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公开(公告)号:CN106795898A
公开(公告)日:2017-05-31
申请号:CN201480082528.6
申请日:2014-10-07
Applicant: 藤仓橡胶工业株式会社 , 株式会社富士金
IPC: F15B15/14 , F16K31/122
CPC classification number: F15B15/1423 , F15B15/1428 , F15B15/1471 , F15B2015/1495 , F16H41/04 , F16H41/24 , F16K31/122 , F16K31/1221 , F16K31/1225
Abstract: 本发明涉及一种多级活塞式致动器,使抵抗弹簧压力的空气压力施加至嵌入气缸体的多个活塞体的压力室,从推杆将其输出取出,活塞级数的变更变得容易,能够实现小型化以及轴向长度的缩短。在本发明的多级活塞式致动器中,多个活塞体分别与嵌入气缸体的隔离件组合,在两者之间形成压力室,活塞体具有受压板部、从该受压板部沿内外的相反方向延伸的轴棒和滑动导向筒状部,所述轴棒具有与压力室连通的轴空气通路,隔离件具有底板部、从该底板部沿内外的同一方向延伸的大径最外筒状部和滑动导向筒状部,所述底板部具有接收邻接的活塞体的轴棒的贯通孔,所述大径最外筒状部嵌入气缸体,所述滑动导向筒状部与活塞体的滑动导向筒状部滑动自如地嵌合,多个活塞体的轴棒彼此机械地抵接,从而使输出施加至推杆。
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公开(公告)号:CN103620241B
公开(公告)日:2016-05-18
申请号:CN201280023466.2
申请日:2012-03-06
Applicant: 株式会社富士金
CPC classification number: F16L19/00 , F16B5/0241 , F16B5/0258 , F16B43/001 , F16K27/003
Abstract: 本发明提供一种使调平作业变得容易且将基于弹性部件的振动吸收效果进一步提高的下层部件的固定装置、以及具有该固定装置的流体控制装置,该调平作业使下层部件的上表面彼此成为同一平面。该下层部件的固定装置构成为,一旦将下层部件(2)固定后,使所需要的下层部件(2)以抵抗弹性部件(21)的弹力的方式向上方移动,由此,能够将多个下层部件(2)的上表面位置微调整。弹性部件(21)是由橡胶或者合成树脂构成的环状体,在弹性部件的内周面的上部以及下部设有用于能够使弹性部件(21)相对于上下方向的力而弹性弯曲变形的切口(21a)、(21b)。
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公开(公告)号:CN102016364A
公开(公告)日:2011-04-13
申请号:CN200980114074.5
申请日:2009-04-21
Applicant: 株式会社富士金
CPC classification number: F16L19/0218 , F16L19/0231 , F16L19/025 , F16L19/0286 , F16L23/02 , F16L23/0283 , F16L23/162 , F16L23/18 , F16L23/20
Abstract: 本发明提供一种流体接头以及流体接头用保持器,即使对于大口径的流体接头,基于保持器所进行的接头部件的保持以及相对于接头部件的装拆也容易。保持器(5)包括:保持密封垫(4)的圆环状的密封垫保持部(21);具有比密封垫保持部(21)的内径大直径的内径且对任一方的接头部件(2)进行保持的圆环状的接头部件保持部(22)。在密封垫保持部(21)的内周上以及接头部件保持部(22)的内周上分别形成有环状槽(23、24),在该槽(23、24)内保持有弹性环(25、26)。
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公开(公告)号:CN101253355A
公开(公告)日:2008-08-27
申请号:CN200680028810.1
申请日:2006-08-09
Applicant: 株式会社富士金
CPC classification number: F16L19/025 , F16K27/003 , F17C2205/0352
Abstract: 本发明提供一种具有通用性且能够降低保管成本和保管空间的带接头的流体控制器。使接头(12)和流体控制器主体(23)连通的通路部件(14)位于接头(12)和流体控制器主体(23)之间。接头(12)和通路部件(14)通过焊接结合。通路部件(14)和流体控制器主体(23)通过螺纹部件(26)可拆装地结合。
