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公开(公告)号：CN119875382A
公开(公告)日：2025-04-25
申请号：CN202411981308.9
申请日：2024-12-31
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及微电子技术领域，特别涉及一种智能蒙皮基底的制备方法及应用。该方法通过先制备第一生物蛋白溶液和第二生物蛋白溶液；所述第一生物蛋白溶液对应的薄膜强度大于所述第二生物蛋白溶液对应的薄膜强度；将所述第一生物蛋白溶液与所述第二生物蛋白溶液进行混合；加入蛋白酶，并混合均匀，得到混合溶液；将所述混合溶液置于模具中进行固化成型，得到智能蒙皮基底。该智能蒙皮基底兼具可降解和安全性。
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公开(公告)号：CN119875149A
公开(公告)日：2025-04-25
申请号：CN202411981309.3
申请日：2024-12-31
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及微电子技术领域，特别涉及一种可降解导电水凝胶的制备方法及其应用。该方法通过先制备丝素蛋白溶液和高分子溶液，所述高分子溶液具有生物相容性，且基于所述高分子溶液制备的水凝胶的杨氏模量大于基于所述丝素蛋白溶液制备的水凝胶的杨氏模量；将所述丝素蛋白溶液与所述高分子溶液进行混合；依次加入导电材料和交联剂，并搅拌混合均匀，得到混合溶液；将所述混合溶液置于模具中，固化后形成可降解导电水凝胶。从而使得该可降解导电水凝胶兼具拉伸性和强度，更好的应用于可穿戴设备领域。
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公开(公告)号：CN119078235A
公开(公告)日：2024-12-06
申请号：CN202411185600.X
申请日：2024-08-27
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: B29C70/68 , B32B9/02 , B32B9/04 , C08J5/18 , C08J9/30 , C08L89/00 , G01L1/18 , G01L1/00 , G01L1/14 , G01L5/00 , A61B5/0215 , A61B5/03 , A61B3/16 , A61B5/20
Abstract: 本申请提供一种泡沫蚕丝蛋白膜及制备方法、基于泡沫蚕丝蛋白膜的压力传感器及制备方法，泡沫蚕丝蛋白膜的制备方法包括提供预设数量层辅助膜；制备第二预设浓度的蚕丝蛋白溶液；对第二预设浓度的蚕丝蛋白溶液进行泡沫化处理，得到泡沫蚕丝蛋白溶液；将泡沫蚕丝蛋白溶液注入预设数量层辅助膜中相邻的辅助膜之间，得到预设泡沫蚕丝蛋白膜；对预设泡沫蚕丝蛋白膜进行干燥以及交联处理，得到预设层数的泡沫蚕丝蛋白膜。本申请公开的泡沫蚕丝蛋白膜中的泡沫层由内含气体的蚕丝蛋白泡沫构成，并可在外界压力改变时对应地膨胀和收缩，将该材料应用于压力传感器，可使压力传感器具有体内可降解、无需二次手术取出的优势。
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公开(公告)号：CN116621112A
公开(公告)日：2023-08-22
申请号：CN202310488581.7
申请日：2023-05-04
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种基于MEMS技术的四合一单片集成传感器及其制作方法。本发明的四合一单片集成传感器在单个硅片上集成了多种传感器的功能，可以同时测量压力、加速度、气体和湿度，可用于复杂场景下的多参数同步检测。该四合一集成传感器采用表面微机械加工工艺制作，为了形成压力传感器、加速度传感器、气体传感器和湿度传感器所需的空腔结构，采用SiO2填充且使用HF溶液腐蚀多晶硅以释放腔体的方法，这样不仅有利于各种功能传感器的工艺兼容，而且也可以提高集成传感器的成品率。同时该集成传感器的制作成本相对较低，适合于大批量生产。
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公开(公告)号：CN115390167A
公开(公告)日：2022-11-25
申请号：CN202211073366.2
申请日：2022-09-02
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G02B3/00
Abstract: 本申请公开了一种柔性微透镜阵列及其制备方法，包括所述柔性微透镜阵列包括柔性基底与位于所述柔性基底上的微透镜阵列层，所述微透镜阵列层包括阵列分布的微透镜单体，所述微透镜阵列层还包括刚毛体，所述刚毛体位于所述微透镜单体之间，所述刚毛体的高度大于所述微透镜单体的高度。本申请通过在微透镜单体之间设置刚毛体，能够大大提升柔性微透镜阵列的防雾性能，并且，微透镜单体的焦距大大缩短，还能够有效抑制光学串扰，提升柔性微透镜阵列的光学隔离效果与成像能力。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114986504A
