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公开(公告)号：CN114497351A
公开(公告)日：2022-05-13
申请号：CN202111662736.1
申请日：2021-12-31
Applicant: 北京无线电计量测试研究所
IPC: H01L41/338 , H01L21/66 , H01L41/29 , H03H3/02 , H03H9/19
Abstract: 本发明公开了一种小型高频差分晶振的设计方法。该设计方法包括：步骤S1：根据设计参数要求，对小型高频差分晶振的基座、差分芯片、石英晶片以及金属盖板进行选取；步骤S2：确定差分芯片与基座的连接及键合位置，对差分芯片和基座进行布局布线，并将差分芯片固定于基座；步骤S3：对石英晶片进行切割；步骤S4：在石英晶片上镀上电极膜以形成石英振子；步骤S5：将石英振子固定于基座；步骤S6：利用金属盖板，将组装在一起的基座、差分芯片以及石英振子封装在一起形成小型高频差分晶振；步骤S7：对小型高频差分晶振的性能参数进行测试。本发明可以缩短小型高频差分晶振的设计时间，提高其设计效率和设计精确度。
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公开(公告)号：CN114497349A
公开(公告)日：2022-05-13
申请号：CN202111659811.9
申请日：2021-12-30
Applicant: 北京无线电计量测试研究所
IPC: H01L41/332
Abstract: 本发明公开了一种用于石英晶体的等离子体刻蚀方法。该刻蚀方法包括：对衬底和掩蔽块进行选择，并将所述衬底设置于所述刻蚀腔内；将待刻蚀的石英晶体放置于所述衬底上，并根据需要将所述掩蔽块放置于所述石英晶体上；根据所述石英晶体的刻蚀深度需求，在所述刻蚀机上对刻蚀气体的种类、反应气体的体积混合比、刻蚀气体的流速、刻蚀腔的压强以及等离子体的功率进行控制，此后，开启所述刻蚀机以对所述石英晶体进行刻蚀。本发明不仅能够对石英晶体进行整体或者局部刻蚀，还能够保证刻蚀得到的石英晶体的精度和强度。
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公开(公告)号：CN112743446A
公开(公告)日：2021-05-04
申请号：CN202011589117.X
申请日：2020-12-29
Applicant: 北京无线电计量测试研究所
Abstract: 本发明公开了一种用于石英晶体方片的外形修改方法，该方法的具体步骤为：步骤1、对晶片进行粘坨处理，形成晶片坨；步骤2、对所述晶片坨进行研磨，直至尺寸达到要求；步骤3、将所述晶片坨中的晶片分离并进行处理。本发明解决了传统外形修改通常需要制作新的石英晶体方片，在制作过程中修改尺寸，此方法存在制作周期长、成本高的问题。本发明提出了一种石英晶体方片的外形修改方法，具有制作周期短、加工方便、成本低的优势。
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公开(公告)号：CN106849900B
公开(公告)日：2020-10-02
申请号：CN201611161924.5
申请日：2016-12-15
Applicant: 北京无线电计量测试研究所
IPC: H03H9/05
Abstract: 本申请公开了一种用于安装石英晶片的基座，解决传统石英晶片在高冲击环境下易与基座脱离的问题。所述用于安装石英晶片的基座包括缓冲结构，为L形，内侧环绕晶片点胶胶点90度弧长，外侧与所述台阶衔接。本申请还公开一种石英晶片安装方法，用于本发明用于安装石英晶片的基座中带有四个缓冲结构的实施例，包含以下步骤：在基座内部四个角区域中，两个电极位置和两个非电极区域进行点胶；将石英晶片压置于导电胶上；在四个导电胶位置隔着晶片再次点胶。本发明在出现高冲击环境时，若晶片在冲击方向出现微位移，缓冲装置发生作用，对导电胶与晶片进行限定，阻止微位移继续增大，防止晶片与导电胶脱离，达到缓冲高冲击的作用。
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公开(公告)号：CN105978525A
公开(公告)日：2016-09-28
申请号：CN201610268746.X
申请日：2016-04-27
Applicant: 北京无线电计量测试研究所
Abstract: 本申请公开了一种石英谐振器，包括：通过石英晶片与镀有金属膜的下电极之间悬离；和/或，石英晶片与镀有金属膜的上电极之间悬离，使得石英谐振器中石英晶片与上下电极上的金属膜分离，有效地解决了由于石英谐振器中上、下电极对应的金属膜被附着在石英晶片表面使得金属膜内表面和石英晶体外表面形成内应力进而该内应力引发石英谐振器的振荡频率发生漂移的问题，提升石英谐振器输出振荡频率的稳定性。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105522281A
公开(公告)日：2016-04-27
申请号：CN201610018285.0
申请日：2016-01-12
Applicant: 北京无线电计量测试研究所
