包含贯穿孔的兰姆波谐振器
    11.
    发明公开

    公开(公告)号:CN116865701A

    公开(公告)日:2023-10-10

    申请号:CN202310570704.1

    申请日:2023-05-19

    Applicant: 南京大学

    Abstract: 本发明公开了一种包含贯穿孔的兰姆波谐振器,包括压电层薄膜,所述兰姆波谐振器还包括一个或多个排布在压电层薄膜的叉指电极区域中的贯穿孔。本发明设计的兰姆波谐振器由于具有贯穿孔结构,贯穿孔对于谐振器寄生模式起到了较好的抑制作用,该贯穿孔可以抑制或者甚至完全消除谐振器的寄生模式,并且具有普适性,在各种IDT电极参数、各种LiNbO3薄膜厚度的情况下,均十分有效;同时,这一方案可大幅提升器件的设计灵活性、紧凑性、力学稳定性、温度稳定性及功率耐受性。

    基于铌酸锂单晶薄膜的声表面波声子晶体

    公开(公告)号:CN116137517A

    公开(公告)日:2023-05-19

    申请号:CN202310199332.6

    申请日:2023-03-03

    Applicant: 南京大学

    Abstract: 本发明公开一种基于铌酸锂单晶薄膜的声表面波声子晶体,所述声表面波声子晶体包括基底,附着在基底上的铌酸锂单晶薄膜,所述铌酸锂单晶薄膜上具有微柱或微孔。本发明提供的基于铌酸锂单晶薄膜的声表面波声子晶体具有高达近20%的勒夫波方向带隙,利用本发明的声表面波声子晶体能够实现对勒夫波的高效抑制,从而构筑基于勒夫波的声表面波谐振器及滤波器。在不影响声表面波器件散热及工作带宽的基础上,本发明提供的声表面波声子晶体可以带来更高的品质因子、更低的插入损耗及更小的器件尺寸,这对实现稳定、高性能、小型化的新一代微波声学器件具有重要意义。

    一种基于声子晶体的全方向、大带宽的地震防护装置

    公开(公告)号:CN115928900A

    公开(公告)日:2023-04-07

    申请号:CN202211275782.0

    申请日:2022-10-18

    Applicant: 南京大学

    Abstract: 本发明公开了一种基于声子晶体的全方向、大带宽的地震防护装置,包括基底以及嵌入基底的多个嵌入结构;多个嵌入结构分布在被防护的建筑物周侧,以改变地震波在地震防护装置中不同位置处的等效折射率,形成从外层至内层折射率逐渐变小的结构趋势。该地震防护装置通过在建筑物周围的基底中嵌入金属或混凝土等高强度材料制成的特殊结构,改变地震波在建筑周围土中不同位置处的等效折射率,使距离建筑物较近区域折射率低,较远区域折射率高,由折射定律:n1·sinθ1=n2·sinθ2可知,波会从折射率低的位置向折射率高的位置偏转,故地震波会在折射率梯度作用下向建筑物外侧偏转,达到保护建筑物的目的,此外,该地震防护装置可防护地震波频率带宽大,且可实现全方向防护。

    一种声表面波光干涉扫描探测系统

    公开(公告)号:CN105928606B

    公开(公告)日:2019-04-16

    申请号:CN201610548397.7

    申请日:2016-07-12

    Applicant: 南京大学

    Abstract: 本发明提供了一种声表面波光干涉扫描探测系统,包括信号发生器、功率放大器、位移平台、外差探测激光干涉仪、低噪声放大器、示波器和计算机。其中信号发生器产生的激励信号经功率放大器放大后,作用在样品上产生声表面波;外差探测激光干涉仪发出的测量臂激光照射在样品表面返回与参考臂激光相干叠加产生干涉信号,探测到的干涉信号经低噪声放大器放大后在示波器上实时显示出相应的波形;示波器和位移平台与计算机联机,计算机控制扫描路径和提取干涉信号波形的振幅和相位信息。本发明结合了外差激光探测和二维平面扫描,可以实现对微型声表面波器件表面的微小区域进行精确扫描,其分辨精度达到1微米,实现扫描的总区域可达10毫米*10毫米。

    一种基于声表面波声子晶体的慢声延时器

    公开(公告)号:CN106230401A

    公开(公告)日:2016-12-14

    申请号:CN201610561691.1

    申请日:2016-07-15

    Applicant: 南京大学

    CPC classification number: H03H9/42

    Abstract: 本发明公开了一种基于声表面波声子晶体的慢声延时器,包括压电基底、压电基底上的金属声子晶体和一对叉指换能器。叉指换能器分别位于金属声子晶体的两侧,其中一侧的叉指换能器利用逆压电效应激发瑞利声表面波,并传输给声子晶体,另一侧的叉指换能器利用正压电效应接收传输过来的声表面波。本发明通过对声表面波声子晶体晶格畸变的设计,可以得到最优化的群速度色散,此时既具有较大的信号延时又具有较宽的工作频率,即延时-带宽积这一重要指标明显提高,属于声表面波电声器件体系中的一种具有优异性能的信号延时器。

