公开(公告)号：CN110752188A

公开(公告)日：2020-02-04

申请号：CN201910663690.1

申请日：2019-07-23

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 松井晴信 ,  原田大实 ,  冈藤大雄 ,  山崎裕之 ,  竹内正树

IPC: H01L23/04 ,  H01L23/08 ,  H01L33/48

Abstract: 本发明涉及一种合成石英玻璃空腔件、合成石英玻璃空腔盖、光学装置封装体和制造方法。具体地，将合成石英玻璃空腔件(1)连接至其上安装有光学装置(7)的基材(6)，使得该装置可容纳在空腔件中。由与装置(7)相对的顶表面(2a)和侧表面(3a)构成的内表面限定空腔件(1)。顶表面(2a)是镜面表面并且侧表面(3a)是粗糙表面。

公开(公告)号：CN102328265B

公开(公告)日：2016-06-08

申请号：CN201110259674.X

申请日：2011-06-28

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 冈藤大雄 ,  竹内正树 ,  山崎裕之

IPC: B24B29/02

CPC classification number: B24B7/241 ,  B24B7/228 ,  B24B19/03 ,  C03C15/02

Abstract: 本发明涉及用于制造电子级合成石英玻璃衬底的方法。具体地，通过机加工合成石英玻璃衬底以形成凹槽、沟道或台阶，和通过旋转抛光工具的加工部抛光凹槽、沟道或台阶的底和侧表面至镜面光洁度，同时在独立的恒定压力下保持加工部与底和侧表面接触，制造电子级合成石英玻璃衬底。

公开(公告)号：CN103809371A

公开(公告)日：2014-05-21

申请号：CN201310533747.9

申请日：2013-11-01

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 原田大实 ,  冈藤大雄 ,  山崎裕之 ,  竹内正树

IPC: G03F7/00 ,  G03F1/60

Abstract: 矩形基板在其具有拓扑图案后用作模具。该基板具有A侧和B侧的相对表面，该A侧表面具有拓扑图案。该A侧表面包括具有至多350nm的平坦度的1～50毫米×1～50毫米的中心矩形区域。使用该形成模具用基板防止在形成模具用基板上形成团的步骤与转印步骤之间发生图案错排或图案错误。能够转印微小尺寸和复杂的图案。

公开(公告)号：CN110752188B

公开(公告)日：2025-01-21

申请号：CN201910663690.1

申请日：2019-07-23

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 松井晴信 ,  原田大实 ,  冈藤大雄 ,  山崎裕之 ,  竹内正树

IPC: H10H20/85

Abstract: 本发明涉及一种合成石英玻璃空腔件、合成石英玻璃空腔盖、光学装置封装体和制造方法。具体地，将合成石英玻璃空腔件(1)连接至其上安装有光学装置(7)的基材(6)，使得该装置可容纳在空腔件中。由与装置(7)相对的顶表面(2a)和侧表面(3a)构成的内表面限定空腔件(1)。顶表面(2a)是镜面表面并且侧表面(3a)是粗糙表面。

公开(公告)号：CN116282854A

公开(公告)日：2023-06-23

申请号：CN202211641730.0

申请日：2022-12-20

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 安藤雅郎 ,  山崎裕之 ,  竹内正树

IPC: C03B20/00 ,  C03B23/203

Abstract: 本发明提供了用于在微流路装置中使用的合成石英玻璃基板、合成石英玻璃微流路装置及其制造方法，在制造微流路装置时可将通过光学接触的接合应用于该微流路装置，并且其在接合界面中具有高黏着性，并且不会导致例如未结合和基板的破损的缺陷以及气泡夹在接合界面处的缺陷。用于在微流路装置中使用的合成石英玻璃基板，其中在0.4mm‑1或更大且100mm‑1或更小的空间频率下的循环平均功率谱密度的最大值为5.0×1015nm4或更小，所述最大值通过使用白色干涉仪测量所述合成石英玻璃基板的表面上6.0mm×6.0mm的任何给定区域而获得。

公开(公告)号：CN103809371B

公开(公告)日：2020-03-10

申请号：CN201310533747.9

申请日：2013-11-01

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 原田大实 ,  冈藤大雄 ,  山崎裕之 ,  竹内正树

IPC: G03F7/00 ,  G03F1/60

Abstract: 矩形基板在其具有拓扑图案后用作模具。该基板具有A侧和B侧的相对表面，该A侧表面具有拓扑图案。该A侧表面包括具有至多350nm的平坦度的1～50毫米×1～50毫米的中心矩形区域。使用该形成模具用基板防止在形成模具用基板上形成团的步骤与转印步骤之间发生图案错排或图案错误。能够转印微小尺寸和复杂的图案。

公开(公告)号：CN103064247A

公开(公告)日：2013-04-24

申请号：CN201210408103.2

申请日：2012-10-24

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 冈藤大雄 ,  山崎裕之 ,  竹内正树

IPC: G03F1/00 ,  G03F1/60 ,  B24B9/14

CPC classification number: B24B37/042 ,  B24B1/00 ,  B24B5/50 ,  B24B7/228 ,  B24B9/065 ,  B24B9/08 ,  B24B37/02 ,  B24B37/04 ,  G03F1/60 ,  Y10T428/24355 ,  Y10T428/24479

Abstract: 本发明公开了一种电子等级玻璃基板，该电子等级玻璃基板提供有在一个表面中的凹口、槽道或台阶以及在该凹口、槽道或台阶的侧表面和该一个表面之间的第一倒角。对该凹口、槽道或台阶的侧表面和底表面进行镜面抛光，且对该第一倒角进行镜面抛光。

公开(公告)号：CN102328265A

公开(公告)日：2012-01-25

申请号：CN201110259674.X

申请日：2011-06-28

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 冈藤大雄 ,  竹内正树 ,  山崎裕之

IPC: B24B29/02 ,  G03F1/14 ,  G03F1/00

CPC classification number: B24B7/241 ,  B24B7/228 ,  B24B19/03 ,  C03C15/02

Abstract: 本发明涉及用于制造电子级合成石英玻璃衬底的方法。具体地，通过机加工合成石英玻璃衬底以形成凹槽、沟道或台阶，和通过旋转抛光工具的加工部抛光凹槽、沟道或台阶的底和侧表面至镜面光洁度，同时在独立的恒定压力下保持加工部与底和侧表面接触，制造电子级合成石英玻璃衬底。