公开(公告)号：CN107527861A

公开(公告)日：2017-12-29

申请号：CN201610451522.2

申请日：2016-06-21

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

Inventor： 顾杰斌 ,  刘冰杰 ,  李昕欣

IPC: H01L21/768 ,  H01L21/28 ,  H01L21/67

CPC classification number: H01L21/768 ,  H01L21/28 ,  H01L21/67017

Abstract: 本发明提供一种用于微腔金属填充的喷嘴片结构、设备及填充方法，所述喷嘴片结构包括：喷嘴片面板；贯穿所述面板上表面及下表面的通孔；与所述通孔连通的液态金属引流槽；所述引流槽由所述面板上表面开口，并往所述面板下表面方向延伸，但未贯穿所述面板下表面；至少两条设于所述面板边缘且两端分别与所述引流槽、所述面板侧面连通的通气槽；所述通气槽由所述面板上表面开口，并往所述面板下表面方向延伸，但未贯穿所述面板下表面。本发明的喷嘴片结构可以针对不同结构和形状的微腔进行不同种类金属单质或金属合金的有效、快速填充，且喷嘴通孔位置不需要与填充片上待填充的微腔位置一一对应，从而大大提高了喷嘴片结构的普适性。

公开(公告)号：CN103107129A

公开(公告)日：2013-05-15

申请号：CN201310064231.4

申请日：2013-02-28

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 ,  湖州中微科技有限公司

Inventor： 顾杰斌 ,  黄绪国 ,  李昕欣 ,  杨恒 ,  江翔

IPC: H01L21/768

Abstract: 本发明提供一种微孔金属填充结构及方法，该填充结构包括密封腔、三明治结构；密封腔包括进出气孔；密封腔围成有容纳液态金属槽的空间；三明治结构包括由上至下依次叠加阻挡片、填充基片和喷嘴片；填充基片上设有填充微孔；喷嘴片上设有与填充微孔垂直对应的喷嘴孔；阻挡片与填充基片之间设有第一间隙；填充基片与喷嘴片之间设有第二间隙；喷嘴孔最窄处的半径小于填充微孔的半径的1/2以上；三明治结构的侧壁全部嵌入到密封腔内；喷嘴片的下表面在金属填充时紧贴液态金属槽的上表面。本发明利用压力差将液态金属槽中的金属吸入微米级别的填充微孔中，依据表面张力原理将已填充在微孔中的金属与金属槽在喷嘴孔中切断，填充速度快，时间短，准确度高。

公开(公告)号：CN115465856A

公开(公告)日：2022-12-13

申请号：CN202110645459.7

申请日：2021-06-10

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

Inventor： 朱虹延 ,  吴天如 ,  顾杰斌 ,  张超 ,  高渤翔

IPC: C01B32/184 ,  C01B32/186

Abstract: 本发明提供一种图形化石墨烯的制备方法，采用碳化硅基体作为固态碳源，在高温和催化剂的作用下，分解碳化硅，以在绝缘衬底上直接生长石墨烯，且通过容纳通道中第一图形化沟槽及第二图形化沟槽，可直接控制形成的石墨烯的形貌，从而本发明可在绝缘衬底上精确定位图形化石墨烯的位置，无需再次转移石墨烯，避免了对石墨烯的污染以及其结构的破坏，无需通过光刻、离子刻蚀等工艺对石墨烯进行加工，即可获得图形化石墨烯，避免了对石墨烯的损伤和破坏，可以制备图形复杂、大尺寸、高质量的石墨烯，解决了以往石墨烯图形化过程中成本高、易受污染，质量差等问题。

