公开(公告)号：CN106338617A

公开(公告)日：2017-01-18

申请号：CN201610785127.8

申请日：2016-08-31

Applicant: 中北大学

Inventor： 王任鑫 ,  张国军 ,  任子明 ,  白冰 ,  贾传令 ,  薛晨阳

IPC: G01P5/08

CPC classification number: G01P5/08

Abstract: 本发明涉及矿用MEMS风速计，具体是一种矿用MEMS风速计电绝缘自清洁封装方法。一种矿用MEMS风速计电绝缘自清洁封装方法，包括以下步骤（：a）Parylene薄膜淀积：在矢量风速计外表面上采用CVD方法淀积2微米厚的Parylene薄膜；b）利用ICP刻蚀机对Parylene薄膜进行加工，采用SF6进行等离子体处理，在Parylene薄膜表面就形成高疏水表面。本发明利用Parylene薄膜的绝缘性，基于仿荷叶自洁效应的疏水处理方式，然后采用SF6等离子处理在Parylene薄膜表面形成高疏水表面，实现了微结构的电绝缘自清洁，具有一致性好、可批量加工的优点。