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公开(公告)号：CN117249165A
公开(公告)日：2023-12-19
申请号：CN202311335570.1
申请日：2023-10-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明提供一种磁气混合的主动式气浮支撑结构及支撑方法，属于气浮支撑技术领域。该支撑结构气膜厚度可灵活调整，支撑可靠，稳定性好。气浮轴承设置于平台上方，导磁体‑的位置与气浮轴承的位置上下相对应，导磁体‑安装在平台上，所述气膜主动调节单元布设在气浮轴承中，通过气膜主动调节单元控制气膜的厚度。本申请通过节流器结构的加入，主动补偿供气压力以及磁力结构的加入，有效地提升气浮轴承的动态及静态特性。
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公开(公告)号：CN113820924B
公开(公告)日：2022-06-28
申请号：CN202111110624.5
申请日：2021-09-22
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明提供了一种光刻机的微动平台，涉及微动台领域。光刻机的微动平台包括底座、驱动机构和运动座，运动座间隔设于底座上侧，驱动机构安装于底座和运动座之间；驱动机构包括至少三个周向间隔布置的驱动件，驱动件的驱动方向垂直于运动座的支撑平面，且驱动件的驱动端与运动座柔性连接；底座与运动座之间设有至少三个高度传感器和至少三个平面传感器，至少三个高度传感器和平面传感器分布于运动座的边角位置，高度传感器检测运动座的高度位移，平面传感器检测运动座的平面位移，且至少三个平面传感器的检测方向呈相交布置。本专利实现了运动座的Z向、RX向和RY向运动，提高了微动平台六自由度运动的控制精度，提高了微动平台的运动平稳性和精度。
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公开(公告)号：CN113917798A
公开(公告)日：2022-01-11
申请号：CN202111110721.4
申请日：2021-09-22
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明的实施例提供了一种用于工作台Z轴方向宏动的运动装置，包括：工作台；四个校正模块，所述校正模块与所述工作台相连接，所述校正模块包括可发生柔性形变的柔性结构；以及四个驱动模块，所述驱动模块的顶部与所述校正模块一一对应连接，各所述驱动模块底部与宏动台相连接；其中，四个所述驱动模块的投影的连线构成四边形，各所述驱动模块驱动对应的所述校正模块沿Z轴方向移动；当任意两个所述驱动模块驱动对应的所述校正模块沿Z轴方向移动时，所述柔性结构发生柔性形变，实现所述工作台的位置调整。
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公开(公告)号：CN117249165B
公开(公告)日：2025-02-07
申请号：CN202311335570.1
申请日：2023-10-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明提供一种磁气混合的主动式气浮支撑结构及支撑方法，属于气浮支撑技术领域。该支撑结构气膜厚度可灵活调整，支撑可靠，稳定性好。气浮轴承设置于平台上方，导磁体‑的位置与气浮轴承的位置上下相对应，导磁体‑安装在平台上，所述气膜主动调节单元布设在气浮轴承中，通过气膜主动调节单元控制气膜的厚度。本申请通过节流器结构的加入，主动补偿供气压力以及磁力结构的加入，有效地提升气浮轴承的动态及静态特性。
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公开(公告)号：CN113917798B
公开(公告)日：2022-10-14
申请号：CN202111110721.4
申请日：2021-09-22
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明的实施例提供了一种用于工作台Z轴方向宏动的运动装置，包括：工作台；四个校正模块，所述校正模块与所述工作台相连接，所述校正模块包括可发生柔性形变的柔性结构；以及四个驱动模块，所述驱动模块的顶部与所述校正模块一一对应连接，各所述驱动模块底部与宏动台相连接；其中，四个所述驱动模块的投影的连线构成四边形，各所述驱动模块驱动对应的所述校正模块沿Z轴方向移动；当任意两个所述驱动模块驱动对应的所述校正模块沿Z轴方向移动时，所述柔性结构发生柔性形变，实现所述工作台的位置调整。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113885298B
公开(公告)日：2022-06-17
申请号：CN202111110519.1
申请日：2021-09-22
