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公开(公告)号：CN113322442A
公开(公告)日：2021-08-31
申请号：CN202110620478.4
申请日：2021-06-03
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种抗原子氧性能优异的γ‑三氧化二铝薄膜的制备方法，它涉及三氧化二铝薄膜的制备方法。本发明要解决现有方法制备的γ‑Al2O3薄膜存在的致密性差，抗氧化性能不高，薄膜制备温度过高的问题。制备方法：一、将基体置于高能脉冲磁控溅射系统中，抽真空；二、Al靶进行预溅射；三、通入氩气及氧气，沉积。本发明用于抗原子氧性能优异的γ‑三氧化二铝薄膜的制备。
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公开(公告)号：CN111453999A
公开(公告)日：2020-07-28
申请号：CN202010225122.6
申请日：2020-03-26
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种智能辐射器及其制备方法，它属于智能热控领域。本发明要解决现有VO2薄膜热调控能力不足的问题。一种智能辐射器自下而上依次由高反射金属基底层、红外高吸收中间介质层和VO2复合层组成。制备方法：一、VO2颗粒掺杂的红外透明基体材料溶胶的制备；二、VO2复合层的制备；三、金属层沉积。本发明用于一种智能辐射器及其制备。
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公开(公告)号：CN111005001A
公开(公告)日：2020-04-14
申请号：CN201911405661.1
申请日：2019-12-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种仿天牛多级结构的二氧化钒智能热控器件及其制备方法，它属于智能热控涂层技术领域。本发明要解决现有基于VO2的智能热控器件发射率变化小，太阳吸收比高的问题。仿天牛多级结构的二氧化钒智能热控器件自下而上依次由半导体基底层、红外高反射金属层、HfO2介质层、VO2层和保护层组成。制备方法：一、红外高反射金属层的制备；二、介质薄膜制备；三、VO2薄膜制备；四、微结构加工；五、保护层沉积。本发明用于仿天牛多级结构的二氧化钒智能热控器件及其制备。
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公开(公告)号：CN113322442B
公开(公告)日：2022-11-01
申请号：CN202110620478.4
申请日：2021-06-03
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种抗原子氧性能优异的γ‑三氧化二铝薄膜的制备方法，它涉及三氧化二铝薄膜的制备方法。本发明要解决现有方法制备的γ‑Al2O3薄膜存在的致密性差，抗氧化性能不高，薄膜制备温度过高的问题。制备方法：一、将基体置于高能脉冲磁控溅射系统中，抽真空；二、Al靶进行预溅射；三、通入氩气及氧气，沉积。本发明用于抗原子氧性能优异的γ‑三氧化二铝薄膜的制备。
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公开(公告)号：CN111077603B
公开(公告)日：2022-01-28
申请号：CN201911405665.X
申请日：2019-12-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种红外发射率可调柔性薄膜及其制备方法，它属于智能热控领域。本发明要现有方法提高基于VO2的智能热控器件发射率变化值，需要高精度的真空镀膜系统和微纳结构加工系统，成本高，制备效率低，面积大小受限，且制备温度较高，难以在柔性基底上沉积柔性薄膜，不能满足异形结构应用的问题。一种红外发射率可调柔性薄膜自下而上依次由高反射金属基底层、VO2复合层和表面保护层组成。制备方法：一、微米级W掺杂VO2颗粒的制备；二、VO2复合层膜的制备；三、高反射金属基底层沉积；四、表面保护层沉积。本发明用于红外发射率可调柔性薄膜及其制备。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111005001B
公开(公告)日：2021-05-04
申请号：CN201911405661.1
申请日：2019-12-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种仿天牛多级结构的二氧化钒智能热控器件及其制备方法，它属于智能热控涂层技术领域。本发明要解决现有基于VO2的智能热控器件发射率变化小，太阳吸收比高的问题。仿天牛多级结构的二氧化钒智能热控器件自下而上依次由半导体基底层、红外高反射金属层、HfO2介质层、VO2层和保护层组成。制备方法：一、红外高反射金属层的制备；二、介质薄膜制备；三、VO2薄膜制备；四、微结构加工；五、保护层沉积。本发明用于仿天牛多级结构的二氧化钒智能热控器件及其制备。
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公开(公告)号：CN109437303B
公开(公告)日：2020-11-13
申请号：CN201811503365.0
申请日：2018-12-10
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: C01G31/02
Abstract: 基于VO2薄膜的热致变色智能热控器件的制备方法，它属于智能材料微纳结构器件制备领域。本发明要解决现有VO2薄膜高温的反射较高，导致基于VO2的智能热控器件的高温发射率较低的问题。基于VO2薄膜的热致变色智能热控器件自下而上依次由高反射金属基底层、微纳结构VO2层和保护层组成；或基于VO2薄膜的热致变色智能热控器件自下而上依次由半导体基底层、红外高反射层、微纳结构VO2层和保护层组成。制备方法：一、清洗基片；二、VO2薄膜制备；三、微纳结构加工；四、保护层沉积。本发明用于基于VO2薄膜的热致变色智能热控器件及其制备。
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公开(公告)号：CN111139432A
公开(公告)日：2020-05-12
申请号：CN202010021933.4
申请日：2020-01-09
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种仿蛾眼结构二氧化钒智能窗薄膜及其制备方法，它属于智能窗领域。本发明要解决现有VO2薄膜低温可见透过比较低，热调控能力不足以满足使用需求，且相变温度较高，严重制约其在智能窗领域应用的问题。仿蛾眼结构二氧化钒智能窗薄膜自下而上依次由基底层和VO2层组成。制备方法：一、高能脉冲磁控溅射W掺杂的VO2薄膜制备；二、离子束刻蚀。本发明用于仿蛾眼结构VO2智能窗薄膜及其制备。
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公开(公告)号：CN109437303A
公开(公告)日：2019-03-08
申请号：CN201811503365.0
申请日：2018-12-10
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: C01G31/02
CPC classification number: C01G31/02
Abstract: 基于VO2薄膜的热致变色智能热控器件及其制备方法，它属于智能材料微纳结构器件制备领域。本发明要解决现有VO2薄膜高温的反射较高，导致基于VO2的智能热控器件的高温发射率较低的问题。基于VO2薄膜的热致变色智能热控器件自下而上依次由高反射金属基底层、微纳结构VO2层和保护层组成；或基于VO2薄膜的热致变色智能热控器件自下而上依次由半导体基底层、红外高反射层、微纳结构VO2层和保护层组成。制备方法：一、清洗基片；二、VO2薄膜制备；三、微纳结构加工；四、保护层沉积。本发明用于基于VO2薄膜的热致变色智能热控器件及其制备。
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公开(公告)号：CN109365995A
公开(公告)日：2019-02-22
申请号：CN201811489271.2
申请日：2018-12-06
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B23K26/0622 , B23K26/082 , B23K26/046 , B23K26/70
Abstract: 一种高度均一的微锥阵列结构的制备方法，本发明涉及微锥阵列结构的制备方法领域。本发明要解决现有方法制备的微锥阵列结构存在的均匀性差，制备工艺繁琐，无法大面积加工，材料普适性差的问题。方法：一、将激光焦点中心聚焦在样品上表面；二、设置激光单脉冲能量；三、设置平面网格路径，然后采用激光扫描样品上表面；四、利用去离子水超声清洗处理后的样品。本发明可以通过调节激光脉冲能量、脉冲速率和振镜扫描参数，实现微锥的尺寸及形貌结构的精确调谐，有利于功能微结构的最优设计。本发明用于制备高度均一的微锥阵列结构。
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