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公开(公告)号:CN111139432B
公开(公告)日:2022-01-28
申请号:CN202010021933.4
申请日:2020-01-09
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种仿蛾眼结构二氧化钒智能窗薄膜,它属于智能窗领域。本发明要解决现有VO2薄膜低温可见透过比较低,热调控能力不足以满足使用需求,且相变温度较高,严重制约其在智能窗领域应用的问题。仿蛾眼结构二氧化钒智能窗薄膜自下而上依次由基底层和VO2层组成。制备方法:一、高能脉冲磁控溅射W掺杂的VO2薄膜制备;二、离子束刻蚀。本发明用于仿蛾眼结构VO2智能窗薄膜及其制备。
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公开(公告)号:CN109518148B
公开(公告)日:2021-05-04
申请号:CN201811533297.2
申请日:2018-12-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种利用高能脉冲反应磁控溅射制备二氧化钒智能热控器件的方法,涉及一种制备二氧化钒智能热控器件的方法。目的是解决现有磁控溅射制备VO2智能热控器件的工艺存在制备温度高的问题。利用高能脉冲靶磁控溅射装置在基底表面沉积金属反射层,然后在金属反射层表面沉积VO2功能层,最后在VO2功能层表面沉积保护层。本发明将高能脉冲磁控溅射方法应用于VO2智能热控器件制备,优点是所需制备温度低,所需成本较低。本发明适用于制备二氧化钒智能热控器件。
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公开(公告)号:CN109626317A
公开(公告)日:2019-04-16
申请号:CN201811554096.0
申请日:2018-12-18
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种基于双梯度锥形孔阵列的复合结构膜及其制备方法,它涉及一种复合结构膜及其制备方法,本发明要解决对自驱动的水雾收集膜水滴自驱动效果不理想,自驱动能量来源单一等问题。本发明采用飞秒激光钻孔技术结合低表面能修饰技术,通过调整激光脉冲冲击参数与焦点空间位置,实现具有形貌梯度和表面能梯度的锥形孔阵列的高效快速加工。所述结构能自发的改变水滴自身状态完成从上表面到下表面自驱动地运输过程。本发明制备的复合结构铝箔的上下表面分别具有超疏水和超亲水性能。微孔内顶端到底端存在三种渐变元素,粗糙度、表面能和截面半径,这三种梯度赋予了液滴从铝箔上表面自发地转移到下表面的能力。本发明应用于雾水处理领域。
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公开(公告)号:CN109518148A
公开(公告)日:2019-03-26
申请号:CN201811533297.2
申请日:2018-12-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种利用高能脉冲反应磁控溅射制备二氧化钒智能热控器件的方法,涉及一种制备二氧化钒智能热控器件的方法。目的是解决现有磁控溅射制备VO2智能热控器件的工艺存在制备温度高的问题。利用高能脉冲靶磁控溅射装置在基底表面沉积金属反射层,然后在金属反射层表面沉积VO2功能层,最后在VO2功能层表面沉积保护层。本发明将高能脉冲磁控溅射方法应用于VO2智能热控器件制备,优点是所需制备温度低,所需成本较低。本发明适用于制备二氧化钒智能热控器件。
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公开(公告)号:CN105130210B
公开(公告)日:2018-01-26
申请号:CN201510409030.2
申请日:2015-07-13
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: C03C17/38
Abstract: 三维有序大孔聚苯胺/碳复合电致变色薄膜的制备方法,它涉及一种碳复合电致变色薄膜的制备方法。本发明为了解决现有三维有序大孔结构聚苯胺电致变色薄膜由于导电性较差而引起的变色性能不足的技术问题。方法:一、基板材料的表面处理;二、胶体溶液的配制;三、胶体晶体模板的制备;四、碳覆胶体晶体模板的制备;五、将工作电极、参比电极和对电极放入苯胺‑质子酸水溶液中,沉积,冲洗,干燥,去除模板后,即得三维有序大孔聚苯胺/碳复合电致变色薄膜;本发明中由于碳的引入,提高了聚苯胺的导电性,使得聚苯胺薄膜的电致变色性能显著提高。本发明属于电致变色薄膜的制备领域。
