦EUV激光能量分布控制的烧蚀区域。
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公开(公告)号：CN116149053A
公开(公告)日：2023-05-23
申请号：CN202310259358.5
申请日：2023-03-16
申请人： 哈尔滨工业大学
IPC分类号： G02B27/00
摘要： 一种极紫外波段光同时实现单点聚焦及波前分割的方法，它涉及光学领域，本发明要解决极紫外波段光无法同时实现单点聚焦以及波前分割的问题，本发明的方法：设光轴与光学元件中心轴夹角为θ，单根入射光线与光学元件内表面入射点处切线方向的夹角为θ1，单根入射光线与光轴的夹角为θ2，单根光入射点法线与光学元件中心轴夹角为θ3；上述角度需满足以下公式：(90°‑θ1)+(θ2+θ)+(180°‑θ3)＝180°，依据上述公式调控掠入射反射的极紫外波段光与光学元件的关系，即完成所述的实现掠入射反射的极紫外波段光单点聚焦以及波前分割的方法。本发明的方法能够在获得一个很高反射率的同时，极大的减小光学畸变，同时除聚焦外具备波前分割功能，实现一定程度上的光场调控。
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公开(公告)号：CN114751649A
公开(公告)日：2022-07-15
申请号：CN202210440082.6
申请日：2022-04-25
申请人： 哈尔滨工业大学
摘要： 本发明公开了一种利用激光制备材料表面纳米颗粒的方法，涉及材料表面颗粒制备领域，包括如下步骤：步骤1)、将基板置于真空室的移动平台上；所述基板上设有单层石墨烯；步骤2)、用一聚焦的脉宽1.6ns毛细管放电极紫外激光器对基板进行激光烧灼，激光波长为46.9nm，激光被一超环面镜掠入射反射聚焦，超环面镜没有涂层；在基板同一位置进行单发及多发激光脉冲的辐照；步骤3)、经过步骤2)处理的基板的烧蚀区域形成致密的纳米颗粒。在单层石墨烯的辅助下，纳秒极紫外激光器与玻璃衬底基板的相互作用能够诱导纳米颗粒的自形成，纳米颗粒分布在由聚焦EUV激光能量分布控制的烧蚀区域。
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公开(公告)号：CN103560393B
公开(公告)日：2016-03-16
申请号：CN201310585432.9
申请日：2013-11-19
申请人： 哈尔滨工业大学
IPC分类号： H01S4/00
摘要： 毛细管放电软X射线激光中应用的可移动放电电极，涉及一种可移动放电电极。本发明是为了解决现有的改变增益介质的方法中，在不同增益介质长度的条件下得到的电流波形与主脉冲电流波形不一致的问题。本发明克服了现有技术中，采用改变毛细管的长度或改变电极长度的固有思路，而是通过在电极上设置一个带有弹性的钢丝，实现了电极在毛细管中任意位置能够固定的效果，进而达到改变增益介质的目的，由于电极固定在毛细管的任意位置时，等离子体柱的总长度为毛细管长度和电极长度之差，保证等离子体柱的总长度保持不变，进而取得了在不同增益介质长度的条件下，获得与主脉冲电流波形相同的脉冲电流波形的效果。本发明适用于毛细管放电实验当中。
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