公开(公告)号：CN101921259A

公开(公告)日：2010-12-22

申请号：CN201010206559.1

申请日：2010-06-10

Applicant: 住友化学株式会社

Inventor： 市川幸司 ,  杉原昌子 ,  岛田雅彦

IPC: C07D327/06 ,  C07C381/12 ,  C07C309/17 ,  C07C303/32 ,  G03F7/039 ,  G03F7/00

CPC classification number: C07D327/06 ,  C07C309/17 ,  C07C381/12 ,  C07C2603/74 ,  C07D317/12 ,  C07D317/16 ,  C07D317/24 ,  C07D319/12 ,  C07D321/02 ,  C07D327/04 ,  C07D339/02 ,  C07D339/06 ,  C07D339/08 ,  G03F7/0045 ,  G03F7/0046 ,  G03F7/0397 ,  G03F7/38

Abstract: 本发明涉及一种盐及包含该盐的光致抗蚀剂组合物。一种盐，其具有如式(I)所示的基团：-T(I)，其中T代表C3-C36脂环烃基，其中至少两个亚甲基被-O-或-S-替代，并且该脂环烃基可以具有一个以上取代基。

公开(公告)号：CN102129171A

公开(公告)日：2011-07-20

申请号：CN201110005775.4

申请日：2011-01-07

Applicant: 住友化学株式会社

Inventor： 增山达郎 ,  向井优一 ,  岛田雅彦

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/027 ,  G03F7/00

CPC classification number: G03F7/0397 ,  G03F7/0045 ,  G03F7/0046 ,  G03F7/2041

Abstract: 本发明提供一种光致抗蚀剂组合物，其包含：选自由式(I)表示的单体、由衍生自由式(I)表示的单体的结构单元构成的聚合物，和由衍生自由式(I)表示的单体的结构单元和衍生自由式(II)表示的单体的结构单元构成的聚合物组成的组中的至少一种，在式(I)中，R1表示氢原子或甲基，W1表示C3-C20二价饱和环烃基，A1表示单键或*-O-CO-R2-，其中*表示与W1＝N-的结合位置，并且R2表示C1-C10二价饱和烃基，在式(II)中，R3表示氢原子或甲基，A2表示单键或*-O-CO-(CH2)n-，其中*表示与R4-的结合位置，n表示1至7的整数，并且R4表示C3-C20饱和环烃基；树脂，其具有酸不稳定基团，并且不溶或难溶于碱性水溶液，但是通过酸的作用变得可溶于碱性水溶液；和酸生成剂。