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公开(公告)号：CN112198096A
公开(公告)日：2021-01-08
申请号：CN202011070070.6
申请日：2020-09-30
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: G01N15/06
Abstract: 本发明公开一种铍粉尘浓度在线监测设备及其监测方法，该设备包括大气采样器、粉尘浓缩器、石英炬管、光纤光谱仪、四级杆滤质器、数据采集与处理单元、蓄电池和显示器。上述设备进行铍粉尘在线监测的方法为：首先大气采样器进行大气样本采集，之后将大气样本送入石英炬管内进行电离，然后利用光纤光谱仪和四级杆滤质器对电离后的大气样本进行测量分析，最后在数据采集与处理单元进行铍粉尘浓度计算，在低浓度铍粉尘环境中监测时，需在石英矩管前增加粉尘浓缩器。本发明公开的设备体积小，移动方便，可实现涉铍场所铍浓度的在线监测，在含铍粉尘浓度较高和含铍粉尘浓度较低的环境中均能通用；本发明公开的方法操作简单，监测铍粉尘浓度下限可达0.078μg/m3。
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公开(公告)号：CN108977789B
公开(公告)日：2021-01-05
申请号：CN201811047875.1
申请日：2018-09-07
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: C23C14/50
Abstract: 本发明提供了一种微球涂层系统，其包括有公转盘以及自转盘，自转盘安装在公转盘上，自转盘的转动轴线与公转盘的中轴线偏心设置，自转盘用于安装石英盘。该反弹盘装置在使用过程中转动的线路多样化，进而使得微球在涂层过程中转动更加合理，提高微球涂层的均匀性。
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公开(公告)号：CN106694905B
公开(公告)日：2019-09-03
申请号：CN201710123461.1
申请日：2017-03-03
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明公开了一种纳米铍粉的制备方法及制备装置，属于铍粉制备技术领域，采用的方法为：采用载气将有机铍醚合物蒸气从源瓶通过管道输送到已加热恒温的矿物油中；有机铍醚合物气态分子在矿物油中热解生成BeH2，副产物异丁烯、乙醚作为尾气排出；在矿物油中，BeH2再热解脱氢生成铍；分离矿物油，并干燥得到纳米铍粉，本发明的制备装置包括源瓶、反应瓶、鼓泡瓶和冷凝装置，所述源瓶与所述反应瓶连接，所述源瓶还与一进气管连通，所述反应瓶还与所述冷凝装置连通，所述冷凝装置的另一端通过第二管道与所述鼓泡瓶连通；本发明制备得到的铍粉，其直径更小，小于65 nm；碳杂质含量低，低于0.2 at%，最终得到的铍粉金属杂质总量小于12 ppm。
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公开(公告)号：CN106967964A
公开(公告)日：2017-07-21
申请号：CN201710342715.9
申请日：2017-05-16
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: C23C16/505
CPC classification number: C23C16/505
Abstract: 本发明公开了一种掺铍的碳氢涂层的制备方法，其步骤为：氢气在射频电感放电激发下电离形成氢等离子体，另一路氢气作为载气，经过预先加热后进入源瓶，携带有机铍蒸汽进入所述氢等离子体中心，所述有机铍在所述氢等离子体中，被打断成铍和碳氢片段，所述铍和碳氢片段共沉积在基底上，得到掺铍的碳氢涂层；还公开了用于制备该掺铍的碳氢涂层的装置；本方法通过共沉积铍和碳氢片段，形成均一的、无定形的掺铍的碳氢聚合物涂层材料，该材料作为激光聚变能源研究中的烧蚀层材料，该材料具有高X射线透过率、高烧蚀稳定性等优点。
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公开(公告)号：CN106694905A
公开(公告)日：2017-05-24
申请号：CN201710123461.1
申请日：2017-03-03
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明公开了一种纳米铍粉的制备方法及制备装置，属于铍粉制备技术领域，采用的方法为：采用载气将有机铍醚合物蒸气从源瓶通过管道输送到已加热恒温的矿物油中；有机铍醚合物气态分子在矿物油中热解生成BeH2，副产物异丁烯、乙醚作为尾气排出；在矿物油中，BeH2再热解脱氢生成铍；分离矿物油，并干燥得到纳米铍粉，本发明的制备装置包括源瓶、反应瓶、鼓泡瓶和冷凝装置，所述源瓶与所述反应瓶连接，所述源瓶还与一进气管连通，所述反应瓶还与所述冷凝装置连通，所述冷凝装置的另一端通过第二管道与所述鼓泡瓶连通；本发明制备得到的铍粉，其直径更小，小于65 nm；碳杂质含量低，低于0.2 at%，最终得到的铍粉金属杂质总量小于12 ppm。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105177508A
