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公开(公告)号：CN109678632B
公开(公告)日：2020-12-22
申请号：CN201910083839.9
申请日：2019-01-29
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明公开了一种二维含能材料，其氧化剂组分与燃料组分中至少一种为类石墨烯二维材料，并且已合成为二维纳米片。所述氧化剂组分含量为10％～90％，所述燃料组分含量为10％～90％；所述氧化剂组分为WO3或MnO2；所述燃料组分为Al、Mg、B、Ti、Si或P中的一种。本发明使二维材料与纳米含能材料完美结合在一起，解决了纳米含能材料的分散性差，粒子易团聚，瞬时放热差问题，也拓展了二维纳米材料的应用。
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公开(公告)号：CN108680566B
公开(公告)日：2020-07-28
申请号：CN201810490582.4
申请日：2018-05-21
Applicant: 中北大学
IPC: G01N21/76
Abstract: 本发明公开了一种基于MoS2纳米类酶发光体系检测过氧化氢的新方法，包括如下步骤：S1、制备MoS2二维纳米类酶；S2、配制0.1mol/L的鲁米诺母液和Tris‑HCl缓冲溶液；S3、将配制所得的鲁米诺母液用Tris‑HCl缓冲溶液稀释至5毫摩尔每升的鲁米诺溶液，然后取40微升所得溶液与40微升不同浓度的过氧化氢溶液在测量杯中混匀，再向其中加入40微升1毫摩尔每升的MoS2纳米类酶，反应30秒后，整个反应体系放入化学发光测定仪，通过化学发光仪收集并记录反应所产生的光信号。本发明增强了检测过氧化氢时的发光信号的强度，缩短了反应时间。
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公开(公告)号：CN107800443B
公开(公告)日：2020-02-18
申请号：CN201711075613.1
申请日：2017-11-06
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明公开了一种射频无源谐振传感特征解调变换电路，涉及无线传感器变换解调测试技术领域。所述变换电路包括：激励源、功率分配器和幅相接收单元，所述激励源经功率分配器后分成多路输入给幅相接收单元中相应的模块，所述幅相接收单元用于对将被测信号下变频至中频信号进行输出后送入后端的信号调理及量化采集模块，将信号变换成离散的时域信号供后端处理。所述变换电路具有输出频率范围宽、跳频速度快、相位噪声低、频率分辨率高、扫频周期高和响应时间短等优点。
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公开(公告)号：CN119805855A
公开(公告)日：2025-04-11
申请号：CN202510293169.9
申请日：2025-03-13
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明提供一种双面纳米压印结构的制备方法，其中，方法包括：形成第一光刻胶涂层，并基于第一光刻胶涂层进行图案化处理，对应第一光刻胶涂层的衬底遮挡部；对第一衬底A面进行刻蚀，形成凹槽结构，并将所述衬底遮挡部进行去除；将第一衬底、第二衬底进行衬底键合，以形成密封腔体；形成第一UV保护层，并对第二衬底B面进行结构化处理，形成第一纳米结构层；去除第一UV保护层，在第二衬底B面上形成第二UV保护层，并对第一衬底B面进行结构化处理，形成位于所述第一衬底B面上的第二纳米结构层，其中，所述第二纳米结构层包括呈现阵列排布的多个第二结构圆孔；去除第二UV保护层，得到双面纳米压印结构。本发明至少提高了制备效率和一致性。
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公开(公告)号：CN118676036B
公开(公告)日：2024-12-24
申请号：CN202411160490.1
申请日：2024-08-22
Applicant: 中北大学
IPC: H01L21/67 , H01L21/308
Abstract: 本发明的目的在于提供一种硅的高均匀性湿法腐蚀装置及方法，属于半导体芯片制造技术领域，所述装置包括水浴锅，所述水浴锅内设有烧杯，所述烧杯内设有用于夹持硅片的聚四氟乙烯材料制作的夹具，所述夹具包括夹持件，所述夹持件包括通过螺栓连接的上夹持件和下夹持件，所述上夹持件的顶端设有上螺杆，所述夹持件的底部设有过滤板，下夹持件与过滤板之间通过中螺杆连接，过滤板的底部设有下螺杆。通过该装置及方法，能够提升湿法腐蚀均匀性、改善湿法腐蚀形貌，通过缓解腐蚀液流速，加速生成沉淀物和气体溢出，达到提高整片晶圆深硅腐蚀均匀性同时改善形貌的效果。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN118387830A
