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公开(公告)号：CN114858083B
公开(公告)日：2023-06-23
申请号：CN202210544594.7
申请日：2022-05-19
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明提供了一种光学无接触式扫描大深径比小孔的测量装置及方法，属于扫描测量领域，方法为：将入射光分成第一子光束和第二子光束；在二维振镜系统中添加电压控制信号，使第一子光束到达待测小孔区域，通过调节准直器和场镜的搭配，调节第一子光束的光斑大小和准直距离，对待测小孔区域进行扫描，经反射形成反射光；将第二子光束反射形成参考光；反射光与参考光发生干涉，对干涉信号进行光谱分析后依次进行傅里叶变换和寻峰处理，获取小孔的深度信息和小孔底部的表面形貌信息。本发明提供的光学无接触式扫描大深径比小孔的测量装置可以测量孔径大于或等于300μm，同时深度小于或等于2.3cm，深径比达到75以下的底部形貌信息。
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公开(公告)号：CN117053706A
公开(公告)日：2023-11-14
申请号：CN202311089258.9
申请日：2023-08-25
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01B11/22
Abstract: 本发明公开了一种用于深微孔几何参数的大量程谱域光学干涉测量系统，属于深微孔测量领域。包括：样品臂，沿光路依次由第一准直器、XY振镜和F‑θ镜组成，用于将第一光束经过所述样品臂照射到待测深微孔样品后，生成样品光，返回至光纤耦合器；参考臂，沿光路依次由第二准直器和空间光调制器组成，用于将第二光束经过参考臂，照射到空间光调制器后生成的参考光，返回至光纤耦合器，以便参考光与所述样品光在光纤耦合器中发生干涉，生成干涉光。本发明的参考臂使用空间光调制器设计，利用空间光调制器通过不同样品角度三次测量得到样品与参考镜之间的干涉光谱，通过傅里叶变换获取深度信息，消除复共轭像影响，将测量深度扩展为原有深度的两倍。
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公开(公告)号：CN114858083A
公开(公告)日：2022-08-05
申请号：CN202210544594.7
申请日：2022-05-19
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明提供了一种光学无接触式扫描大深径比小孔的测量装置及方法，属于扫描测量领域，方法为：将入射光分成第一子光束和第二子光束；在二维振镜系统中添加电压控制信号，使第一子光束到达待测小孔区域，通过调节准直器和场镜的搭配，调节第一子光束的光斑大小和准直距离，对待测小孔区域进行扫描，经反射形成反射光；将第二子光束反射形成参考光；反射光与参考光发生干涉，对干涉信号进行光谱分析后依次进行傅里叶变换和寻峰处理，获取小孔的深度信息和小孔底部的表面形貌信息。本发明提供的光学无接触式扫描大深径比小孔的测量装置可以测量孔径大于或等于300μm，同时深度小于或等于2.3cm，深径比达到75以下的底部形貌信息。
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