一种光学无接触式扫描大深径比小孔的测量装置及方法

    公开(公告)号:CN114858083B

    公开(公告)日:2023-06-23

    申请号:CN202210544594.7

    申请日:2022-05-19

    Abstract: 本发明提供了一种光学无接触式扫描大深径比小孔的测量装置及方法,属于扫描测量领域,方法为:将入射光分成第一子光束和第二子光束;在二维振镜系统中添加电压控制信号,使第一子光束到达待测小孔区域,通过调节准直器和场镜的搭配,调节第一子光束的光斑大小和准直距离,对待测小孔区域进行扫描,经反射形成反射光;将第二子光束反射形成参考光;反射光与参考光发生干涉,对干涉信号进行光谱分析后依次进行傅里叶变换和寻峰处理,获取小孔的深度信息和小孔底部的表面形貌信息。本发明提供的光学无接触式扫描大深径比小孔的测量装置可以测量孔径大于或等于300μm,同时深度小于或等于2.3cm,深径比达到75以下的底部形貌信息。

    一种物体成分均匀性的测定装置和测定方法

    公开(公告)号:CN112557345B

    公开(公告)日:2022-03-11

    申请号:CN202011372129.7

    申请日:2020-11-30

    Abstract: 本发明公开一种物体成分均匀性的测定装置,属于光学与晶体学领域,其包括激光源、扩束镜、波片、聚焦物镜、棱镜、载物台组件、位移平台、偏光显微镜、带通滤波片、物镜和滤光镜筒,扩束镜设置在激光光源的出射方向上,聚焦物镜设置在扩束镜出射光方向上,波片设置在扩束镜和聚焦物镜之间,棱镜设置在聚焦物镜出射光方向上,棱镜的底面用于设置待测样品,棱镜的顶面上悬置有偏光显微镜,聚焦物镜出射光对准棱镜的一个侧面,物镜镜头对准棱镜的另一个侧面,滤光镜筒设置在物镜的出射光方向上,滤光镜筒内设置有可调针孔和偏振片,在滤光镜筒和物镜之间设置有带通滤波片,待测样品设置在载物台组件上。本发明装置能够精确、简单地判定样品的成分。

    具有主动光学防抖功能的放大型面阵扫频测距/厚的装置和方法

    公开(公告)号:CN112731344A

    公开(公告)日:2021-04-30

    申请号:CN202011517749.5

    申请日:2020-12-21

    Abstract: 本发明公开一种具有主动光学防抖功能的放大型面阵扫频测距/厚的装置,涉及激光扫频测距领域,包括第一、二二向色镜、分束器、镜头、相机、光谱仪、采集控制单元和可运动反射器件,第一二向色镜的透射光方向上设分束器,分束器反射光方向上设载物台,载物台和分束器之间设镜头,分束器有四个端口,第一端口正对第一二向色镜,第二端口正对镜头,第三端口正对可运动反射器件,第四端口正对第二二向色镜,第二二向色镜透射光方向上设置相机,相机与采集控制单元相连,第二二向色镜反射光方向上设光谱仪,光谱仪连通采集控制单元,采集控制单元具有采集相机和光谱仪的信号以及显示数据的功能。本发明装置结构简单、测量快速、测量精度高。

    一种基于光电传感阵列测量折射率的亚像素位置获取方法

    公开(公告)号:CN108827915A

    公开(公告)日:2018-11-16

    申请号:CN201810849568.9

    申请日:2018-07-28

    Abstract: 本发明公开了一种基于光电传感阵列测量折射率的亚像素位置获取方法,属于测量与光学领域,包括如下步骤:S1取临界角对应的像素位置前后各m个像素,一共为(2m+1)个像素,采集该(2m+1)个像素对应的反射率,以作为拟合数据,S2采用菲涅尔反射率公式,对步骤S1获取的拟合数据进行菲涅尔反射率拟合,得到菲涅尔拟合函数,S3对步骤S2获得的菲涅尔拟合函数求导,导函数的峰值点即为临界角对应的亚像素位置。本发明提供了一种基于光电传感阵列测量折射率的亚像素位置获取方法,其充分利用了阵列器件测量折射率的自动化、快速的特点,同时提高了折射率测量的精度。

    一种基于光电传感阵列测量折射率过程中数据处理方法

    公开(公告)号:CN108732132A

    公开(公告)日:2018-11-02

    申请号:CN201810849972.6

    申请日:2018-07-28

    Abstract: 本发明公开了一种基于光电传感阵列测量折射率过程中数据处理方法,属于测量与光学领域,其包括如下步骤:S1光电传感阵列器件探测得到光强数据,根据光强数据计算获得临界角对应的像素,S2提取临界角对应的像素及该像素前后各一个像素,一共获得三个像素的信息,所述信息包括光强信息和坐标信息,计算获得该三个像素对应的反射率微分值;S3三个点能唯一确定一条抛物线,得到抛物线公式;S4对抛物线公式求导,导函数为0处即为抛物线峰值处,该峰值处对应为亚像素位置处。本发明方法结合了阵列器件测量折射率的自动化、快速的特点,同时提高了折射率测量的精度。

