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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105928606B
公开(公告)日：2019-04-16
申请号：CN201610548397.7
申请日：2016-07-12
Applicant: 南京大学
IPC: G01H9/00
Abstract: 本发明提供了一种声表面波光干涉扫描探测系统，包括信号发生器、功率放大器、位移平台、外差探测激光干涉仪、低噪声放大器、示波器和计算机。其中信号发生器产生的激励信号经功率放大器放大后，作用在样品上产生声表面波；外差探测激光干涉仪发出的测量臂激光照射在样品表面返回与参考臂激光相干叠加产生干涉信号，探测到的干涉信号经低噪声放大器放大后在示波器上实时显示出相应的波形；示波器和位移平台与计算机联机，计算机控制扫描路径和提取干涉信号波形的振幅和相位信息。本发明结合了外差激光探测和二维平面扫描，可以实现对微型声表面波器件表面的微小区域进行精确扫描，其分辨精度达到1微米，实现扫描的总区域可达10毫米*10毫米。
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公开(公告)号：CN106230401A
公开(公告)日：2016-12-14
申请号：CN201610561691.1
申请日：2016-07-15
Applicant: 南京大学
IPC: H03H9/42
CPC classification number: H03H9/42
Abstract: 本发明公开了一种基于声表面波声子晶体的慢声延时器，包括压电基底、压电基底上的金属声子晶体和一对叉指换能器。叉指换能器分别位于金属声子晶体的两侧，其中一侧的叉指换能器利用逆压电效应激发瑞利声表面波，并传输给声子晶体，另一侧的叉指换能器利用正压电效应接收传输过来的声表面波。本发明通过对声表面波声子晶体晶格畸变的设计，可以得到最优化的群速度色散，此时既具有较大的信号延时又具有较宽的工作频率，即延时-带宽积这一重要指标明显提高，属于声表面波电声器件体系中的一种具有优异性能的信号延时器。
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公开(公告)号：CN105928606A
公开(公告)日：2016-09-07
申请号：CN201610548397.7
申请日：2016-07-12
Applicant: 南京大学
IPC: G01H9/00
CPC classification number: G01H9/002
Abstract: 本发明提供了一种声表面波光干涉扫描探测系统，包括信号发生器、功率放大器、位移平台、外差探测激光干涉仪、低噪声放大器、示波器和计算机。其中信号发生器产生的激励信号经功率放大器放大后，作用在样品上产生声表面波；外差探测激光干涉仪发出的测量臂激光照射在样品表面返回与参考臂激光相干叠加产生干涉信号，探测到的干涉信号经低噪声放大器放大后在示波器上实时显示出相应的波形；示波器和位移平台与计算机联机，计算机控制扫描路径和提取干涉信号波形的振幅和相位信息。本发明结合了外差激光探测和二维平面扫描，可以实现对微型声表面波器件表面的微小区域进行精确扫描，其分辨精度达到1微米，实现扫描的总区域可达10毫米*10毫米。
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公开(公告)号：CN106198729B
公开(公告)日：2019-04-19
申请号：CN201610536299.1
申请日：2016-07-08
Applicant: 南京大学
Abstract: 本发明提供了一种声板波自聚焦光干涉扫描探测系统。系统中，信号发生器产生的激励信号经功率放大器放大后，通过压电换能器作用在样品上产生声板波；外差探测激光干涉仪发出测量臂的激光照射在样品表面经反射返回，与参考臂的激光相干叠加产生干涉信号，位于位移平台上的探头探测到的干涉信号在示波器上显示出相应的波形；示波器和位移平台分别与计算机联机，计算机用来控制位移平台的扫描路径和提取干涉信号波形的振幅与相位信息，并对数据进行后处理获得样品声板波的场分布信息。本发明利用外差激光干涉仪探测样品表面单点振动的功能与位移平台相结合，可以按照需要实现对样品表面某一区域以某一精度进行扫描获得该区域的场分布信息。
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公开(公告)号：CN106198729A
公开(公告)日：2016-12-07
申请号：CN201610536299.1
申请日：2016-07-08
Applicant: 南京大学
CPC classification number: G01N29/041 , G01H9/002 , G01N29/07 , G01N29/075 , G01N29/36
Abstract: 本发明提供了一种声板波自聚焦光干涉扫描探测系统。系统中，信号发生器产生的激励信号经功率放大器放大后，通过压电换能器作用在样品上产生声板波；外差探测激光干涉仪发出测量臂的激光照射在样品表面经反射返回，与参考臂的激光相干叠加产生干涉信号，位于位移平台上的探头探测到的干涉信号在示波器上显示出相应的波形；示波器和位移平台分别与计算机联机，计算机用来控制位移平台的扫描路径和提取干涉信号波形的振幅与相位信息，并对数据进行后处理获得样品声板波的场分布信息。本发明利用外差激光干涉仪探测样品表面单点振动的功能与位移平台相结合，可以按照需要实现对样品表面某一区域以某一精度进行扫描获得该区域的场分布信息。
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