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公开(公告)号：CN102023483A
公开(公告)日：2011-04-20
申请号：CN201010284062.1
申请日：2010-09-13
Applicant: 住友化学株式会社
IPC: G03F7/004 , G03F7/00 , C07C271/22 , C07D207/16
CPC classification number: C07C271/22 , C07D207/16 , G03F7/0045 , G03F7/0046 , G03F7/0392 , G03F7/0397 , G03F7/20
Abstract: 本发明提供一种光致抗蚀剂组合物，其包含树脂、酸生成剂和由式(I)表示的化合物，在式(I)中，R1表示可以具有一个或多个羟基的C2-C12烷基等，R2和R3各自独立表示氢原子等，R4，R5和R6各自独立表示氢原子等，A1表示单键或C1-C2亚烷基，在所述C1-C2亚烷基中的一个或多个-CH2-可以被-O-代替。
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公开(公告)号：CN101995769A
公开(公告)日：2011-03-30
申请号：CN201010247395.7
申请日：2010-08-05
Applicant: 住友化学株式会社
IPC: G03F7/004 , C08F220/18 , C08F222/14 , C07C229/56 , C07C229/36 , C07C229/08 , C07C227/20 , C07D207/16 , C07D295/15
CPC classification number: G03F7/0045
Abstract: 本发明提供一种光致抗蚀剂组合物，其包含树脂，酸生成剂和由式(C1)表示的化合物，在式(C1)中，Rc2表示可以具有一个或多个取代基的C7-C20芳烷基，并且Rc1表示由式(1)表示的基团，在式(1)中，Rc3和Rc4各自独立地表示氢原子或直链，支链或环状C1-C12脂族烃基，Rc5表示C1-C30二价有机基团，并且Rc3和Rc4或Rc5可以彼此结合以与Rc3和Rc4或Rc5结合的氮原子一起形成环。
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公开(公告)号：CN101993395A
公开(公告)日：2011-03-30
申请号：CN201010249208.9
申请日：2010-08-06
Applicant: 住友化学株式会社
IPC: C07C271/28 , C07C271/38 , C07C271/22 , C07C271/34 , C07C271/36 , C07C271/24 , C07C269/06 , C07D207/16 , C07D211/60 , C07D209/14 , C07C323/59 , C07C319/20 , G03F7/039
CPC classification number: C07D207/16 , C07C271/22 , C07C271/24 , C07C271/28 , C07C271/34 , C07C271/36 , C07C271/38 , C07C2601/14 , C07C2602/28 , C07C2603/74 , C07D209/44 , C07D211/60 , G03F7/0045
Abstract: 本发明提供一种由式(C1)表示的化合物和一种包含树脂、酸生成剂和由式(C1)表示的化合物的光致抗蚀剂组合物，在所述式(C1)中，Rc2表示具有至少一个硝基的C6-C10芳族烃基，并且Rc1表示由式(1)表示的基团，在所述式(1)中，Rc4表示氢原子等，Rc5表示C1-C30二价烃基，并且Rc3表示由式(3-1)，(3-2)或(3-3)表示的基团，在所述式(3-1)，(3-2)或(3-3)中，Rc6，Rc7，Rc8，Rc9，Rc10，Rc11，Rc12，Rc13和Rc14各自独立地表示C1-C30烃基。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103149798A
公开(公告)日：2013-06-12
申请号：CN201210251272.X
申请日：2012-07-19
Applicant: 住友化学株式会社
CPC classification number: G03F7/0046 , G03F7/0045 , G03F7/0397 , G03F7/2041
Abstract: 本发明公开了抗蚀剂组合物和用于制备抗蚀图案的方法，所述抗蚀剂组合物具有：具有由式(I)表示的结构单元的树脂，在碱性水溶液中不可溶或难溶但是通过酸的作用变得可溶于碱性水溶液并且不包含由式(I)表示的结构单元的树脂，酸生成剂，和具有由式(IA)表示的阴离子的盐，其中R1、A1、A13、X12、A14、R1A和R2A如说明书中限定。
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公开(公告)号：CN102952053A
公开(公告)日：2013-03-06
申请号：CN201210280649.4
申请日：2012-08-08
Applicant: 住友化学株式会社