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公开(公告)号:CN113366253A
公开(公告)日:2021-09-07
申请号:CN202080012063.2
申请日:2020-01-17
Applicant: 株式会社富士金
IPC: F16K37/00 , F16K7/16 , F16K7/17 , F16K31/02 , F16K31/122
Abstract: 提供一种能够精密地调整流量的阀装置。所述阀装置具有:操作构件(40),其对隔膜进行操作,并设为能够在使隔膜(20)封闭流路的闭位置(CP)与使隔膜(20)开放流路的开位置(OP)之间移动;主致动器(60),其承受被供给的驱动流体的压力,使操作构件(40)向开位置(OP)或闭位置(CP)移动;调整用致动器(100),其利用与被施加的输入信号相应地收缩的被动元件,并且,用于对被定位于开位置(OP)的操作构件(40)的位置进行调整;位置检测机构(85),其用于检测操作构件(40)相对于阀体(10)的位置;以及原点位置确定部,其利用隔膜(20)与阀座(15)抵接的闭阀状态来确定位置检测机构(85)的原点位置。
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公开(公告)号:CN112930454A
公开(公告)日:2021-06-08
申请号:CN201980070726.3
申请日:2019-10-21
Applicant: 株式会社富士金
IPC: F16K27/00
Abstract: 提供一种用于半导体制造工艺等的阀装置,该阀装置具有更适合于小型化、集成化的构造。该阀装置具有:阀体(3),其收纳于收纳凹部(35),并且在底面具有第1端口(3p1)和第2端口(3p2);以及阀盖螺母(20),其在外周形成螺纹部(20a)并且螺纹部(20a)与收纳凹部(35)的内周螺纹结合,由此,将阀体(3)朝向收纳凹部(35)的底部按压,并且将该阀体(3)固定于流路块(30),阀体(3)具有在第1端口(3p1)和第2端口(3p2)的周围自底面(3d)突出地形成的密封用的第1环状突起(4a)和第2环状突起(4b),所述第1环状突起(4a)和所述第2环状突起(4b)形成为共用局部。
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公开(公告)号:CN111417809A
公开(公告)日:2020-07-14
申请号:CN201880076979.7
申请日:2018-11-12
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 本发明提供一种组装有节流孔并且能够以低成本进行制造的阀装置。阀体(20)划定在阀体(20)的表面开口并且内置有阀元件的收纳凹部(22)、以及与收纳凹部(22)连接的初级侧流路(21)和次级侧流路(24),阀元件(2)具有将初级侧流路(21)和次级侧流路(24)之间的通过收纳凹部(22)的直接的连通切断的密封部(50b2、50b3)、以及通过阀元件(2)而使初级侧流路(21)和次级侧流路(24)连通的贯通流路(50、16p),在贯通流路(50、16p)形成有节流孔(16p)。
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公开(公告)号:CN111344510A
公开(公告)日:2020-06-26
申请号:CN201880071291.X
申请日:2018-10-22
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 提供一种能够维持装置的小型化并且能够将向初级侧的流路流入的多个流体在次级侧分流为许多个的阀装置。阀元件(2A、2B)具有阀座(16)、阀座支承件(50)、以及设置为能够与阀座(16)的座面抵接和分离的隔膜(14),隔膜(14)通过该隔膜(14)与阀座(16)之间的间隙而使阀座(16)的流通流路(16a)和对应的次级侧流路(24)连通,阀座支承件(50)具有与对应的收纳凹部(22)的内壁面的一部分协同动作而将对应的初级侧流路(21)和次级侧流路(24)之间的连通切断的密封面(50b2,50b3)、以及连接初级侧流路(21)和流通流路(16a)的迂回流路(50a),阀体(20)划定使次级侧流路(24A、24B)彼此连通的连通流路(24C)。
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