公开(公告)号：CN105181118A

公开(公告)日：2015-12-23

申请号：CN201510670121.1

申请日：2015-10-17

Applicant: 中北大学

Inventor： 王任鑫 ,  徐伟 ,  刘源 ,  白冰 ,  刘梦然 ,  王丽娟 ,  张国军 ,  薛晨阳 ,  刘俊 ,  张斌珍 ,  张文栋

IPC: G01H11/06

Abstract: 本发明为一种仿海豹胡须的宽频带MEMS矢量水听器，该水听器极大地提高了MEMS矢量水听器的探测水里微弱声源信号的能力。本发明包括不锈钢电路管壳、缩颈管壳、固定圆盘、带凸台的绝缘环形托盘，凸台上安装有圆形PCB板和探测芯片，探测芯片包括四梁微结构、敏感柱体和浮力球，圆形PCB板和探测芯片的整体表面采用Parylene薄膜绝缘封装。本发明水听器是针对以前的仿鱼类侧线系统的MEMS矢量水听器，在不影响水听器灵敏度的情况下，极大提高纳机电矢量水听器的频带宽度，消除聚氨酯透声帽对水听器频响曲线的影响，为水听器的应用和发展提供了良好的前景。

公开(公告)号：CN105067100A

公开(公告)日：2015-11-18

申请号：CN201510439808.4

申请日：2015-07-23

Applicant: 中北大学

Inventor： 张国军 ,  韩建军 ,  刘源 ,  刘梦然 ,  白冰 ,  徐伟 ,  郭静 ,  王丽娟 ,  王续博 ,  郭楠 ,  曾瑞 ,  薛晨阳 ,  张文栋

IPC: G01H3/00

Abstract: 本发明是一种中性浮力式MEMS矢量水听器，该水听器极大地提高了纳机电矢量水听器的探测水里微弱声源信号的能力。本发明包括不锈钢电路管壳、缩颈管壳、固定圆盘、带凸台的绝缘环形托盘，凸台上安装有圆形PCB板和探测芯片，探测芯片包括四梁微结构、敏感柱体和浮力球，绝缘环形托盘上开设有密封螺孔和信号螺孔，绝缘环形托盘上固接有内充硅油的透声帽，透声帽由乳胶-超弹性材料构成，透声帽内还支设有支撑架。该中性浮力式纳机电矢量水听器，在不影响水听器频带的情况下，极大提高纳机电矢量水听器的灵敏度、指向性的凹点深度，为水听器的应用和发展提供了良好的前景。