IPC: B23K26/362 , B23K26/0622 , B23K26/046 , B23K26/402 , B23K26/70
CPC classification number: B23K26/046
Abstract: 本发明公开一种石英晶体的激光刻蚀加工方法，具体包括如下步骤：选择激光、准备控制软件、设计加工图纸、激光刻蚀、加工后处理和检测，同时，结合对各步骤条件的限定，设计出了一种加工石英晶体的方法，该加工方法可有效的将石英晶体加工成各种形状，且可对石英晶体进行减薄加工，减薄后的石英晶体厚度薄，对应的基频频率高，且加工后的石英晶体强度好，该加工方法简单，加工精度高，对石英晶体加工的尺寸精度可控制在±5μm内。
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公开(公告)号：CN116208121A
公开(公告)日：2023-06-02
申请号：CN202211732759.X
申请日：2022-12-30
Applicant: 北京无线电计量测试研究所
Abstract: 本说明书公开了一种小电压驻波比的中等带宽晶体滤波器及其参数生成方法，包括：石英晶体谐振器包括2个格形网络，格形网络包括1个高频晶体谐振器和1个低频晶体谐振器，用于输入和输出信号的频率控制；1个级间耦合电容，设置于2个格形网络之间，用于滤波器通带带宽的展宽；2个差接变量器电感线圈和2个耦合电容，分别设置于2个格形网络边缘，用于格形网络特性阻抗与端接阻抗的匹配，差接变量器用于阻抗变换，耦合电容与电感线圈谐振，使输入端的电信号需要保留的部分通过输出端无失真的输出。本发明通过确定的设计流程及设计方法，有效提高了晶体滤波器的通带带宽，减小了电压驻波比，实现了一种高性能小电压驻波比的中等带宽晶体滤波器。
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公开(公告)号：CN109633399A
公开(公告)日：2019-04-16
申请号：CN201811561611.8
申请日：2018-12-20
Applicant: 北京无线电计量测试研究所
CPC classification number: G01R31/2601 , G01R1/02
Abstract: 本发明公开一种石英晶片的电参数测试装置，包括：底座及下电极支撑平台、上盖及上电极支撑平台、下电极板、上电极板、测试探针、操作手柄、复位弹簧、复位弹簧固定板、固定螺丝，所述的上盖及上电极支撑平台平放在底座及下电极支撑平台内的底面上，所述的上盖及上电极支撑平台通过固定螺丝安装在底座及下电极支撑平台上，所述的固定螺丝上有螺纹孔。本发明通过在装置底座的石英晶片测试槽和上盖的电极板位安装电极板，以及电极板和测试探针的焊接连接，实现石英晶片上下电极与测试仪器的可靠电连接，更准确的进行石英晶片的电参数测试。通过在装置上安装带有操作手柄和复位弹簧，方便了石英晶片的取放，提高石英晶片的效率。
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公开(公告)号：CN105978519B
公开(公告)日：2018-09-25
申请号：CN201610269245.3
申请日：2016-04-27
Applicant: 北京无线电计量测试研究所
Abstract: 本申请公开了一种石英晶体谐振器，用以缓解现有技术中的石英晶体谐振器产生的频率老化问题。该石英晶体谐振器包括：上电极、下电极以及石英晶片。所述下电极，包括：下电极衬底、下电极金属膜以及下电极金属引线；所述下电极衬底由绝缘材料制成；所述下电极衬底与所述上电极，分别设置在所述石英晶片的相对的两侧；所述下电极金属膜附着于所述下电极衬底；所述下电极金属膜位于所述下电极衬底与所述石英晶片之间，且所述下电极金属膜与所述石英晶片之间存在空隙；所述下电极金属引线，设置在所述下电极衬底与所述石英晶片之间存在的空隙中；所述下电极金属引线与所述下电极金属膜相连接。申请还公开了一种石英晶体谐振器的制作方法。
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公开(公告)号：CN105958957B
公开(公告)日：2018-07-17
申请号：CN201610269246.8
申请日：2016-04-27
Applicant: 北京无线电计量测试研究所
Abstract: 本发明公开了一种晶体谐振器及其制备方法。该晶体谐振器包括：晶体振荡晶片和固定装置，其中：晶体振荡晶片的边缘上设置有晶片定位结构块，固定装置上设置有与晶体定位结构块匹配的晶片定位缺口，通过将晶片定位结构块放置于晶片定位缺口中，实现晶体振荡晶片与固定装置之间的衔接。相比于现有技术，本发明提供的晶体谐振器中的晶体振荡晶片结构中增加了晶片定位结构块，以及在固定装置上相应地设计了晶片定位缺口，通过该晶片定位结构块和晶片定位缺口，实现了晶体振荡晶片与固定装置之间的衔接，解决了现有技术利用导电胶将晶体振荡晶片与基座固定时，由于导电胶的粘附作用在晶体振荡晶片上产生的应力造成晶体谐振器的工作性能相对较低的问题。
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