公开(公告)日：2022-09-02
申请号：CN202210624299.2
申请日：2022-06-02
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本申请涉及人工智能技术领域，特别涉及一种机械手臂的控制方法、装置和系统；控制方法包括：获取目标区域内的第一数据对；第一数据对包括第一触觉数据以及第一嗅觉数据；基于第一触觉数据以及第一嗅觉数据进行对象识别，得到第一对象识别结果；在第一对象识别结果指示目标区域内存在目标对象的情况下，确定目标对象的对象掩埋状态；基于目标对象的对象掩埋状态，确定机械手臂的工作模式；本申请中通过采用第一数据对进行对象识别，提高机械手臂识别智能系统的精确性，从而以使机械手臂能够基于精准的识别结果进行工作模式选择，从而提高机械手臂的救援智能性和救援准确性。
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公开(公告)号：CN114660900A
公开(公告)日：2022-06-24
申请号：CN202011534571.5
申请日：2020-12-22
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本申请公开了一种三维纳米结构制作方法，包括以下步骤：提供基底；在所述基底上设置光刻材料形成与三维纳米结构尺寸对应的薄膜；基于预先输入的三维纳米结构图形使用电子束对所述薄膜中设定的区域进行电子束三维直写曝光得到待显影三维纳米结构；对所述待显影三维纳米结构显影定影得到与所述三维纳米结构图形对应的三维纳米结构。本发明能够实现在优于100nm(甚至≤15nm)的分辨率下在平面或者曲面基底上利用电子束方便、快速直写悬浮、镂空、大深宽比等基于上述光刻材料的复杂三微纳米结构。
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公开(公告)号：CN114715837B
公开(公告)日：2024-09-24
申请号：CN202011530038.1
申请日：2020-12-22
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本申请公开了一种形变可恢复的纳米悬臂梁制作方法，包括：提供基底；在所述基底上设置光刻材料形成与悬臂梁尺寸对应的薄膜，所述悬臂梁包括相互连接的悬臂梁体和支撑立柱；基于预先输入的悬臂梁结构图使用电子束依次对所述薄膜中设定的悬臂梁体区域和支撑立柱区域进行电子束三维直写曝光得到待显影悬臂梁结构；对所述待显影悬臂梁结构显影定影得到与所述悬臂梁结构图对应的悬臂梁结构，所述悬臂梁结构中的悬臂梁体受电子辐照形变可恢复。该蛋白质纳米悬臂梁通过电子束直写制备而成，不会引入杂质离子的污染问题，通过改变不同加速电压和曝光剂量，来改变电子束入射悬臂梁的深度，能够在能量最小化驱动下实现悬臂梁弯曲‑恢复行为。
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公开(公告)号：CN115390167B
公开(公告)日：2024-09-20
申请号：CN202211073366.2
申请日：2022-09-02
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G02B3/00
Abstract: 本申请公开了一种柔性微透镜阵列及其制备方法，包括所述柔性微透镜阵列包括柔性基底与位于所述柔性基底上的微透镜阵列层，所述微透镜阵列层包括阵列分布的微透镜单体，所述微透镜阵列层还包括刚毛体，所述刚毛体位于所述微透镜单体之间，所述刚毛体的高度大于所述微透镜单体的高度。本申请通过在微透镜单体之间设置刚毛体，能够大大提升柔性微透镜阵列的防雾性能，并且，微透镜单体的焦距大大缩短，还能够有效抑制光学串扰，提升柔性微透镜阵列的光学隔离效果与成像能力。
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公开(公告)号：CN114488358B
公开(公告)日：2023-03-17
申请号：CN202210220275.0
申请日：2022-03-08
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本申请涉及一种光子晶体滤波器及其制备方法。方法包括：获取目标对象图像，目标对象图像与光子晶体滤波器的滤波图案相对应；提取目标对象图像中的颜色区域分布信息；调用光子晶体单胞的结构信息与颜色间的预设关系模型，基于颜色区域分布信息，得到目标对象图像中每个颜色区域对应的光子晶体单胞的目标结构信息；其中，光子晶体单胞为螺旋光栅结构；基于颜色区域分布信息和每个颜色区域对应的光子晶体单胞的目标结构信息，确定预设衬底上的目标阵列信息；基于目标阵列信息在预设衬底上进行光子晶体阵列加工，以形成与目标阵列信息对应的目标光子晶体阵列，得到光子晶体滤波器。本申请具有较窄的反射带宽和较高的滤波效率，且不易褪色。
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