公开(公告)日：2024-07-26
申请号：CN202410289597.X
申请日：2024-03-14
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明属于量子传感相关的微型原子气室领域，具体涉及一种制备实现六面通光的微型原子气室的方法；包括清洗5片晶圆；通道层玻璃晶圆打孔、抛光；第一次连接层硅晶圆阳极键合；第一次连接层硅晶圆光刻；第一次连接层硅晶圆深硅刻蚀；第二次连接层硅晶圆阳极键合；第二次连接层硅晶圆光刻；第二次连接层硅晶圆深硅刻蚀；第一次盖板玻璃晶圆阳极键合；通道层玻璃晶圆的方形通孔内注入碱金属；第二次盖板玻璃晶圆阳极键合；晶圆切割；切割面抛光；采用MEMS工艺制作出完全规则的六面通光的正方体结构，每一个气室尺寸都保持一致，与传统工艺实现的玻璃气室相比，具备更稳定的热传导通道，参数更稳定。
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公开(公告)号：CN117388772A
公开(公告)日：2024-01-12
申请号：CN202311224447.2
申请日：2023-09-21
Applicant: 中北大学
IPC: G01R33/032 , G01R33/12
Abstract: 一种用于原子磁强计的超表面集成反射型气室，属于原子磁强计技术领域，可解决现有原子磁强计的信号强度低，集成度低的问题，包括玻璃套筒，所述玻璃套筒内部填充有硅，玻璃套筒的外侧表面一端设有超表面，另一端设有光电探测器，超表面的上方设有四分之一波片，四分之一波片的上方设有激光器，玻璃套筒的两端套设有亥姆霍兹线圈。本发明的超表面可以实现湿法腐蚀长光学长度原子气室所需的19.48°的特殊偏转角，所提出的超表面在实现较大偏转角度的同时保持较高的效率。
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公开(公告)号：CN117354975A
公开(公告)日：2024-01-05
申请号：CN202311224413.3
申请日：2023-09-21
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明的目的在于提供一种用于CPT原子钟的VCSEL加热和温度检测装置，属于原子钟技术领域，包括陶瓷基板，所述陶瓷基板上设有感温区和加热区，所述感温区位于陶瓷基板的中心，加热区位于感温区的两侧，所述感温区包括呈几字型布置的铂薄膜金属线，加热区包括呈蛇形布置的铜薄膜金属线，感温区的中心设有垂直腔面发射激光器。本发明通过将感温区和加热区集成在一个陶瓷基底上，通过感温区的电流控制输入给加热区的电流，从而维持原子钟的温度恒定。相较于传统NTC热敏电阻的方式减少了体积，满足了CPT原子钟体积的微型化、功耗低的基本要求，供热速度快，同时，使物理封装更加便捷。
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公开(公告)号：CN109678631A
公开(公告)日：2019-04-26
申请号：CN201910083830.8
申请日：2019-01-29
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明公开了一种二维含能材料，其氧化剂组分与燃料组分中至少一种为类石墨烯二维材料，并已被制成二维纳米片。所述氧化剂组分为MoO3或MnO2，其含量为10％～90％，所述燃料组分为Al、Mg、B、Ti、Si或P中的一种，其含量为10％～90％。本发明使二维材料与纳米含能材料完美结合在一起，解决了纳米含能材料的分散性差，粒子易团聚，瞬时放热差问题，也拓展了二维纳米材料的应用。
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公开(公告)号：CN102393249A
公开(公告)日：2012-03-28
申请号：CN201110288708.8
申请日：2011-09-26
Applicant: 中北大学
IPC: G01J5/10
Abstract: 本发明公开的是一种基于晶片键合技术实现的热释电红外探测器及其制备方法。所述热释电红外探测器包括硅衬底(1)、硅衬底(1)表面的绝热层(2)、键合层(3)、热释电材料片(4)、上电极层(6)及红外吸收层(7)，其中所述硅衬底(1)的绝热层(2)和所述热释电材料片(4)在制备方法中通过所述键合层(3)键合在一起。本发明在热释电晶片与硅衬底结合的同时保证了原始晶片完整性，与同种热释电材料的薄膜热释电探测器相比，具有易加工、材料强度高、厚度容易实现、抵抗外界恶劣环境的影响能力较强、热散失轻等优点。
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