一种基于二氧化钒的动态热辐射可重构器件及其制备方法

    公开(公告)号:CN117434776A

    公开(公告)日:2024-01-23

    申请号:CN202311682270.0

    申请日:2023-12-08

    Abstract: 一种基于二氧化钒的动态热辐射可重构器件及其制备方法,它属于红外辐射动态调控领域。本发明要解决现有正、负微分红外辐射调制特性无法在同一VO2谐振结构上集成的问题。动态热辐射可重构器件,它自下而上依次由基底、金属层、介质层及VO2层组成;VO2层是由多个不同厚度的图案化VO2单元组成。制备方法:一、模板制备;二、金属层制备;三、介质层制备;四、相变层制备;五、后退火处理。本发明用于基于二氧化钒的动态热辐射可重构器件及其制备。

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