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明涉及光刻机设备技术领域，公开了一种磁悬浮式光刻机掩模台，其包括基座、微动台、掩模版，基座上表面设有驱动机构和磁悬浮导轨，磁悬浮导轨为长条状，两条磁悬浮导轨互相平行，每条磁悬浮导轨朝向另一磁悬浮导轨一侧设有导轨凹槽；微动台设有安装位，微动台上表面设有四个上电磁铁，上电磁铁以矩形分布，四个上电磁铁位于矩形四个边角位置，微动台下表面设有四个下电磁铁，下电磁铁与上电磁铁的位置一一对应，微动台悬浮于两条磁悬浮导轨之间，上电磁铁和下电磁铁位于导轨凹槽内，驱动机构驱动微动台做多自由度精密运动；掩模版安装于安装位；控制电路，其用于控制每个上电磁铁和每个下电磁铁的磁力大小，实现了微动台多自由度位姿调整。
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公开(公告)号：CN114264476A
公开(公告)日：2022-04-01
申请号：CN202111648331.2
申请日：2021-12-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种适用于多尺寸静压气浮轴承的静态性能测试装置，属于精密仪器及机械技术领域，本发明为了解决现有静压气浮轴承静动态性能测试装置无法根据实际工况调整解耦球的角度，无法实现复杂工况下静压气浮轴承的静态性能测试，并且在对被测部件加载时存在一定的偏差的问题，本发明提供的一种适用于多尺寸静压气浮轴承的静态性能测试装置，通过单独的气浮承载模块和工况调节模块，独立的气浮承载模块切断了气浮与主体结构的传力路径，保证了承载力测试的准确性，工况调节模块可以更加精确的实现了静压气浮轴承及其运动解耦连接结构的静态性能测试。
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公开(公告)号：CN113944691A
公开(公告)日：2022-01-18
申请号：CN202111110622.6
申请日：2021-09-22
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明涉及精密机械技术领域，公开了一种移动式气浮导向机构，包括：两个基座、导轨、第一悬浮装置和第二悬浮装置，两基座相互间隔并平行设置，且均由能够与磁铁配合吸附的金属材质制成，导轨与悬浮装置连接并架设于两基座上；第一悬浮装置设于导轨的左侧，第一悬浮装置的左侧设有第一气悬浮组件和第一磁矩阵，第一悬浮装置的底部设有第二气悬浮组件和第二磁矩阵；第二悬浮装置设于导轨的右侧，第二悬浮装置的底部设有第三气悬浮组件和第三磁矩阵。本发明通过设计底部及侧面的气悬浮组件和磁矩阵结构降低导向机构的运动摩擦，以解决现有精密运动导向机构中导轨质量过大，运动控制难度高且装配误差较大的问题，进一步提高导向机构的运动精度。
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公开(公告)号：CN113917793A
公开(公告)日：2022-01-11
申请号：CN202111110518.7
申请日：2021-09-22
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明的实施例提供了一种支撑机构及光刻机，包括：底座；移动部件，其装设于所述底座的底部；气足，其装设于所述底座的底部，且其最低点高于所述移动部件的最低点，其上具有气孔，在通气时，在其底部形成支撑所述底座的气层；支撑部件，其安装于所述底座的底部，其具有第一状态和第二状态，当其处于第一状态时，其最低点低于所述移动部件的最低点以支撑所述底座；当其处于第二状态时，其最低点高于所述移动部件，以使得所述移动部件带动所述底座移动。
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公开(公告)号：CN113885298A
公开(公告)日：2022-01-04
申请号：CN202111110519.1
申请日：2021-09-22
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明涉及光刻机设备技术领域，公开了一种磁悬浮式光刻机掩模台，其包括基座、微动台、掩模版，基座上表面设有驱动机构和磁悬浮导轨，磁悬浮导轨为长条状，两条磁悬浮导轨互相平行，每条磁悬浮导轨朝向另一磁悬浮导轨一侧设有导轨凹槽；微动台设有安装位，微动台上表面设有四个上电磁铁，上电磁铁以矩形分布，四个上电磁铁位于矩形四个边角位置，微动台下表面设有四个下电磁铁，下电磁铁与上电磁铁的位置一一对应，微动台悬浮于两条磁悬浮导轨之间，上电磁铁和下电磁铁位于导轨凹槽内，驱动机构驱动微动台做多自由度精密运动；掩模版安装于安装位；控制电路，其用于控制每个上电磁铁和每个下电磁铁的磁力大小，实现了微动台多自由度位姿调整。
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