公开(公告)号：CN104064490A

公开(公告)日：2014-09-24

申请号：CN201310363069.6

申请日：2013-08-20

Applicant: 株式会社东芝

Inventor： 东真也 ,  佐藤慎哉 ,  佐久间智教 ,  大泽明彦 ,  小林浩秋 ,  山崎修 ,  西村博司

IPC: H01L21/67 ,  H01L23/13

CPC classification number: C30B25/12 ,  C23C16/4584 ,  C23C16/4585 ,  C30B25/14 ,  C30B29/06 ,  H01L21/68735 ,  H01L21/68764 ,  H01L21/68785

Abstract: 本发明提供一种半导体制造装置以及半导体晶片支架。根据一个实施方式，半导体晶片支架具有支承半导体晶片的第1保持区域部；以及包围第1保持区域并被支承于旋转体单元的第2保持区域部，第1保持区域部和第2保持区域部有阶差，在第1保持区域部中，在半导体晶片被支承于第1保持区域部时的半导体晶片的外缘的位置设置有多个通气孔。

公开(公告)号：CN107005077A

公开(公告)日：2017-08-01

申请号：CN201580047260.7

申请日：2015-11-26

Applicant: 株式会社东芝

Inventor： 池田园花 ,  小杉伸一郎 ,  关野正宏 ,  黑田和人 ,  山崎修

IPC: H02J7/10

Abstract: 本发明的实施方式的电力控制装置具有取得部与确定部。取得部取得与可充放电的二次电池在充电时的电压相关的信息。确定部根据由所述取得部取得的信息，以随着上限电压与所述二次电池的电压之间的差分变小而变小并且用上限电流进行限制的方式，确定所述二次电池在充电时的最大电流。