一种热测试芯片
    12.
    发明公开

    公开(公告)号:CN114566337A

    公开(公告)日:2022-05-31

    申请号:CN202210076042.8

    申请日:2022-01-23

    Abstract: 本发明提供一种热测试芯片。该热测试芯片包括:盖板陶瓷层和至少两层电阻陶瓷层;各电阻陶瓷层与盖板陶瓷层相向的一面设有电阻布线层;电阻布线层包括输入端、输出端和电阻布线;各下层电阻布线层的输入端与相邻上层电阻布线层的输出端之间通过第一通孔串联;第一通孔贯穿对应电阻陶瓷层;最上层电阻布线层的输入端通过贯穿盖板陶瓷层的第二通孔与外部连接;最下层电阻布线层的输出端通过第三通孔与外部连接;第三通孔贯穿盖板陶瓷层以及除最下层之外的电阻陶瓷层。本发明能够通过采用多层电阻布线和耐高温陶瓷,多层电阻布线之间通过通孔串联,多层布线结构实现芯片尺寸减小,增加了单位面积的发热量,提高了热测试芯片的热流密度。

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