表面处理装置
    11.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101959594A

    公开(公告)日:2011-01-26

    申请号:CN200980107772.2

    申请日:2009-03-06

    CPC classification number: H01L21/6719 B01J4/008 H01L21/67017 H01L21/67109

    Abstract: 本发明的表面处理装置(100)具备:稀释气体供给装置(1),氟气供给装置(2),混合稀释气体与氟气的混合器(5),以及采用由混合器(5)生成的混合气体对被处理物进行处理的反应器(6)。由加热器(8)对从稀释气体供给装置供给的稀释气体进行加热,在混合器(5)中混合加热后的稀释气体与从氟气供给装置供给的氟气。混合后的气体向反应器(6)输送。反应器(6)内的气体通过排气装置(207)从反应器(6)导向流路(219、220、221、222)。阀(223、224、225、226)依次打开,通过使用流路(219、220、221、222),一边调整反应器(6)内的气体的流量一边将反应器(6)内的气体向除害装置(208)输送。

    亲水化微粒的制备方法
    14.
    发明公开

    公开(公告)号:CN103154099A

    公开(公告)日:2013-06-12

    申请号:CN201180048299.2

    申请日:2011-10-03

    CPC classification number: C08J3/12 C08J2333/06 C08J2383/04

    Abstract: 本发明提供一种即使提高亲水化处理中使用的混合气体中的氟气浓度,也能够抑制乙烯系聚合物微粒着色的亲水化微粒的制备方法。本发明的亲水化微粒的制备方法通过进行使含有氟气、含氧原子的化合物的气体、以及惰性气体的混合气体与基材粒子接触的处理,使基材粒子表面亲水化,以制备亲水化微粒,其特征在于,将个数平均粒径为1000μm以下的乙烯系聚合物微粒作为基材粒子;使所述混合气体中的氟气与含氧原子的化合物的气体的体积比(含氧原子的化合物的气体/氟气)小于6;使所述混合气体中的氟气浓度为0.9体积%以上。

    制造氟或三氟化氮的电解装置

    公开(公告)号:CN101213325B

    公开(公告)日:2010-09-22

    申请号:CN200780000033.4

    申请日:2007-01-19

    CPC classification number: C25B1/245 C25B11/0478 C25B11/12

    Abstract: 本发明的任务在于提供一种通过电解含氟化氢的熔盐而制造氟或三氟化氮的电解装置,此电解装置的优点在于可进行电解,而即使在大电流密度下也不会出现阳极效应,而且不会发生阳极溶解。在本发明中,此任务通过下面的电解装置完成,所述电解装置通过施加1到1000A/dm2的电流密度电解含氟化氢的熔盐以制造氟或三氟化氮,该电解装置以涂覆导电金刚石的电极作为阳极。

    氟气发生装置
    20.
    发明授权

    公开(公告)号:CN1234912C

    公开(公告)日:2006-01-04

    申请号:CN03133020.7

    申请日:2003-05-29

    CPC classification number: C25B1/245 C25B15/02

    Abstract: 本发明提供一种对由包含氟化氢的混合熔融盐组成的电解液进行电解以产生高纯度的氟气的氟气发生装置,其包括:电解槽,它利用隔壁被分隔为设置阳极的阳极室和设置阴极的阴极室;使阳极室内和阴极室内保持大气压的压力保持装置;能够对阳极室和阴极室的各自电解液的液位进行5个级别以上的检测的液面检测装置;压力保持装置包括与分别设置在阳极室和阴极室中的压力计联动开闭的并能自动排出或中断由阳极室和阴极室生成的气体的自动阀、与设置在阳极室和阴极室中的液面检测装置联动开闭的并能自动排出或中断由阳极室和阴极室生成的气体的自动阀构成,液面检测装置能在中等液面高度和最高异常液面高度之间及在中等液面高度和最低异常液面高度之间检测出变为异常前的一定液面高度。

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