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公开(公告)号:CN105088200A
公开(公告)日:2015-11-25
申请号:CN201510612004.X
申请日:2015-09-23
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: C23C20/08
Abstract: 一种颜色随角度变化的SiO2/VO2热致相变薄膜的制备方法,它涉及一种颜色随角度变化的SiO2/VO2热致相变薄膜的制备方法。本发明首先利用溶胶-凝胶法制备出VO2热致相变薄膜,随后利用膜层转移法在VO2薄膜表面沉积一层SiO2二维光子晶体,干燥后即可得到颜色随角度变化的VO2纳米薄膜。本发明制备的VO2薄膜根据所用SiO2微球的大小,其颜色随角度的变化不同,能够有效的克服VO2薄膜颜色单一的缺点,非常适合于推进VO2热致相变智能窗的应用。本发明工艺简单,成本低廉,能耗少,无污染,适合于工业化生产。
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公开(公告)号:CN115200410B
公开(公告)日:2024-02-20
申请号:CN202210863511.0
申请日:2022-07-21
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种红外辐射动态可重构器件及其制备方法,它属于红外辐射动态调控领域。本发明要解决红外辐射调控器件的红外特征无法随环境变化而变化的问题。红外辐射动态可重构器件,它自下而上依次由基底层和掺杂VO2层组成。制备方法:一、模板制备;二、掺杂VO2层图案制备。本发明用于红外辐射动态可重构器件及其制备。
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公开(公告)号:CN117434776A
公开(公告)日:2024-01-23
申请号:CN202311682270.0
申请日:2023-12-08
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种基于二氧化钒的动态热辐射可重构器件及其制备方法,它属于红外辐射动态调控领域。本发明要解决现有正、负微分红外辐射调制特性无法在同一VO2谐振结构上集成的问题。动态热辐射可重构器件,它自下而上依次由基底、金属层、介质层及VO2层组成;VO2层是由多个不同厚度的图案化VO2单元组成。制备方法:一、模板制备;二、金属层制备;三、介质层制备;四、相变层制备;五、后退火处理。本发明用于基于二氧化钒的动态热辐射可重构器件及其制备。
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公开(公告)号:CN114620945B
公开(公告)日:2023-09-12
申请号:CN202210311247.X
申请日:2022-03-28
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: C03C17/245 , C23C14/08 , C23C14/35 , C23C14/58
Abstract: 一种基于高透明二氧化钒热致变色智能窗及其制备方法,它涉及一种智能窗及其制备方法。本发明要解决现有VO2薄膜制备参数较为严格以及VO2薄膜可见透过比较低的问题。基于高透明VO2热致变色智能窗由半导体基底及一侧设置的VO2微纳米颗粒层组成,或基于高透明VO2热致变色智能窗由半导体基底及两侧设置的VO2微纳米颗粒层组成。制备方法:一、清洗基片;二、VO2薄膜制备;三、微纳米颗粒的加工。本发明用于基于高透明VO2热致变色智能窗及其制备。
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公开(公告)号:CN113322442B
公开(公告)日:2022-11-01
申请号:CN202110620478.4
申请日:2021-06-03
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种抗原子氧性能优异的γ‑三氧化二铝薄膜的制备方法,它涉及三氧化二铝薄膜的制备方法。本发明要解决现有方法制备的γ‑Al2O3薄膜存在的致密性差,抗氧化性能不高,薄膜制备温度过高的问题。制备方法:一、将基体置于高能脉冲磁控溅射系统中,抽真空;二、Al靶进行预溅射;三、通入氩气及氧气,沉积。本发明用于抗原子氧性能优异的γ‑三氧化二铝薄膜的制备。
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