公开(公告)号：CN106291405A

公开(公告)日：2017-01-04

申请号：CN201610774690.5

申请日：2016-08-31

Applicant: 宁波中车时代传感技术有限公司 ,  中国科学院上海微系统与信息技术研究所

Inventor： 侯晓伟 ,  顾杰斌 ,  刘冰杰 ,  倪大成 ,  王飞 ,  郑良广 ,  陈竹健

IPC: G01R33/00 ,  G01R33/04

CPC classification number: G01R33/0052 ,  G01R33/04

Abstract: 本发明涉及一种一次成型螺线管线圈微型磁通门的制备方法，即分别在两个高阻硅片上进行刻蚀处理，以使得两个高阻硅片键合后能够形成铁芯腔和多个围绕在铁芯腔外周的螺线管腔，并且螺线管腔在至少一个高阻硅片上形成有填充口。两个高阻硅片键合前，在铁芯腔对应在两个高阻硅片上的刻蚀槽内沉积铁芯层，两个高阻硅片键合后，自填充口向螺线管腔内填充线圈材料，从而在螺线管腔中形成螺线管线圈；然后在所述填充口上覆盖保护层并在保护层上开设通至所述螺线管线圈的电极窗口。本发明使用两个高阻硅片键合的方式制备微型磁通门，提高了制备成品率，减少了电镀工艺的毒害性。还可以方便调整铁芯腔的制备厚度，进而使得铁芯层的厚度不受制备工艺的限制。

公开(公告)号：CN103107129B

公开(公告)日：2015-01-21

申请号：CN201310064231.4

申请日：2013-02-28

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 ,  湖州中微科技有限公司

Inventor： 顾杰斌 ,  黄绪国 ,  李昕欣 ,  杨恒 ,  魏旭东 ,  江翔

IPC: H01L21/768

Abstract: 本发明提供一种微孔金属填充结构及方法，该填充结构包括密封腔、三明治结构；密封腔包括进出气孔；密封腔围成有容纳液态金属槽的空间；三明治结构包括由上至下依次叠加阻挡片、填充基片和喷嘴片；填充基片上设有填充微孔；喷嘴片上设有与填充微孔垂直对应的喷嘴孔；阻挡片与填充基片之间设有第一间隙；填充基片与喷嘴片之间设有第二间隙；喷嘴孔最窄处的半径小于填充微孔的半径的1/2以上；三明治结构的侧壁全部嵌入到密封腔内；喷嘴片的下表面在金属填充时紧贴液态金属槽的上表面。本发明利用压力差将液态金属槽中的金属吸入微米级别的填充微孔中，依据表面张力原理将已填充在微孔中的金属与金属槽在喷嘴孔中切断，填充速度快，时间短，准确度高。

公开(公告)号：CN205958729U

公开(公告)日：2017-02-15

申请号：CN201621017090.6

申请日：2016-08-31

Applicant: 宁波中车时代传感技术有限公司 ,  中国科学院上海微系统与信息技术研究所

Inventor： 侯晓伟 ,  顾杰斌 ,  刘冰杰 ,  倪大成 ,  王飞 ,  郑良广 ,  陈竹健

IPC: G01R33/00 ,  G01R33/04

Abstract: 本实用新型涉及一种螺线管线圈微型磁通门，包括相互键合的第一高阻硅片和第一高阻硅片，第一高阻硅片和第二高阻硅片的对合面之间具有一内置铁芯层的铁芯腔，铁芯腔的外周围绕设置有多个填充有线圈材料的螺线管腔，螺线管腔在第一高阻硅片和/或第二高阻硅片的外表面上形成有填充口，填充口上覆盖设置有保护层，保护层上开设有通至螺线管线圈的电极窗口。该螺线管线圈微型磁通门环保性好、制备简单、成品率高。

公开(公告)号：CN205723491U

公开(公告)日：2016-11-23

申请号：CN201620614255.1

申请日：2016-06-21

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

Inventor： 顾杰斌 ,  刘冰杰 ,  李昕欣

IPC: H01L21/768 ,  H01L21/28 ,  H01L21/67

Abstract: 本实用新型提供一种用于微腔金属填充的喷嘴片结构及设备，所述喷嘴片结构包括：喷嘴片面板；贯穿所述面板上表面及下表面的通孔；与所述通孔连通的液态金属引流槽；所述引流槽由所述面板上表面开口，并往所述面板下表面方向延伸，但未贯穿所述面板下表面；至少两条设于所述面板边缘且两端分别与所述引流槽、所述面板侧面连通的通气槽；所述通气槽由所述面板上表面开口，并往所述面板下表面方向延伸，但未贯穿所述面板下表面。本实用新型的喷嘴片结构可以针对不同结构和形状的微腔进行不同种类金属单质或金属合金的有效、快速填充，且喷嘴通孔位置不需要与填充片上待填充的微腔位置一一对应，从而大大提高了喷嘴片结构的普适性。