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公开(公告)号：CN113039036B
公开(公告)日：2023-08-29
申请号：CN201980071415.9
申请日：2019-10-30
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: B23K26/08 , B23K26/03 , B23K26/064 , B23K26/70
Abstract: 激光加工装置包括：支承部，其能够沿着第1方向移动，用于沿着所述第1方向和与所述第1方向交叉的第2方向支承对象物；第1激光加工头和第2激光加工头，其沿着所述第2方向以彼此相对的方式配置，用于对支承于所述支承部的所述对象物照射激光；第1安装部，其用于安装所述第1激光加工头，能够沿着与所述第1方向和所述第2方向交叉的第3方向和所述第2方向分别进行移动；第2安装部，其用于安装所述第2激光加工头，能够沿着所述第2方向和所述第3方向分别进行移动；和摄像单元，其安装于所述第1安装部，利用透过所述对象物的光对所述对象物进行摄像。
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公开(公告)号：CN116635980A
公开(公告)日：2023-08-22
申请号：CN202180086211.X
申请日：2021-12-20
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: H01L21/301
Abstract: 激光加工装置，具备：支撑部，其支撑晶圆，该晶圆含有配置成经由分割道彼此相邻的多个功能元件；照射部，其对分割道照射激光；以及控制部，其基于关于分割道的信息，控制照射部，以对分割道的第1区域及第2区域同时实施激光的照射，并使激光在第2区域去除分割道的表层的功率比在第1区域去除表层的功率大，关于分割道的信息，含有表示第1区域的激光加工的难度的加工阈值比第2区域的加工阈值低的信息。
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公开(公告)号：CN112770866B
公开(公告)日：2023-08-08
申请号：CN201980065099.4
申请日：2019-10-02
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: H01L21/301 , B23K26/00 , B23K26/02 , B23K26/53 , B23K26/046
Abstract: 一种摄像装置，其包括：利用透射对象物(11)的光来拍摄所述对象物的第1摄像单元(4)；和控制所述第1摄像单元的第1控制部(8)，所述第1控制部，在沿着第1线(15a)在所述对象物中形成改性区域(12)之后，且进行激光的照射位置相对于所述第1线的对准的时机，执行控制所述第1摄像单元以拍摄沿着所述第1线形成的所述改性区域和/或包含从该改性区域延伸出的所述裂纹的区域的第1摄像处理。
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公开(公告)号：CN113165119B
公开(公告)日：2023-07-28
申请号：CN201980071724.6
申请日：2019-10-30
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: B23K26/53 , H01L21/301
Abstract: 激光加工装置具备支撑部、照射部及控制部。照射部具有以与激光的光轴垂直的面内的聚光区域的一部分的形状具有长边方向的方式成形激光的成形部。控制部具有：决定部，其基于对象物信息及线信息，将线的第1部分的长边方向的朝向决定为第1朝向，以使长边方向与聚光区域的一部分的移动方向交叉；及调整部，其调整第1部分的长边方向的朝向以成为被决定的第1朝向。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN116393849A
公开(公告)日：2023-07-07
申请号：CN202310038439.2
申请日：2023-01-05
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 本发明涉及激光加工辅助器具、激光加工装置和激光加工方法。激光加工辅助器具包括第1薄片和第2薄片。在以在胶带贴附于对象物的背面且胶带由框架保持的状态下，激光经由胶带从背面侧向对象物入射的方式，由保持部保持框架的情况下，在第1薄片载置对象物。第2薄片在比背面低的位置上，对胶带的中间部分产生抽吸台的抽吸作用。第1薄片对对象物产生的抽吸台的抽吸作用比第2薄片对中间部分产生的抽吸台的抽吸作用弱。
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公开(公告)号：CN116252041A
公开(公告)日：2023-06-13
申请号：CN202211554517.6
申请日：2022-12-06
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: B23K26/00
Abstract: 一种用于通过对对象物照射激光而在所述对象物形成改质区域的激光加工装置，具备：支撑部，其支撑所述对象物；激光光源，其输出所述激光；第一聚光透镜，其将所述激光聚光于被所述支撑部支撑的所述对象物；第一标线，其具有投影于所述对象物的第一图案；照明光源，其对所述第一标线照射照明光；第一投影光学系统，其利用通过了所述第一标线的所述照明光使所述第一标线的投影像成像于所述对象物，将所述第一图案投影于所述对象物；第一相机，其拍摄投影于所述对象物的所述第一图案的像而获取第一图案图像；以及显示部，其显示所述第一图案图像，所述第一图案具有相对于所述照明光的光轴的周围的所述第一标线的旋转角度不具有依赖性的形状。
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公开(公告)号：CN116079227A
公开(公告)日：2023-05-09
申请号：CN202310267301.X
申请日：2019-10-02
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 本发明提供一种摄像装置，用于拍摄通过照射激光而形成于对象物(11)的改性区域(12)和/或从所述改性区域延伸的裂纹(14)，其包括：利用透射所述对象物的光来拍摄所述对象物的第1摄像单元(4)；和控制所述第1摄像单元的第1控制部，所述第1控制部，在切换沿着第1线(15a)形成所述改性区域与沿着交叉于所述第1线的第2线(15b)形成所述改性区域的时机，执行控制所述第1摄像单元的摄像处理，来拍摄沿着所述第1线形成的所述改性区域和/或包含从该改性区域延伸的所述裂纹的区域。
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公开(公告)号：CN115812017A
公开(公告)日：2023-03-17
申请号：CN202180049260.6
申请日：2021-07-13
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: B23K26/067
Abstract: 激光加工装置包括照射部和控制部。照射部具有空间光调制器和使由空间光调制器调制后的激光聚光于对象物的聚光部。控制部执行第1控制，该第1控制利用空间光调制器调制激光，以使激光分束成多束加工光，并且多束加工光的多个聚光点在与激光的照射方向垂直的方向上位于彼此不同的位置。在第1控制中，调制激光，以使得在照射方向上在激光的非调制光的聚光点与对象物的同激光入射面相反的一侧的相反面之间，存在改性区域。
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公开(公告)号：CN112955278B
公开(公告)日：2022-12-20
申请号：CN201980071421.4
申请日：2019-10-30
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: B23K26/53 , B23K26/042
Abstract: 在本发明中执行：在激光加工装置的控制部和第1激光加工头以及第2激光加工头被排列在线上的第1状态下，使来自所述第1激光加工头的激光的聚光点位于第3方向上的第1位置，并且使来自所述第1激光加工头的所述激光相对于所述线在第1方向上扫描的第1扫描处理；以及在所述第1状态下，使来自所述第2激光加工头的所述激光的聚光点位于所述第3方向上的第2位置，并且使来自所述第2激光加工头的所述激光相对于所述线在所述第1方向上扫描的第2扫描处理。
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