    一种折射率分布测量的折光计

    公开(公告)号:CN108572160A

    公开(公告)日:2018-09-25

    申请号:CN201710148080.9

    申请日:2017-03-14

    Abstract: 本发明公开了一种折射率分布测量的折光计,属于测量与光学领域,其包括光源单元、光路调节单元、探测单元以及图像采集及处理单元,其中,光源单元用于产生平行光,光路调节单元用于根据设定的测量范围调节平行光光束大小,还用于调节平行光光束方向以使光束垂直入射至探测单元,探测单元包括棱镜和透镜阵列,透镜阵列贴合设置在棱镜的一个侧面上,其用于接受来自光路调节单元的平行光束,棱镜的底面贴合于待测对象的界面上,图像采集及处理单元用于接收从棱镜的另一个侧面出射的光斑,还用于对光斑进行图像处理,进而获得待测对象的折射率。本发明装置结构简单紧凑,能对折射率分布进行测量,测量精度较高。

    一种大视场的紫外光探测系统及其应用

    公开(公告)号:CN106969833A

    公开(公告)日:2017-07-21

    申请号:CN201710177442.7

    申请日:2017-03-23

    CPC classification number: G01J1/429 G01R31/1218

    Abstract: 本发明公开了一种大视场的紫外光探测系统,属于紫外光探测领域,其包括光学接收单元、光电传感器、电源模块、信号处理模块以及信号分析显示单元,其中,光学接收单元用于接收紫外光,光电传感器用于将光学接收单元接收的紫外光信号转换为电信号,电源模块与光电传感器相连接,以用于产生设定的电压供光电传感器工作,信号处理模块用于将来自光电传感器的电信号进行滤波或/和放大处理,信号分析显示单元用于分析经信号处理模块处理后的电信号,以获得表征紫外光的参数,信号分析显示单元还用显示出紫外光的参数。本发明装置能较好的探测GIS电晕放电。

    一种海洋湍流参数的非接触测量方法及系统

    公开(公告)号:CN102788678B

    公开(公告)日:2015-01-28

    申请号:CN201210250478.0

    申请日:2012-07-19

    Abstract: 本发明公开了一种基于激光成像的海洋湍流参数的测量方法,包括:利用成像系统获取海洋湍流遥感图像;对所获得的图像进行处理,得到湍流的调制传递函数;将测量得到的湍流的调制传递函数进行反演,得到海洋湍流的结构参数。本发明还公开了一种基于激光成像的海洋湍流参数的测量系统,其包括成像系统,该成像系统包括:脉冲激光发射机系统,用于产生能量分布均匀化的光波;条纹目标板,与脉冲激光发射机系统相对设置,光波穿过待测的海洋湍流到达该条纹目标上后被反射;接收机系统,反射光波穿过该待测的海洋湍流后被其接收和采集,获得海洋湍流的遥感图像信息。本发明利用激光成像的方式,能够在不破坏湍流结构的前提下探测到海洋湍流结构参数。

    一种大量程范围的折射率测量装置及方法

    公开(公告)号:CN103454247A

    公开(公告)日:2013-12-18

    申请号:CN201310375467.X

    申请日:2013-08-26

    Abstract: 本发明公开了一种折射率测量装置,包括:单色角点光源照明模块,用于产生进行测量的两束光束;参考光路模块,其中一束作为参考光入射到该参考光路模块中,经全反射后出射带有原始光场信息的参考信息光;探测模块,其与待测物接触形成介质面,另一束光束作为探测光入射到探测模块并经介质面反射后出射耦合有待测物质折射率信息的探测信息光;反射光能量收集模块,分别接收参考信息光和探测信息光,并转换为电信号;以及图像处理模块,其对两路图像进行比较,得到相对反射率分布,可提取出待测物质的折射率信息。本发明还公开了一种折射率测量方法。本发明的装置和方法具有测量范围大、可普遍适用于气体、液体以及玻璃材料等物质的折射率测量。

    一种液体多参数传感器
    20.
    发明授权

    公开(公告)号:CN102012359B

    公开(公告)日:2012-03-28

    申请号:CN201010552559.7

    申请日:2010-11-19

    Abstract: 一种液体多参数传感器,包括光源照明系统(1,2),用于产生小光点的发散光束;光学传感头(3,4),与待测液体接触并形成反射界面,上述发散光束经该反射界面后被反射;反射光能量收集系统(5,6),用于将从上述反射的光信号转换电信号,并输出;和图像采集分析系统(7),用于接收所述电信号,并进而完成图像的采集、图像处理和数据分析,完成对待测液体各种参数的测量。本发明的液体多参数传感器可以实时在线检测密度、折射率和浓度等相关的多种参数信息,具有精度高、寿命长、抗干扰能力强等特点。

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