公开(公告)号：CN111128794A

公开(公告)日：2020-05-08

申请号：CN201911036415.3

申请日：2019-10-29

Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司

Inventor： 杨胜钧 ,  林艺民 ,  万昭宏

IPC: H01L21/67 ,  C23C16/455

Abstract: 用于扩散气体的扩散器包括基部和流体地耦合于基部的头部。头部包括扩散器元件，此扩散器元件配置以使气体的第一部分透过扩散器元件的圆周扩散，并且使气体的第二部分透过扩散器元件的端面扩散。头部还包括连接结构，此连接结构具有第一连接部分和第二连接部分，其中第一连接部分配置以接收扩散器元件的一部分于其内，而第二连接部分从第一连接部分向外凸出并且配置以耦合于基部。

公开(公告)号：CN110834820A

公开(公告)日：2020-02-25

申请号：CN201910202168.3

申请日：2019-03-18

Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司

Inventor： 杨胜钧 ,  林艺民 ,  万昭宏 ,  许修豪 ,  陈冠中 ,  梁伯维

IPC: B65D81/22 ,  B65D81/26

Abstract: 一种湿度控制储存装置包含多个平板，这些平板配置以形成一密闭容积(Enclosed Volume)。这些平板中的第一平板包含进气口与出气口。储存装置还包含净化系统，此净化(Purge)系统具有进气管路、气体供应系统、以及气体抽出系统。进气管路包含喷嘴与耦合于进气口的圆筒部。气体供应系统配置以供应净化气体给进气管路。进气管路配置沿一方向将净化气体输出至密闭容积中，而在密闭容积内形成圆形或椭圆形的气流图案。气体抽出系统耦合于出气口，且配置以将净化气体从密闭容积中抽出。