公开(公告)日：2015-12-23
申请号：CN201510665321.8
申请日：2015-10-16
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明提供了一种氢化铍涂层材料的制备方法及装置。本发明通过射频原子源，将氢气离化形成活性氢原子射流，与蒸发的铍原子在气相中或者基片上发生氢化反应生成氢化铍沉积在基片上。采用离化源，使不与铍原子反应的氢分子离化成高活性的氢自由基，氢自由基易与蒸发铍原子氢化反应，生成氢化铍沉积在基片上。所述的装置有效的屏蔽了高能量电子、离子、蒸发源热辐射对样品的损伤。本发明只采用了铍、氢两种元素作为反应原料，不会引入其它杂质，因此可以制备高纯度的氢化铍材料。
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公开(公告)号：CN116970911A
公开(公告)日：2023-10-31
申请号：CN202310760681.0
申请日：2023-06-27
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明公开了一种泡沫铍材料的制备方法，属于金属铍功能材料技术领域，本发明采用PAMS为造孔材料，先将其进行球磨达一定粒径或直接采用PAMS空心微球作为芯轴，后在其表面溅射沉积一定厚度的铍涂层，然后将该复合物置于加热炉中升温使PAMS发生热分解，在一定压力下PAMS气体小分子从铍涂层的微裂隙处逸出，同时铍涂层在高温下发生扩散粘结，从而得到一定密度及骨架结构的泡沫铍；该方法制备的泡沫铍具有密度及孔径可调，成分单一，纯度较高，原料易得等优点。
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公开(公告)号：CN116751385A
公开(公告)日：2023-09-15
申请号：CN202310726031.4
申请日：2023-06-19
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明公开了一种柔性可剪裁吸氢薄膜的制备方法，包括：制备吸氢材料和催化剂均匀混合粉末；在热压机金属板A上铺硅橡胶片A，在硅橡胶片A上贴合全氟聚合物薄膜A，在全氟聚合物薄膜A上贴合聚乙烯薄膜A，将吸氢材料和催化剂混合粉末平铺在聚乙烯薄膜A上，用刮刀使混合粉末均匀分布，在混合粉末上方覆盖聚乙烯薄膜B，在聚乙烯薄膜B上依次覆盖全氟聚合物薄膜B、硅橡胶片B、热压机金属板B；进行热压；将热压金属板B、硅橡胶片B、全氟聚合物薄膜B依次取下，得到柔性可剪裁吸氢薄膜。本发明制备得到的吸氢薄膜可满足系统内部曲面以及狭缝等复杂空间安装要求，且工艺简单，成膜过程中不需加入硫化剂、成膜剂，制备价格低廉，易于广泛使用。
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公开(公告)号：CN116162806A
公开(公告)日：2023-05-26
申请号：CN202310111553.3
申请日：2023-02-14
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 , 西北稀有金属材料研究院宁夏有限公司
Abstract: 本发明公开了一种梯度磁场增强的真空蒸馏提纯金属铍的装置，属于半导体材料技术，包括真空室（15），所述真空室（15）内从上至下依次设置衬底基座（3）、收集器（9）和蒸馏炉（6），所述蒸馏炉（6）内设置坩埚（8），在所述收集器（9）与坩埚（8）之间还设置有永磁体（4）和水冷屏蔽板（5），所述水冷屏蔽板（5）位于永磁体（4）与坩埚（8）之间，其中，所述永磁体（4）为非对称磁极，本发明还公开了采用上述装置进行提纯铍的方法；本发明通过设置梯度磁场，能够将金属铍中的Fe元素含量降至5ppm以下，Mn元素含量降低至3ppm以下，并且能将Cr和Ni元素含量降至0.5ppm以下，大大提高了金属铍的纯度，并降低了粗铍的提纯成本。
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公开(公告)号：CN110129753B
公开(公告)日：2021-05-18
申请号：CN201910446045.4
申请日：2019-05-27
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明公开了一种能及时排屑的微球涂层装置，包括真空室、磁控靶枪和涂层盘，所述涂层盘包括同轴设置的外筒体和内转台；所述外筒体水平固定在真空室内，所述内转台为上小下大的圆锥体形，底部设有磁力耦合器，所述磁力耦合器用于耦合位于真空室外的电机，驱动内转台其内转台的中心轴旋转；内转台底部不与底板接触，内转台边沿与环形体内壁不接触并形成一环形沟槽，所述环形沟槽间隙小于微球直径。本发明突破传统实心涂层盘渣屑去除技术局限，采用了同轴设置但存在一定间隙的外筒体和内转台、再配合拨片的结构。不但可以长时、均匀地涂层，而且能及时地排屑，避免屑与微球发生粘连，从而提升微球涂层质量，缩短制靶周期。
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