仿海豹胡须的宽频带MEMS矢量水听器

    公开(公告)号:CN105181118A

    公开(公告)日:2015-12-23

    申请号:CN201510670121.1

    申请日:2015-10-17

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本发明为一种仿海豹胡须的宽频带MEMS矢量水听器,该水听器极大地提高了MEMS矢量水听器的探测水里微弱声源信号的能力。本发明包括不锈钢电路管壳、缩颈管壳、固定圆盘、带凸台的绝缘环形托盘,凸台上安装有圆形PCB板和探测芯片,探测芯片包括四梁微结构、敏感柱体和浮力球,圆形PCB板和探测芯片的整体表面采用Parylene薄膜绝缘封装。本发明水听器是针对以前的仿鱼类侧线系统的MEMS矢量水听器,在不影响水听器灵敏度的情况下,极大提高纳机电矢量水听器的频带宽度,消除聚氨酯透声帽对水听器频响曲线的影响,为水听器的应用和发展提供了良好的前景。

    中性浮力式MEMS矢量水听器
    12.
    发明公开

    公开(公告)号:CN105067100A

    公开(公告)日:2015-11-18

    申请号:CN201510439808.4

    申请日:2015-07-23

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本发明是一种中性浮力式MEMS矢量水听器,该水听器极大地提高了纳机电矢量水听器的探测水里微弱声源信号的能力。本发明包括不锈钢电路管壳、缩颈管壳、固定圆盘、带凸台的绝缘环形托盘,凸台上安装有圆形PCB板和探测芯片,探测芯片包括四梁微结构、敏感柱体和浮力球,绝缘环形托盘上开设有密封螺孔和信号螺孔,绝缘环形托盘上固接有内充硅油的透声帽,透声帽由乳胶-超弹性材料构成,透声帽内还支设有支撑架。该中性浮力式纳机电矢量水听器,在不影响水听器频带的情况下,极大提高纳机电矢量水听器的灵敏度、指向性的凹点深度,为水听器的应用和发展提供了良好的前景。

    MEMS湍流传感器的封装方法
    13.
    发明授权

    公开(公告)号:CN106153243B

    公开(公告)日:2019-03-29

    申请号:CN201610488805.4

    申请日:2016-06-29

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本发明涉及海洋湍流探测,具体是一种MEMS湍流传感器封装方法。本发明针对MEMS湍流传感器在海中应用可靠性封装的技术瓶颈问题,提出Parylene薄膜淀积、保护罩、保护杆和中空壳体结合的保护方式,解决电绝缘、防腐蚀、耐高静水压、防碰撞、防泥沙堵塞等问题。本发明适用于MEMS湍流传感器的封装。

    一种铝镁合金杯形件旋转挤压成形方法

    公开(公告)号:CN107262542B

    公开(公告)日:2019-02-05

    申请号:CN201710544772.5

    申请日:2017-06-27

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本发明公开一种铝镁合金杯形件旋转挤压成形方法,步骤:(1)、下料,取一段柱形坯料;(2)、旋转挤压,将柱形坯料放入凹模模腔中,凹模的模腔周壁设有至少两个对称的轴向凹槽,凹模的夹持部位内部做成空腔,将凸模伸入凹模模腔中,凸模工作带的端部设置一个梯形截面凹槽,凸模的内部做成中空,中空的截面积相等,凸模进行正向挤压和加热,同时凹模进行旋转和加热,在凸模挤压过程中,利用梯形截面凹槽内的柱形坯料形成整体性的扭矩,利用流入轴向凹槽的金属坯料与凹模达到同步旋转;(3)、脱模,旋转挤压完成,从凹模模腔中取出轻质合金杯形件。本发明显著降低轴向挤压力,使成形件变形更加均匀,提高了工件的力学性能。

    一种铝镁合金杯形件旋转挤压成形方法

    公开(公告)号:CN107262542A

    公开(公告)日:2017-10-20

    申请号:CN201710544772.5

    申请日:2017-06-27

    Applicant: 中北大学

    CPC classification number: B21C23/14 B21C25/02 B21C29/04

    Abstract: 本发明公开一种铝镁合金杯形件旋转挤压成形方法,步骤:(1)、下料,取一段柱形坯料;(2)、旋转挤压,将柱形坯料放入凹模模腔中,凹模的模腔周壁设有至少两个对称的轴向凹槽,凹模的夹持部位内部做成空腔,将凸模伸入凹模模腔中,凸模工作带的端部设置一个梯形截面凹槽,凸模的内部做成中空,中空的截面积相等,凸模进行正向挤压和加热,同时凹模进行旋转和加热,在凸模挤压过程中,利用梯形截面凹槽内的柱形坯料形成整体性的扭矩,利用流入轴向凹槽的金属坯料与凹模达到同步旋转;(3)、脱模,旋转挤压完成,从凹模模腔中取出轻质合金杯形件。本发明显著降低轴向挤压力,使成形件变形更加均匀,提高了工件的力学性能。

    一种矿用MEMS风速计电绝缘自清洁封装方法

    公开(公告)号:CN106338617A

    公开(公告)日:2017-01-18

    申请号:CN201610785127.8

    申请日:2016-08-31

    Applicant: 中北大学

    CPC classification number: G01P5/08

    Abstract: 本发明涉及矿用MEMS风速计,具体是一种矿用MEMS风速计电绝缘自清洁封装方法。一种矿用MEMS风速计电绝缘自清洁封装方法,包括以下步骤(:a)Parylene薄膜淀积:在矢量风速计外表面上采用CVD方法淀积2微米厚的Parylene薄膜;b)利用ICP刻蚀机对Parylene薄膜进行加工,采用SF6进行等离子体处理,在Parylene薄膜表面就形成高疏水表面。本发明利用Parylene薄膜的绝缘性,基于仿荷叶自洁效应的疏水处理方式,然后采用SF6等离子处理在Parylene薄膜表面形成高疏水表面,实现了微结构的电绝缘自清洁,具有一致性好、可批量加工的优点。

    MEMS湍流传感器的封装方法
    17.
    发明公开

    公开(公告)号:CN106153243A

    公开(公告)日:2016-11-23

    申请号:CN201610488805.4

    申请日:2016-06-29

    Applicant: 中北大学

    CPC classification number: G01L19/06 G01L19/0645

    Abstract: 本发明涉及海洋湍流探测,具体是一种MEMS湍流传感器封装方法。本发明针对MEMS湍流传感器在海中应用可靠性封装的技术瓶颈问题,提出Parylene薄膜淀积、保护罩、保护杆和中空壳体结合的保护方式,解决电绝缘、防腐蚀、耐高静水压、防碰撞、防泥沙堵塞等问题。本发明适用于MEMS湍流传感器的封装。

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