隔膜阀
    11.
    发明公开

    公开(公告)号:CN107407430A

    公开(公告)日:2017-11-28

    申请号:CN201680017445.8

    申请日:2016-03-04

    Abstract: 本发明提供一种通过着眼于隔膜压具的按压面的曲率半径与隔膜的曲率半径的比,来实现隔膜的耐久性的提高的隔膜阀。将隔膜(5)的曲率半径记为SRa,将隔膜压具(6)的按压面的曲率半径记为SRb,则SRb/SRa=0.4~0.6。

    多级活塞式致动器
    12.
    发明公开

    公开(公告)号:CN106795898A

    公开(公告)日:2017-05-31

    申请号:CN201480082528.6

    申请日:2014-10-07

    Abstract: 本发明涉及一种多级活塞式致动器,使抵抗弹簧压力的空气压力施加至嵌入气缸体的多个活塞体的压力室,从推杆将其输出取出,活塞级数的变更变得容易,能够实现小型化以及轴向长度的缩短。在本发明的多级活塞式致动器中,多个活塞体分别与嵌入气缸体的隔离件组合,在两者之间形成压力室,活塞体具有受压板部、从该受压板部沿内外的相反方向延伸的轴棒和滑动导向筒状部,所述轴棒具有与压力室连通的轴空气通路,隔离件具有底板部、从该底板部沿内外的同一方向延伸的大径最外筒状部和滑动导向筒状部,所述底板部具有接收邻接的活塞体的轴棒的贯通孔,所述大径最外筒状部嵌入气缸体,所述滑动导向筒状部与活塞体的滑动导向筒状部滑动自如地嵌合,多个活塞体的轴棒彼此机械地抵接,从而使输出施加至推杆。

    下层部件的固定装置及具有该固定装置的流体控制装置

    公开(公告)号:CN103620241B

    公开(公告)日:2016-05-18

    申请号:CN201280023466.2

    申请日:2012-03-06

    Abstract: 本发明提供一种使调平作业变得容易且将基于弹性部件的振动吸收效果进一步提高的下层部件的固定装置、以及具有该固定装置的流体控制装置,该调平作业使下层部件的上表面彼此成为同一平面。该下层部件的固定装置构成为,一旦将下层部件(2)固定后,使所需要的下层部件(2)以抵抗弹性部件(21)的弹力的方式向上方移动,由此,能够将多个下层部件(2)的上表面位置微调整。弹性部件(21)是由橡胶或者合成树脂构成的环状体,在弹性部件的内周面的上部以及下部设有用于能够使弹性部件(21)相对于上下方向的力而弹性弯曲变形的切口(21a)、(21b)。

    阀装置和气体供给系统
    17.
    发明公开

    公开(公告)号:CN112930454A

    公开(公告)日:2021-06-08

    申请号:CN201980070726.3

    申请日:2019-10-21

    Abstract: 提供一种用于半导体制造工艺等的阀装置,该阀装置具有更适合于小型化、集成化的构造。该阀装置具有:阀体(3),其收纳于收纳凹部(35),并且在底面具有第1端口(3p1)和第2端口(3p2);以及阀盖螺母(20),其在外周形成螺纹部(20a)并且螺纹部(20a)与收纳凹部(35)的内周螺纹结合,由此,将阀体(3)朝向收纳凹部(35)的底部按压,并且将该阀体(3)固定于流路块(30),阀体(3)具有在第1端口(3p1)和第2端口(3p2)的周围自底面(3d)突出地形成的密封用的第1环状突起(4a)和第2环状突起(4b),所述第1环状突起(4a)和所述第2环状突起(4b)形成为共用局部。

    阀
    18.
    发明公开
    无效

    公开(公告)号:CN112673201A

    公开(公告)日:2021-04-16

    申请号:CN201980058367.X

    申请日:2019-09-10

    Abstract: 本发明提供一种耐久性优异的阀。隔膜(8)具有:主隔膜(8A)和支承隔膜(8B),该支承隔膜(8B)位于相对于主隔膜(8A)的与阀室(2a)侧相反的一侧,并与主隔膜(8A)接触而设置。主隔膜(8A)的内周侧的第一末端部(8E)固定于阀芯部(6),支承隔膜(8B)的内周侧的第二末端部(8F)与主隔膜(8A)的内周侧的第一末端部(8E)分离。

    阀装置
    20.
    发明公开

    公开(公告)号:CN111344510A

    公开(公告)日:2020-06-26

    申请号:CN201880071291.X

    申请日:2018-10-22

    Abstract: 提供一种能够维持装置的小型化并且能够将向初级侧的流路流入的多个流体在次级侧分流为许多个的阀装置。阀元件(2A、2B)具有阀座(16)、阀座支承件(50)、以及设置为能够与阀座(16)的座面抵接和分离的隔膜(14),隔膜(14)通过该隔膜(14)与阀座(16)之间的间隙而使阀座(16)的流通流路(16a)和对应的次级侧流路(24)连通,阀座支承件(50)具有与对应的收纳凹部(22)的内壁面的一部分协同动作而将对应的初级侧流路(21)和次级侧流路(24)之间的连通切断的密封面(50b2,50b3)、以及连接初级侧流路(21)和流通流路(16a)的迂回流路(50a),阀体(20)划定使次级侧流路(24A、24B)彼此连通的连通流路(24C)。

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