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公开(公告)号：CN102307070B
公开(公告)日：2013-11-27
申请号：CN201110139551.2
申请日：2011-05-26
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: H04B17/00
Abstract: 本发明公开了一种毫米波段非接触式传输特性的自动测试系统与测试方法，该方法包括：初始化毫米波段非接触式传输特性的自动测试系统；校准毫米波段非接触式传输特性的自动测试系统，完成无待测件情况下的空间传输特性测试，获得校准状态下的测试信息；完成有待测件情况下的传输特性测试，获得测试状态下的测试信息；获得发射端与接收端在每一个频率值下对应的功率信息；将测试状态下获得的功率信息减去校准状态下获得的功率信息，显示出待测件传输特性的测试曲线。本发明实现了76GHz～77GHz传输特性参数的自动测试，克服了毫米波测试手段与测试设备缺乏的困难，避免了测试设备成本昂贵，体积庞大，不易实现自动控制等缺点。
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公开(公告)号：CN102207545A
公开(公告)日：2011-10-05
申请号：CN201110139547.6
申请日：2011-05-26
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01S7/40
Abstract: 本发明公开了一种微波/毫米波矢量调制器传输特性的自动测试系统及方法，该系统包括小信号传输特性测试系统，以及大信号传输特性测试系统；所述大信号传输特性测试系统包括大信号功率压缩特性测试系统和大信号相位压缩特性测试系统；本发明配置灵活，不仅适用于各种毫米波频段传输特性的自动测试，而且能够全面实现微波/毫米波矢量调制器大信号条件下与小信号条件下的传输特性自动测试；此外，本发明还克服了目前国内微波/毫米波矢量调制器在大信号相位压缩特性与大信号功率压缩特性测试手段与自动测试系统缺乏的困难，同时避免了手工测试时的低效率、精确度低、不确定因素多等缺点。
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公开(公告)号：CN209282389U
公开(公告)日：2019-08-20
申请号：CN201822141748.X
申请日：2018-12-20
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 , 中国科学院大学
Abstract: 本实用新型提供了一种宽水平角窄俯仰角单狭缝天线，其包括一金属空腔和填充于金属空腔的腔体内的介质层，所述金属空腔具有沿其长度方向延伸的第一壁，在第一壁上开设有多个等间距排布的狭缝，且该金属空腔的一端设有馈电点，另一端的腔体内填充有吸波材料。本实用新型的天线通过采用单排缝隙结构，一方面使得制作出的天线的波束具有宽水平角窄俯仰角的特点，进而实现俯仰角控制；此外，馈电点和吸波材料的设置，实现了能量通过狭缝面向外高效辐射，满足对交汇飞行目标的大范围探测。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN105244291A
公开(公告)日：2016-01-13
申请号：CN201510552671.3
申请日：2015-09-01
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: H01L21/56
CPC classification number: H01L21/56
Abstract: 本发明涉及一种用于三维集成的大厚度光敏BCB的涂覆方法，包括：在晶圆上，先旋涂一层光敏BCB，然后放在真空环境中静置；对第一层BCB进行曝光前热烘、曝光和固化；在第一层上旋涂第二层光敏BCB，并进行光刻、显影和固化；干法刻蚀去除部分BCB，刻蚀厚度为第一层BCB的厚度，即可。本发明有效解决了传统二次涂覆中两层BCB的通孔会出现无法顺畅衔接的技术问题。
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公开(公告)号：CN105204287A
公开(公告)日：2015-12-30
申请号：CN201510612817.9
申请日：2015-09-23
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G03F1/68
Abstract: 本发明涉及一种用于光刻掩膜板制作过程的夹具，包括主体部分，所述主体部分呈矩形框架结构；所述主体部分的四个角的内侧设有支撑柱体，所述主体部分的周边设有多个槽口；所述主体部分的四个角上还设有用于安装提杆的螺纹孔。本发明可以使得掩膜板制作过程中的显影、刻蚀和去胶和掩膜板清洗更为方便。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104485505A
公开(公告)日：2015-04-01