IPC: C07C309/17 , C07C303/32 , C07C381/12 , C07D327/08 , C07D327/06 , C07D333/46 , C07D335/02 , C07D307/33 , C07D307/00 , C07C25/18 , C07C17/35 , G03F7/004 , G03F7/00
CPC classification number: C07C381/12 , C07C309/08 , C07C309/17 , C07C2603/74 , G03F7/0045 , G03F7/20
Abstract: 本发明提供盐、光致抗蚀剂组合物和用于制备光致抗蚀剂图案的方法。所述光致抗蚀剂组合物包含由式(I)表示的盐和树脂，其中Q1和Q2各自独立地表示氟原子或C1-C6全氟烷基，R1、R2和R3各自独立地表示氢原子或C1-C10一价脂族饱和烃基，X1和X2各自独立地表示单键、羰基或C1-C10二价脂族饱和烃基，其中氢原子可以被羟基代替，并且其中亚甲基可以被氧原子、磺酰基或羰基代替，A1表示C1-C30有机基团，ml表示1至4的整数，并且Z+表示有机阳离子，并且所述树脂难溶或不溶于碱性水溶液但是通过酸的作用可溶于碱性水溶液。
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公开(公告)号：CN102129171A
公开(公告)日：2011-07-20
申请号：CN201110005775.4
申请日：2011-01-07
Applicant: 住友化学株式会社
CPC classification number: G03F7/0397 , G03F7/0045 , G03F7/0046 , G03F7/2041
Abstract: 本发明提供一种光致抗蚀剂组合物，其包含：选自由式(I)表示的单体、由衍生自由式(I)表示的单体的结构单元构成的聚合物，和由衍生自由式(I)表示的单体的结构单元和衍生自由式(II)表示的单体的结构单元构成的聚合物组成的组中的至少一种，在式(I)中，R1表示氢原子或甲基，W1表示C3-C20二价饱和环烃基，A1表示单键或*-O-CO-R2-，其中*表示与W1＝N-的结合位置，并且R2表示C1-C10二价饱和烃基，在式(II)中，R3表示氢原子或甲基，A2表示单键或*-O-CO-(CH2)n-，其中*表示与R4-的结合位置，n表示1至7的整数，并且R4表示C3-C20饱和环烃基；树脂，其具有酸不稳定基团，并且不溶或难溶于碱性水溶液，但是通过酸的作用变得可溶于碱性水溶液；和酸生成剂。
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公开(公告)号：CN101898987A
公开(公告)日：2010-12-01
申请号：CN201010188189.3
申请日：2010-05-25
Applicant: 住友化学株式会社
IPC: C07C381/12 , C07C309/17 , C07C303/32 , C07D307/00 , G03F7/039 , G03F7/00
CPC classification number: C07C381/12 , C07C309/17 , C07C2601/04 , C07C2601/08 , C07C2601/14 , C07C2601/18 , C07C2602/08 , C07C2602/10 , C07C2602/42 , C07C2602/44 , C07C2603/68 , C07C2603/74 , C07C2603/86 , C07D307/77 , C07D307/93 , G03F7/0045 , G03F7/0046 , G03F7/0397
Abstract: 本发明提供：一种以式(I-CC)表示的盐，其中Q1和Q2各自独立地表示氟原子等，X1表示单键等，Y1表示C1-C36脂族烃基等，A1和A2各自独立地表示C1-C20脂族烃基等，Ar1表示可以具有一个或多个取代基的(m4+1)价C6-C20芳族烃基，B1表示单键等，B2表示能够通过酸的作用消除的基团，m1和m2各自独立地表示0至2的整数，m3表示1至3的整数，条件是m1+m2+m3＝3，并且m4表示1至3的整数；和一种光致抗蚀剂组合物，其包含以式(I-CC)表示的盐以及树脂，所述树脂包含具有酸不稳定基团的结构单元，并且不溶或难溶于碱水溶液，但通过酸的作用变得可溶于碱水溶液。
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公开(公告)号：CN101638388A
公开(公告)日：2010-02-03
申请号：CN200910164949.4
申请日：2009-07-27
Applicant: 住友化学株式会社
IPC: C07D221/06 , C07D217/24 , C07D207/404 , C07D209/48 , C07D209/94 , C07D211/88 , C07D221/04 , C08G73/10 , G03F7/004
CPC classification number: C07D221/04 , C07D207/46 , C07D209/48 , C07D209/76 , C07D217/22
Abstract: 一种由结构式(I)表示的二酰亚胺类化合物，其中，R 1 代表C1-C20脂肪烃基等；W 1 代表-CO-O-等，Q 1 和Q 2 各自独立地代表氟原子等；并且A代表由结构式(I-1)表示的基团，其中，A 1 代表-CH 2 -CH 2 -等，本发明还公开了含有该化合物的化学增幅抗蚀剂组合物。
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