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公开(公告)号：CN114401811B
公开(公告)日：2025-02-18
申请号：CN202080064112.7
申请日：2020-09-09
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: B23K26/067 , H01L21/301
Abstract: 激光加工装置具备有支撑部、光源、空间光调制器、聚光部及控制部。控制部，以激光被分支成包含0级光的多个加工光，且多个加工光的多个聚光点在Z方向及X方向的各自的方向上位于互相不同的部位的方式，控制空间光调制器，并且，以X方向与线的延伸方向一致，且多个聚光点沿着线相对地移动的方式，控制支撑部及聚光部中的至少一方。控制部，以在X方向上，0级光的聚光点相对于激光的非调制光的聚光点位于一侧的方式，控制空间光调制器。
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公开(公告)号：CN119141012A
公开(公告)日：2024-12-17
申请号：CN202410761490.0
申请日：2024-06-13
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: B23K26/38 , B23K26/402 , B23K26/70
Abstract: 本发明提供一种激光加工装置，其具备：支承部，其支承对象物；第一光源，其射出加工光；第二光源，其射出非加工光；物镜部，其使加工光及非加工光透射到对象物侧；光检测部，其检测由对象物反射且从对象物侧透过了物镜部的非加工光的反射光；处理部，其基于光检测部的检测结果，获取与物镜部的光射出面的污染相关的信息。非加工光的光轴及反射光的光轴中的至少一方在物镜部的光射出面上从物镜部的光轴向规定方向偏移。
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公开(公告)号：CN118574697A
公开(公告)日：2024-08-30
申请号：CN202280089682.0
申请日：2022-08-22
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: B23K26/364 , B23K26/064 , B23K26/067 , H01L21/301
Abstract: 本发明的激光加工装置通过沿着切断线来照射激光于对象物，而沿着切断线在对象物形成沟槽。激光加工装置具备支承部、激光源、空间光调制器及聚光部。显示于空间光调制器的显示部的调制图案包含：分支图案，其使激光至少分支成形成第1沟槽的1个或多个第1分支激光、及形成第2沟槽的1个或多个第2分支激光。在沿着切断线的方向上相邻的第1分支激光的聚光点的位置与第2分支激光的聚光点的位置的间隔大于在第1沟槽及第2沟槽的宽度方向上第1分支激光的聚光点的位置与第2分支激光的聚光点的位置的间隔。
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公开(公告)号：CN117396299A
公开(公告)日：2024-01-12
申请号：CN202280036936.2
申请日：2022-01-25
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: B23K26/53
Abstract: 本发明的激光加工装置具备激光照射单元与控制部，控制部构成为执行：第1控制，以沿着在X方向上延伸的线的各个，形成分割用的改质区域，龟裂再从该改质区域朝表面方向延伸的方式，控制激光照射单元；第2控制，在第1控制后，以沿着在Y方向上延伸的多条线的各个，形成分割用的改质区域，龟裂从该改质区域朝表面方向延伸的方式，控制激光照射单元；及第3控制，在第2控制前，以从翘曲抑制用的多个改质区域延伸的龟裂到达背面并且不与从分割用的改质区域延伸的龟裂连续地形成的方式，控制激光照射单元。
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公开(公告)号：CN117381202A
公开(公告)日：2024-01-12
申请号：CN202310838418.9
申请日：2023-07-10
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: B23K26/53 , B23K26/06 , B23K26/046 , B23K26/064
Abstract: 激光加工装置(1)具备：激光光源部(3)，其输出激光(L)；空间光调制器(51)，其包含从激光光源部(3)输出的激光(L)入射的调制面(51a)，且用于通过将调制图案显示于调制面(51a)而根据调制图案调制激光(L)而出射；聚光透镜(54)，其用于将从空间光调制器(51)出射的激光(L)聚光于对象物(11)的内部；挡板(55)，其在空间光调制器(51)和聚光透镜(54)之间遮断激光(L)的一部分；以及控制部(9)。控制部(9)执行切换包含衍射图案(MP3)的调制图案的切换处理。挡板(55)遮断激光(L)中的通过衍射图案(MP3)生成的衍射光(Lg)以使其不入射于聚光透镜(54)。
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公开(公告)号：CN115244652A
公开(公告)日：2022-10-25
申请号：CN202180019117.2
申请日：2021-03-03
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: H01L21/301 , B23K26/00 , B23K26/53 , H01L21/66
Abstract: 检查装置具备：激光照射单元，其朝晶圆照射激光；显示器，其显示信息；及控制部，控制部执行：导出估计加工结果，该估计加工结果是包含依据所设定的配方(加工条件)通过激光照射单元对晶圆照射激光的情况时形成于晶圆的改质区域及从改质区域延伸的龟裂的信息；及控制显示器，考虑作为估计加工结果被导出的改质区域及龟裂的晶圆上的位置，显示将晶圆的影像图与该晶圆的改质区域及龟裂的影像图一同描绘的估计加工结果影像。
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公开(公告)号：CN114074215A
公开(公告)日：2022-02-22
申请号：CN202110954624.7
申请日：2021-08-19
Applicant: 浜松光子学株式会社
Inventor： 荻原孝文
IPC: B23K26/04 , B23K26/067 , B23K26/53 , B23K26/70
Abstract: 本发明提供一种激光加工装置，其包括支承部、照射部、移动机构、输入接收部、能够基于由输入接收部接收的输入来显示设定画面的显示部、控制部。控制部使来自照射部的激光分支成多个加工光，并且使多个加工光的多个聚光点分别在对象物的内部位于与激光的照射方向垂直的方向的位置相互不同的多个部位，通过移动机构使支承部和照射部的至少一者移动，以使多个聚光点的位置沿着线路移动。设定画面包含用于加工条件的设定的第一设定画面；和与第一设定画面分开显示的用于该加工条件的校正的第二设定画面。
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公开(公告)号：CN114746205B
公开(公告)日：2025-02-18
申请号：CN202080083527.9
申请日：2020-12-02
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: B23K26/064 , B23K26/53 , H01L21/301
Abstract: 一种激光加工装置，具备：输出激光的光源；显示用于调制自上述光源输出的上述激光的调制图案的空间光调制器；将通过上述空间光调制器调制后的上述激光聚光于对象物的聚光透镜；及以对应于相对于上述对象物的上述激光的聚光点的行进方向而调整上述调制图案的方式控制上述空间光调制器的控制部。
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公开(公告)号：CN119328321A
公开(公告)日：2025-01-21
申请号：CN202410957096.4
申请日：2024-07-17
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: B23K26/38 , B23K26/064 , B23K26/70
Abstract: 本发明的激光加工装置，能够独立地调节对激光的射出部供给的气体，其对对象物照射激光来进行上述对象物的加工，包括：具有聚光透镜单元的激光加工头，其中，该聚光透镜单元包括用于使上述激光朝向上述对象物聚光的聚光透镜和将上述聚光透镜保持在内部的镜筒；以在与上述镜筒之间形成空间并覆盖上述镜筒的方式设置于上述镜筒的罩；用于对上述镜筒喷射气体的第一喷射机构；和第二喷射机构，其用于至少对上述聚光透镜单元中的上述激光的射出部喷射气体。
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