一种MEMS六合一单片集成传感器及其制作方法

    公开(公告)号:CN116621114A

    公开(公告)日:2023-08-22

    申请号:CN202310499321.X

    申请日:2023-05-04

    Inventor: 陶虎 李晓辉 秦楠

    Abstract: 本发明提供一种基于MEMS技术的六合一单片集成传感器的制作方法,其包括在硅片上沉积隔离层,利用多晶硅制作牺牲层,沉积低应力氮化硅作为结构层和敏感膜片,在敏感膜片上制作敏感器件,使得XeF2气体透过敏感膜片上的腐蚀释放孔对牺牲层进行腐蚀,停止腐蚀后封堵所有的腐蚀释放孔。本发明的六合一单片集成传感器在单个硅片上集成了压力、加速度、气体、湿度、温度和麦克风传感器的功能,可以应用于复杂的场景如应急救援和公共安全等,从而提高作业效率;并且采用以上牺牲层和腐蚀的材料使得该集成传感器的成品率达到了一个较高的水平,制作成本也会较大幅度地降低,而且可与IC兼容。

    一种生物蛋白积木及其制备方法

    公开(公告)号:CN109553673B

    公开(公告)日:2023-04-25

    申请号:CN201710873366.3

    申请日:2017-09-25

    Abstract: 本发明涉及电子信息技术和生物医学技术领域。本发明提供了一种生物蛋白积木制备方法,所述制备方法包括以下步骤:(1)对生物蛋白薄膜进行第一灰度光刻,构建所述生物蛋白积木的底部;(2)对经过步骤(1)处理后的生物蛋白薄膜进行第二灰度光刻,构建所述生物蛋白积木的顶部;(3)将经过步骤(2)处理的生物蛋白薄膜进行显影,获得所述生物蛋白积木。本发明的生物蛋白积木制备方法以生物蛋白为材料,并且制备过程无需光敏剂,制备的生物蛋白积木生物相容性好、力学性能优异、易功能化、绿色环保、可控降解等优点。

    一种形变可恢复的纳米悬臂梁制作方法

    公开(公告)号:CN114715837A

    公开(公告)日:2022-07-08

    申请号:CN202011530038.1

    申请日:2020-12-22

    Inventor: 陶虎 秦楠

    Abstract: 本申请公开了一种形变可恢复的纳米悬臂梁制作方法,包括:提供基底;在所述基底上设置光刻材料形成与悬臂梁尺寸对应的薄膜,所述悬臂梁包括相互连接的悬臂梁体和支撑立柱;基于预先输入的悬臂梁结构图使用电子束依次对所述薄膜中设定的悬臂梁体区域和支撑立柱区域进行电子束三维直写曝光得到待显影悬臂梁结构;对所述待显影悬臂梁结构显影定影得到与所述悬臂梁结构图对应的悬臂梁结构,所述悬臂梁结构中的悬臂梁体受电子辐照形变可恢复。该蛋白质纳米悬臂梁通过电子束直写制备而成,不会引入杂质离子的污染问题,通过改变不同加速电压和曝光剂量,来改变电子束入射悬臂梁的深度,能够在能量最小化驱动下实现悬臂梁弯曲‑恢复行为。

    一种仿生果蝇的智能识别方法、系统和计算机存储介质

    公开(公告)号:CN114444618A

    公开(公告)日:2022-05-06

    申请号:CN202210185755.8

    申请日:2022-02-28

    Abstract: 本申请涉及信息检索领域,特别涉及一种仿生果蝇的智能识别方法、系统和计算机存储介质,仿生果蝇的智能识别方法包括:获取不同采样时间点的多组采样数据集,其中,采样数据集包括多个获取单元采集到的多个采样数据;对多组采样数据集进行响应态数据识别,得到响应态数据识别结果;基于响应态数据识别结果,确定多组采样数据集中的多组稳态数据集和至少一组响应态数据集;基于稳态数据集和响应态数据集进行数据识别处理,得到响应态数据集对应的检测目标数据;调用智能识别模型,确定检测目标数据对应的检测目标结果;通过得到响应态数据集对应的检测目标数据,不仅减少了识别计算量和数据存储空间,还提高了识别准确度和识别检测速度。

