公开(公告)号：CN116252041A

公开(公告)日：2023-06-13

申请号：CN202211554517.6

申请日：2022-12-06

Applicant: 浜松光子学株式会社

Inventor： 佐野育 ,  坂本刚志 ,  吉田敬正 ,  星川雅春

IPC: B23K26/00

Abstract: 一种用于通过对对象物照射激光而在所述对象物形成改质区域的激光加工装置，具备：支撑部，其支撑所述对象物；激光光源，其输出所述激光；第一聚光透镜，其将所述激光聚光于被所述支撑部支撑的所述对象物；第一标线，其具有投影于所述对象物的第一图案；照明光源，其对所述第一标线照射照明光；第一投影光学系统，其利用通过了所述第一标线的所述照明光使所述第一标线的投影像成像于所述对象物，将所述第一图案投影于所述对象物；第一相机，其拍摄投影于所述对象物的所述第一图案的像而获取第一图案图像；以及显示部，其显示所述第一图案图像，所述第一图案具有相对于所述照明光的光轴的周围的所述第一标线的旋转角度不具有依赖性的形状。

公开(公告)号：CN116242832A

公开(公告)日：2023-06-09

申请号：CN202211565370.0

申请日：2022-12-07

Applicant: 浜松光子学株式会社

Inventor： 坂本刚志 ,  佐野育 ,  吉田敬正

IPC: G01N21/88

Abstract: 本发明涉及检查装置及检查方法。本发明的检查装置具备：拍摄单元，其通过对晶圆输出具有透过性的光，并检测在晶圆中传播后的光，来拍摄晶圆的内部；驱动单元，其使拍摄单元沿着作为铅垂方向的Z方向移动；以及控制部，其中，控制部构成为执行如下操作：控制驱动单元，使得拍摄单元依次移动到晶圆的规定的拍摄范围内的沿着Z方向的各拍摄区域成为可拍摄的位置；控制拍摄单元，以拍摄各拍摄区域；基于各拍摄区域相关的从检测到光的拍摄单元输出的拍摄图像，对于拍摄范围的激光加工后的内部观察的适当性进行判断。

公开(公告)号：CN117283118A

公开(公告)日：2023-12-26

申请号：CN202310736752.3

申请日：2023-06-20

Applicant: 浜松光子学株式会社

Inventor： 坂本刚志 ,  吉田敬正

IPC: B23K26/00 ,  B23K26/70

Abstract: 本发明的激光加工装置的控制部执行如下处理：第1处理，一边使照射部沿着线相对移动，一边以第2激光的照射位置位于追随开始位置时为起点而取得位移数据和驱动数据；第2处理，一边使照射部沿着线相对移动，一边控制第1激光的照射从而在对象物形成改质区域；和第3处理，在第2处理时基于在第1处理中取得的驱动数据使聚光透镜沿着光轴方向移动。在第3处理中，能够执行以第2激光的照射位置位于比追随开始位置以修正距离的量靠跟前侧时为起点，基于在第1处理中取得的驱动数据来驱动致动器的提前追随处理。