    一种利用微波近场技术表征铌酸锂波导的方法

    公开(公告)号:CN105572425A

    公开(公告)日:2016-05-11

    申请号:CN201610160881.2

    申请日:2016-03-21

    Applicant: 南京大学

    CPC classification number: G01Q60/24

    Abstract: 本发明公开了一种利用微波近场技术表征铌酸锂波导的方法,使用原子力显微镜微波近场探针的尖端在铌酸锂波导的表面扫描。具体步骤如下:将微波信号通过定向耦合器和传输线传导进入探针的尖端,微波信号在铌酸锂波导的表面反射后进入定向耦合器,反射的微波信号和一路消除信号同时经过放大器的放大进入混频器解调,得到两组直流信号,这两组直流信号分别对应于探针的尖端与铌酸锂波导之间的阻抗实部和虚部,即电阻R和电容C。本发明的方法实现了快速、无损的鉴别出铌酸锂波导的分界区域、有无表面裂纹,对于更好的制备铌酸锂质子交换波导提供了实验依据。

    基于二维材料的渐变声子晶体谐振器

    公开(公告)号:CN119945371A

    公开(公告)日:2025-05-06

    申请号:CN202411724796.5

    申请日:2024-11-28

    Applicant: 南京大学

    Abstract: 本发明公开了一种基于二维材料的渐变声子晶体谐振器,包括:基底及由二维材料制成的渐变声子晶体梁;所述渐变声子晶体梁包括与所述基底接触的固定区域,以及与所述基底不接触的悬浮区域,所述悬浮区域包括左右对称的禁带声子晶体和中间的声子晶体缺陷,所述禁带声子晶体由若干个单元的原胞组成,所述每个单元原胞的宽度从两端向中间缺陷区域位置逐渐减小以实现应力和位移场的共定位。本发明的基于二维材料的渐变声子晶体谐振器的方案解决了由于机械波损耗与频率的正相关性,机械谐振器的超高品质因数和谐振频率通常难以兼得的问题,在基于二维材料的声子晶体中应用软夹持和应变工程技术,实现GHz乃至更高频段的超高品质因数机械谐振器。

    一种基于铌酸锂单晶薄膜的声学纵向剪切波谐振器

    公开(公告)号:CN114710133B

    公开(公告)日:2024-02-13

    申请号:CN202110963593.1

    申请日:2021-08-20

    Applicant: 南京大学

    Abstract: 本发明公开了一种基于铌酸锂单晶薄膜的声学纵向剪切波谐振器,所述谐振器自上而下依次包括叉指电极层、压电薄膜层、底电极层以及基底;其中,压电薄膜层的材质为单晶铌酸锂,该单晶铌酸锂的切向为X切,30°Y方向。本发明采用了X‑cut,30°Y传LN,此切向的LN具有最大的机电耦合系数,并且将金属电极的厚度尽可能做薄。本发明中的YBAR可以实现55%的机电耦合系数。

    一种基于单片铌酸锂声子晶体的滤波器件及其制备工艺

    公开(公告)号:CN117040480A

    公开(公告)日:2023-11-10

    申请号:CN202311024611.5

    申请日:2023-08-15

    Applicant: 南京大学

    Abstract: 本发明公开了一种基于单片铌酸锂声子晶体的滤波器件及其制备工艺,包括电极、叉指换能器和声子晶体,所述声子晶体为表面具有纳米级刻蚀槽的单晶铌酸锂;声子晶体的制备工艺流程包括将铌酸锂晶圆切片,图形掩膜版绘制,电子束光刻形成带有声子晶体图案的光刻胶掩膜版,氩离子束刻蚀将图形转移到铌酸锂表面。本发明所述的瑞利波滤波器对瑞利波有高效的抑制作用,在30MHz的工作带宽范围内,其声波抑制达到20dB;而且制备的声子晶体表面光滑,不会带入额外的散射损耗,其在非声子带隙处具有极低传输损耗。本发明所述的制备工艺不需要额外的刻蚀硬掩膜,工艺简单,加工精度高,适合大规模生产。

    基于双层铌酸锂单晶薄膜的体声波谐振器

    公开(公告)号:CN116073789A

    公开(公告)日:2023-05-05

    申请号:CN202111284913.7

    申请日:2021-11-01

    Applicant: 南京大学

    Abstract: 本发明公了一种基于双层铌酸锂单晶薄膜的体声波谐振器,所述谐振器从上至下依次包括顶电极、第一层压电薄膜、第二层压电薄膜、底电极、基底;所述底电极和基底之间为悬空结构或者为布拉格反射栅层。本发明的谐振器采用了+X切向(第一层)以及‑X切向(第二层)或‑X切向(第一层)以及+X切向(第二层)的双层铌酸锂单晶薄膜,既保留了X切铌酸锂所具有的大压电系数的优势,同时又可以抑制寄生模式,使得谐振器具有极佳的导纳频谱,具有较大的应用价值。

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