申请号：CN201410667824.4
申请日：2014-11-20
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种单天线雷达探测器馈电结构，包括收/发天线、波导反射面、发射馈线和接收馈线，所述收/发天线固定在所述波导反射面上方；所述发射馈线和接收馈线相互垂直设置，共用所述波导反射面上的一个波导口，并通过不同的波导电磁波激励模式进行馈电。本发明能够解决工作频率在毫米波频段时环形器设计的难题。
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公开(公告)号：CN104092473A
公开(公告)日：2014-10-08
申请号：CN201410373596.X
申请日：2014-07-31
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种3mm波段接收机及其应用，其中，所述3mm波段接收机至少包括：接收天线，用于接收射频信号；低噪声放大器，用于将所述接收天线接收到的射频信号进行放大；本振信号源，用于产生本振信号；正交混频器，用于将所述低噪声放大器的输出信号和所述本振信号源产生的本振信号进行混频，产生并输出两路正交的中频信号；正交耦合器，用于将所述正交混频器的两路输出信号进行功率合成，产生并输出一路单边带信号；中频放大器，用于将所述正交耦合器输出的单边带信号进行放大。本发明可以大大降低成本和实现难度，同时改变正交混频器的I/Q输出端口和正交耦合器的两个输入端口的连接次序可以实现单边带输出，可以很好地抑制镜像信号。
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公开(公告)号：CN104062620A
公开(公告)日：2014-09-24
申请号：CN201410338806.1
申请日：2014-07-16
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01R35/00
Abstract: 本发明提供一种功率校准测试系统，包括设定目标功率与目标频段的系统设置装置、连接于所述系统设置装置与功率传感器测量输出功率的功率计、连接于所述功率计产生微波信号的微波矢量网络分析仪、连接于所述微波矢量网络分析仪的倍频器、连接于所述倍频器的三端口定向耦合器、连接于所述微波矢量网络分析仪及所述三端口定向耦合器的谐波混频器。本发明通过实施闭环反馈回路，实现了对待测件输入端口参考面输入功率的实时闭环的监控和调整，可实现任何频段内的功率实时闭环功率校准和电路、器件的精确测量，大大提高了系统的通用型、有效性、一致性及精确性。
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公开(公告)号：CN102323531A
公开(公告)日：2012-01-18
申请号：CN201110139533.4
申请日：2011-05-26
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01R31/28
Abstract: 本发明公开了一种毫米波功率放大器的参数自动测试方法与测试系统，该系统包括：待测件毫米波激励信号功率控制单元与待测件毫米波激励信号发生单元相连，待测件毫米波激励信号检测单元与待测件毫米波激励信号功率控制单元相连，待测件的输入端与待测件毫米波激励信号检测单元相连，输出端与待测件输出信号检测单元相连；待测件直流信号供给单元与待测件相连，测试系统控制单元分别与待测件毫米波激励信号发生单元、待测件毫米波激励信号检测单元、待测件直流信号供给单元、和待测件输出信号检测单元控制相连。本发明实现了多个毫米波功率参数自动测试，克服了测试设备缺乏的困难，避免了手工测试效率低、精确度低、不确定因素多等缺点。
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公开(公告)号：CN102307070A
公开(公告)日：2012-01-04
申请号：CN201110139551.2
申请日：2011-05-26
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: H04B17/00
Abstract: 本发明公开了一种毫米波段非接触式传输特性的自动测试系统与测试方法，该方法包括：初始化毫米波段非接触式传输特性的自动测试系统；校准毫米波段非接触式传输特性的自动测试系统，完成无待测件情况下的空间传输特性测试，获得校准状态下的测试信息；完成有待测件情况下的传输特性测试，获得测试状态下的测试信息；获得发射端与接收端在每一个频率值下对应的功率信息；将测试状态下获得的功率信息减去校准状态下获得的功率信息，显示出待测件传输特性的测试曲线。本发明实现了76GHz～77GHz传输特性参数的自动测试，克服了毫米波测试手段与测试设备缺乏的困难，避免了测试设备成本昂贵，体积庞大，不易实现自动控制等缺点。
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