    一种微透镜阵列的制备方法、微透镜阵列、系统及设备

    公开(公告)号:CN114325894A

    公开(公告)日:2022-04-12

    申请号:CN202111590749.2

    申请日:2021-12-23

    Inventor: 陶虎 维帅 秦楠

    Abstract: 本发明涉及微纳器件制备技术领域,特别涉及一种微透镜阵列的制备方法、微透镜阵列、系统及设备。所述方法包括:获取柔性衬底;对所述柔性衬底进行预处理;在预处理后的所述柔性衬底上设置微透镜打印材料;将所述微透镜材料按照预设微透镜结构在所述柔性衬底上进行增材打印,得到柔性微透镜阵列。该微透镜阵列的制备方法,使用增材制造的方法实现了微透镜阵列在柔性基底上的大面阵制造。所得到的微透镜阵列具有低像差、高透光、结构稳定性好的特点。此外,对柔性衬底进行预处理,使柔性衬底具备良好的定型能力与贴敷性,利于实现柱面弯曲或球面弯曲,方便微透镜阵列的广角成像。

    一种生物蛋白积木及其制备方法

    公开(公告)号:CN109553673A

    公开(公告)日:2019-04-02

    申请号:CN201710873366.3

    申请日:2017-09-25

    Abstract: 本发明涉及电子信息技术和生物医学技术领域。本发明提供了一种生物蛋白积木制备方法,所述制备方法包括以下步骤:(1)对生物蛋白薄膜进行第一灰度光刻,构建所述生物蛋白积木的底部;(2)对经过步骤(1)处理后的生物蛋白薄膜进行第二灰度光刻,构建所述生物蛋白积木的顶部;(3)将经过步骤(2)处理的生物蛋白薄膜进行显影,获得所述生物蛋白积木。本发明的生物蛋白积木制备方法以生物蛋白为材料,并且制备过程无需光敏剂,制备的生物蛋白积木生物相容性好、力学性能优异、易功能化、绿色环保、可控降解等优点。

    一种光刻胶及其应用方法
    19.
    发明公开

    公开(公告)号:CN106773533A

    公开(公告)日:2017-05-31

    申请号:CN201710071305.5

    申请日:2017-02-09

    CPC classification number: G03F7/004 G03F7/20

    Abstract: 本发明提供一种光刻胶及其应用方法,所述光刻胶为基因重组蜘蛛丝蛋白。与传统的光刻胶相比,基因重组蜘蛛丝蛋白光刻胶具有生物相容性好、力学性能优异、抗刻蚀选择性好、易功能化、可控降解等一系列突出的优势。本发明的光刻胶在使用过程中,仅以水作为溶剂和显影液,最大限度保证了加工工艺的兼容性和环境友好性;另外,通过改变基因重组蜘蛛丝蛋白的交联程度,可以实现“正负两用”,既可以作正胶,亦可以作负胶;联合不同加工方法,可实现“从上而下,从下而上”复合式加工,制备多维度、跨尺度生物微纳结构,具有较好的应用开发前景。

    一种柔性感知设备、感知系统及其应用

    公开(公告)号:CN117606545A

    公开(公告)日:2024-02-27

    申请号:CN202311455310.8

    申请日:2023-11-02

    Inventor: 陶虎 王佳创 秦楠

    Abstract: 本发明涉及材料技术领域,特别涉及一种柔性感知设备、感知系统及其应用。柔性感知设备包括依次层叠设置的柔性基底层、柔性电路层和保护层;柔性基底层的底面设有丝蛋白薄膜;柔性基底层的底面与待装配物体贴附;柔性电路层包括柔性电路板和位于柔性电路板上的至少两种感知器件;至少两种感知器件分别与处理设备电连接;感知器件包括压力类传感器和环境检测类传感器;保护层包括开口,开口用于暴露至少两种传感器件;保护层的外表面设有丝蛋白薄膜。从而不仅可以提高对待装配物体的贴附强度,还可以提高对目标抓取物体的吸附力,辅助抓取;同时上述集成了多种感知器件可以实现对复杂场景的检测。

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